一种用于芯片加工的具有防脱落功能的拾取设备制造技术

本发明专利技术涉及一种用于芯片加工的具有防脱落功能的拾取设备，包括固定管和吸嘴，所述吸嘴安装在固定管的一端，所述固定管上设有辅助机构，所述辅助机构包括移动管、连接管、移动组件和两个夹持组件，所述移动组件包括驱动单元和两个连接单元，所述连接单元包括固定块、移动杆、第一弹簧和连接块，所述夹持组件包括电磁铁、磁铁块、传动杆、夹持块和两个支撑单元，该用于芯片加工的具有防脱落功能的拾取设备通过辅助机构减小了芯片在顶起过程中的偏差，提高了吸嘴吸附芯片的稳定性，不仅如此，还通过夹持组件避免吸嘴带动芯片移动过程中，芯片从吸嘴上脱落，提高了可靠性。

A pick-up device with anti-dropping function for chip processing

【技术实现步骤摘要】
一种用于芯片加工的具有防脱落功能的拾取设备
本专利技术涉及芯片加工设备领域，特别涉及一种用于芯片加工的具有防脱落功能的拾取设备。
技术介绍
半导体芯片是将不同尺寸的晶片切断成所定大小，为了不使得切断时切断的半导体芯片零乱,晶片在背面粘接具有粘接性的保持带,由晶片切断装置等从表面侧切断晶片，此时,粘接在背面的保持带虽然被切入若干,但没有被切断,成为保持各半导体芯片的状态，接着,被切断的各半导体芯片通过芯片拾取机从保持带拾取,拾取过程中，芯片首先从晶圆上顶起，随后通过吸嘴吸附芯片表面，实现剥离并转移。现有的芯片拾取机在顶起芯片时，为了防止芯片被顶裂，吸嘴与芯片之间会留有一定的距离，芯片在顶起状态时，若顶针排布不均，会使芯片位置产生偏差，导致吸嘴无法吸附芯片或者吸偏，降低了稳定性，不仅如此，吸嘴吸住芯片移动过程中，为了提高工作效率，移速一般较快，易使芯片与吸嘴脱落，降低了可靠性。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是：为了克服现有技术的不足，提供一种用于芯片加工的具有防脱落功能的拾取设备。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于芯片加工的具有防脱落功能的拾取设备，包括固定管和吸嘴，所述吸嘴安装在固定管的一端，所述固定管上设有辅助机构；所述辅助机构包括移动管、连接管、移动组件和两个夹持组件，所述移动管和连接管均与固定管同轴设置，所述移动管的内径与固定管的外径相等，所述移动管套设在固定管上，所述连接管的外径与移动管的内径相等，所述移动管的远离吸嘴的一端套设在连接管上，所述连接管和固定管均与移动管滑动且密封连接，所述移动组件设置在移动管内，所述移动管设置在两个夹持组件之间；所述移动组件包括驱动单元和两个连接单元，所述移动管通过驱动单元与连接管连接，所述驱动单元驱动移动管沿着连接管的轴向移动，所述固定管的轴线位于两个连接单元之间；所述连接单元包括固定块、移动杆、第一弹簧和连接块，所述移动杆与固定管平行，所述移动杆的一端固定在固定管的远离吸嘴的一端，所述连接块固定在移动杆的另一端，所述固定块套设在移动杆上，所述固定块固定在移动管的内壁上，所述第一弹簧位于连接块和固定块之间，所述连接块通过第一弹簧与固定块连接；所述夹持组件包括电磁铁、磁铁块、传动杆、夹持块和两个支撑单元，所述电磁铁固定在移动杆上，所述磁铁块设置在电磁铁的远离移动管的一侧，所述磁铁块与电磁铁正对设置，所述支撑单元设置在磁铁块上，所述磁铁块通过支撑单元与与移动管连接，所述电磁铁位于两个支撑单元之间，所述吸嘴位于两个夹持块之间，所述夹持块通过传动杆与磁铁块固定连接。作为优选，为了驱动移动管移动，所述驱动单元包括驱动电机、丝杆、滑块、两个光杆和两个连杆，所述驱动电机固定在连接管的内壁上，所述丝杆与固定管平行，所述驱动电机与丝杆传动连接，所述滑块套设在丝杆上，所述滑块的与丝杆的连接处设有与丝杆匹配的螺纹，所述连杆的轴线与移动管的轴线垂直，所述滑块的两侧分别通过两个连杆与移动管的内壁固定连接，所述连杆与连接管的靠近吸嘴的一端之间设有间隙，所述光杆与连杆一一对应，所述光杆与固定管平行，所述滑块套设在光杆上，所述光杆的远离吸嘴的一端固定在连接管的内壁上。作为优选，为了减小丝杆与滑块之间的摩擦力，所述丝杆上涂有润滑油。作为优选，为了滑块移动的精确度，所述驱动电机为伺服电机。作为优选，为了实现支撑磁铁块的功能，所述支撑单元包括支撑杆、限位块和第二弹簧，所述支撑杆的轴线与移动管的轴线垂直且相交，所述磁铁块套设在支撑杆上，所述支撑杆的一端与移动管固定连接，所述限位块固定在支撑杆的另一端，所述第二弹簧位于限位块和磁铁块之间，所述限位块通过第二弹簧与磁铁块连接。作为优选，为了提高稳定性，所述夹持块的靠近吸嘴的一侧设有凹口。作为优选，为了避免芯片损坏，所述夹持块的制作材料为橡胶。作为优选，为了提高密封性，所述移动管的内壁上涂有密封脂。作为优选，为了延长移动管的使用寿命，所述移动管上涂有防腐镀锌层。作为优选，为了实现检测是否吸附芯片，所述固定管内设有光线传感器和检测系统，所述光线传感器与检测系统电连接。本专利技术的有益效果是，该用于芯片加工的具有防脱落功能的拾取设备通过辅助机构减小了芯片在顶起过程中的偏差，提高了吸嘴吸附芯片的稳定性，与现有的辅助机构相比，该辅助机构在芯片顶起过程中，吸嘴与芯片实现同步移动，避免损伤芯片，可靠性更高，不仅如此，还通过夹持组件避免吸嘴带动芯片移动过程中，芯片从吸嘴上脱落，提高了可靠性，与现有的夹持组件相比，该夹持组件可以通过调节电磁铁所通电流的强度来调节电磁铁与磁铁块之间的吸引力，从而可以调节磁铁块通过传动杆带动夹持块移动的距离，用以适用不用尺寸的芯片，实用性更强。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。图1是本专利技术的用于芯片加工的具有防脱落功能的拾取设备的结构示意图；图2是图1的A部放大图；图3是图1的B部放大图；图4是本专利技术的用于芯片加工的具有防脱落功能的拾取设备的驱动单元的结构示意图；图中：1.固定管，2.吸嘴，3.移动管，4.连接管，5.固定块，6.移动杆，7.第一弹簧，8.连接块，9.电磁铁，10.磁铁块，11.传动杆，12.夹持块，13.驱动电机，14.丝杆，15.滑块，16.光杆，17.连杆，18.支撑杆，19.限位块，20.第二弹簧，21.光线传感器。具体实施方式现在结合附图对本专利技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本专利技术的基本结构，因此其仅显示与本专利技术有关的构成。如图1-2所示，一种用于芯片加工的具有防脱落功能的拾取设备，包括固定管1和吸嘴2，所述吸嘴2安装在固定管1的一端，所述固定管1上设有辅助机构；所述辅助机构包括移动管3、连接管4、移动组件和两个夹持组件，所述移动管3和连接管4均与固定管1同轴设置，所述移动管3的内径与固定管1的外径相等，所述移动管3套设在固定管1上，所述连接管4的外径与移动管3的内径相等，所述移动管3的远离吸嘴2的一端套设在连接管4上，所述连接管4和固定管1均与移动管3滑动且密封连接，所述移动组件设置在移动管3内，所述移动管3设置在两个夹持组件之间；所述移动组件包括驱动单元和两个连接单元，所述移动管3通过驱动单元与连接管4连接，所述驱动单元驱动移动管3沿着连接管4的轴向移动，所述固定管1的轴线位于两个连接单元之间；所述连接单元包括固定块5、移动杆6、第一弹簧7和连接块8，所述移动杆6与固定管1平行，所述移动杆6的一端固定在固定管1的远离吸嘴2的一端，所述连接块8固定在移动杆6的另一端，所述固定块5套设在移动杆6上，所述固定块5固定在移动管3的内壁上，所述第一弹簧7位于连接块8和固定块5之间，所述连接块8通过第一弹簧7与固定块5连接；所述夹持组件包括电磁铁9、磁铁块10、传动杆11、夹持块12和两个支撑单元，所述电磁铁9固定在移动杆6上，所述磁铁块10设置在电磁铁9的远离移动管3的一侧，所述磁铁块10与电磁铁9正对设置，所述支撑单元设置在磁铁块10上，所述磁铁块10通过支撑单元与与移动管3连接，所述电磁铁9位于两个支撑单元之间，所述吸嘴2位于两个夹持块12之间，所述夹持块12通过传动杆11与磁铁块10固定连接。将连接管4的远离吸嘴2的一端与外接控制装置连接，通过控制装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于芯片加工的具有防脱落功能的拾取设备，包括固定管(1)和吸嘴(2)，所述吸嘴(2)安装在固定管(1)的一端，其特征在于，所述固定管(1)上设有辅助机构；所述辅助机构包括移动管(3)、连接管(4)、移动组件和两个夹持组件，所述移动管(3)和连接管(4)均与固定管(1)同轴设置，所述移动管(3)的内径与固定管(1)的外径相等，所述移动管(3)套设在固定管(1)上，所述连接管(4)的外径与移动管(3)的内径相等，所述移动管(3)的远离吸嘴(2)的一端套设在连接管(4)上，所述连接管(4)和固定管(1)均与移动管(3)滑动且密封连接，所述移动组件设置在移动管(3)内，所述移动管(3)设置在两个夹持组件之间；所述移动组件包括驱动单元和两个连接单元，所述移动管(3)通过驱动单元与连接管(4)连接，所述驱动单元驱动移动管(3)沿着连接管(4)的轴向移动，所述固定管(1)的轴线位于两个连接单元之间；所述连接单元包括固定块(5)、移动杆(6)、第一弹簧(7)和连接块(8)，所述移动杆(6)与固定管(1)平行，所述移动杆(6)的一端固定在固定管(1)的远离吸嘴(2)的一端，所述连接块(8)固定在移动杆(6)的另一端，所述固定块(5)套设在移动杆(6)上，所述固定块(5)固定在移动管(3)的内壁上，所述第一弹簧(7)位于连接块(8)和固定块(5)之间，所述连接块(8)通过第一弹簧(7)与固定块(5)连接；所述夹持组件包括电磁铁(9)、磁铁块(10)、传动杆(11)、夹持块(12)和两个支撑单元，所述电磁铁(9)固定在移动杆(6)上，所述磁铁块(10)设置在电磁铁(9)的远离移动管(3)的一侧，所述磁铁块(10)与电磁铁(9)正对设置，所述支撑单元设置在磁铁块(10)上，所述磁铁块(10)通过支撑单元与与移动管(3)连接，所述电磁铁(9)位于两个支撑单元之间，所述吸嘴(2)位于两个夹持块(12)之间，所述夹持块(12)通过传动杆(11)与磁铁块(10)固定连接。...

【技术特征摘要】
1.一种用于芯片加工的具有防脱落功能的拾取设备，包括固定管(1)和吸嘴(2)，所述吸嘴(2)安装在固定管(1)的一端，其特征在于，所述固定管(1)上设有辅助机构；所述辅助机构包括移动管(3)、连接管(4)、移动组件和两个夹持组件，所述移动管(3)和连接管(4)均与固定管(1)同轴设置，所述移动管(3)的内径与固定管(1)的外径相等，所述移动管(3)套设在固定管(1)上，所述连接管(4)的外径与移动管(3)的内径相等，所述移动管(3)的远离吸嘴(2)的一端套设在连接管(4)上，所述连接管(4)和固定管(1)均与移动管(3)滑动且密封连接，所述移动组件设置在移动管(3)内，所述移动管(3)设置在两个夹持组件之间；所述移动组件包括驱动单元和两个连接单元，所述移动管(3)通过驱动单元与连接管(4)连接，所述驱动单元驱动移动管(3)沿着连接管(4)的轴向移动，所述固定管(1)的轴线位于两个连接单元之间；所述连接单元包括固定块(5)、移动杆(6)、第一弹簧(7)和连接块(8)，所述移动杆(6)与固定管(1)平行，所述移动杆(6)的一端固定在固定管(1)的远离吸嘴(2)的一端，所述连接块(8)固定在移动杆(6)的另一端，所述固定块(5)套设在移动杆(6)上，所述固定块(5)固定在移动管(3)的内壁上，所述第一弹簧(7)位于连接块(8)和固定块(5)之间，所述连接块(8)通过第一弹簧(7)与固定块(5)连接；所述夹持组件包括电磁铁(9)、磁铁块(10)、传动杆(11)、夹持块(12)和两个支撑单元，所述电磁铁(9)固定在移动杆(6)上，所述磁铁块(10)设置在电磁铁(9)的远离移动管(3)的一侧，所述磁铁块(10)与电磁铁(9)正对设置，所述支撑单元设置在磁铁块(10)上，所述磁铁块(10)通过支撑单元与与移动管(3)连接，所述电磁铁(9)位于两个支撑单元之间，所述吸嘴(2)位于两个夹持块(12)之间，所述夹持块(12)通过传动杆(11)与磁铁块(10)固定连接。2.如权利要求1所述的用于芯片加工的具有防脱落功能的拾取设备，其特征在于，所述驱动单元包括驱动电机(13)、丝杆(14)、滑块(15)、两个光杆(16)和两个连杆(17)，所述驱动电机(13)...

【专利技术属性】
技术研发人员：何桂华，
申请(专利权)人：深圳市奈士迪技术研发有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44