【技术实现步骤摘要】
一种工业级六氟乙烷的提纯方法
本专利技术涉及一种氢氟烃的分离技术，尤其是涉及工业级六氟乙烷的提纯方法。
技术介绍
六氟乙烷，又称全氟乙烷，是乙烷中六个氢原子全部被氟原子取代后的产物，是一种不易燃的气体，难溶于水，微溶于醇。作为一种氯氟烃CFCs的替代品，六氟乙烷ODP值(臭氧层破坏潜能值)为零，GWP值(温室效应能力)为9200，主要应用在半导体设备制造工艺上作为等离子刻蚀剂，具有高蚀刻率、高精确性和边缘侧向侵蚀现象极微的优点，能够极好地满足深亚微米集成电路高精度的制程要求。在六氟乙烷的生产过程中，会产生多种副产物，如CFC-13、HFC-23、HFC-32、CFC-115、HFC-143a和HFC-125等。但半导体行业对刻蚀剂六氟乙烷的纯度要求极高，以满足超大规模集成电路制作所需，因此需要对工业级六氟乙烷进行进一步的提纯处理。现有技术中，对于六氟乙烷的提纯方法，有以下报道：(1)中国专利CN1165509公开一种提纯六氟乙烷的方法，使用重复精馏操作获得高纯的六氟乙烷，实施例公开了使用三个精馏塔进行精馏操作来提纯六氟乙烷。此方法需进行三次精馏，操作过程繁琐，能耗...
【技术保护点】
1.一种工业级六氟乙烷的提纯方法，其特征在于所述方法包括：(1)精馏分离：使含有六氟乙烷和氢氯氟烃的原料物流5进入精馏分离塔1进行精馏分离，得到精馏后的六氟乙烷物流6，精馏温度为10～90℃，精馏压力为0.8～3.2MPa；(2)带压吸附：将步骤(1)得到的精馏后的六氟乙烷物流6通入吸附器4进行带压吸附，得到六氟乙烷产品物流10，所述吸附器4中，吸附温度为‑50～10℃，吸附压力为0.8～3.2MPa，所述吸附器4中，装填分子筛吸附剂，所述分子筛吸附剂选自3A分子筛、4A分子筛、5A分子筛、NaX分子筛和13X分子筛中的至少一种。
【技术特征摘要】
1.一种工业级六氟乙烷的提纯方法，其特征在于所述方法包括：(1)精馏分离：使含有六氟乙烷和氢氯氟烃的原料物流5进入精馏分离塔1进行精馏分离，得到精馏后的六氟乙烷物流6，精馏温度为10～90℃，精馏压力为0.8～3.2MPa；(2)带压吸附：将步骤(1)得到的精馏后的六氟乙烷物流6通入吸附器4进行带压吸附，得到六氟乙烷产品物流10，所述吸附器4中，吸附温度为-50～10℃，吸附压力为0.8～3.2MPa，所述吸附器4中，装填分子筛吸附剂，所述分子筛吸附剂选自3A分子筛、4A分子筛、5A分子筛、NaX分子筛和13X分子筛中的至少一种。2.按照权利要求1所述的工业级六氟乙烷的提纯方法，其特征在于所述步骤(1)中，精馏温度为30～70℃，精馏压力为1.0～2.5MPa。3.按照权利要求1所述的工业级六氟乙烷的提纯方法，其特征在于所述步骤(1)中，所述精馏分离塔1包括外回流系统，含有外回流收集槽3和外回流循环泵2。4.按照权利要求3所述的工业级六氟乙烷的提纯方法，其特征在于所述精馏分离塔1中液位为40...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁光伟，刘建鹏，蒋争光，夏帅，李霞，
申请(专利权)人：浙江蓝天环保高科技股份有限公司，中化蓝天集团有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33
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