【技术实现步骤摘要】
一种改进型离轴抛物面镜焦距检测装置
本技术涉及光学检测
,具体涉及一种改进型离轴抛物面镜焦距检测装置。
技术介绍
光学元件的传统检测方法与技术已沿用了数十年。光学检测涉及被测元件材料、口径、种类以及测试技术、仪器和设备等。被测元件的种类繁多,包括有平行平板、球面、非球面、自由曲面、衍射光栅、锥镜、柱面透镜等,非球面中有特殊的非球面如抛物面、椭球面、双曲面和除此以外的其它非球面。光学检测中常用的主要仪器可分为干涉仪类、表面轮廓仪类、MTF测试仪类、精密球径仪类、焦距与偏心测试仪器类及其它仪器等。国内外都在研制和发展各自的先进仪器,各类数字式干涉仪的产品口径有Φ25mm~Φ600mm;进口以美国Zygo公司为代表的从口径4″~32″的各类干涉仪;Zygo公司以3D干涉显微镜为基本原理发展的非接触式表面轮廓仪,从早期的Maxim3D5700到现代最新的ZemapperSystem等;英国Tayloy-Hobson触针式轮廓仪;满足实际需求的三坐标测量仪、4D干涉仪等。然而,在光学检测仪器和技术应用上,仍存在很多问题和不足。目前,尚未有关于离轴抛物面焦距快速检测的方 ...
【技术保护点】
1.一种改进型离轴抛物面镜焦距检测装置,包括干涉仪、标准平面镜、补偿球、三维调整架、五维调整架、辅助圆柱和固定底板,其特征在于:还包括红外发射器和红外接收器,所述补偿球上位于纵向圆心轴处开设有轴向孔,测量刻度棒与轴向孔相匹配,所述测量刻度棒上设置有刻度线,所述测量刻度棒通过轴向孔用于测量实际焦距,所述红外发射器位于辅助圆柱的中心点,所述红外接收器配合在轴向孔顶端用于通过轴向孔接收红外发射器的红外信号。
【技术特征摘要】
1.一种改进型离轴抛物面镜焦距检测装置,包括干涉仪、标准平面镜、补偿球、三维调整架、五维调整架、辅助圆柱和固定底板,其特征在于:还包括红外发射器和红外接收器,所述补偿球上位于纵向圆心轴处开设有轴向孔,测量刻度棒与轴向孔相匹配,所述测量刻度棒上设置有刻度线,所述测量刻度棒通过轴向孔用于测量实际焦距,所述红外发射器位于辅助圆柱的中心点,所述红外接收器配合在轴向孔顶端用于通过轴向孔接收红外发射器的红外信号。2.根据权利要求1所述的一种改进型离轴抛物面镜焦距检测装置,其特征在于:所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:陶春,
申请(专利权)人:南京施密特光学仪器有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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