【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学检测,尤其涉及基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法及系统。
技术介绍
1、在光学制造领域,大口径平面镜的高精度面形检测是保障航天、天文等高端光学系统性能的核心环节;传统检测手段中,瑞奇-康芒法因无需超大口径干涉仪而备受关注,其通过小口径标准球面镜对被测平面镜进行多角度子孔径扫描,再通过相位拼接算法实现全孔径面形重构;然而,现有瑞奇-康芒子孔径拼接算法存在根本性局限:其假设子孔径间的坐标变换仅由理想机械运动引起,忽略了实际检测中调整误差与镜面面形误差的非线性耦合效应;例如,在两次瑞奇角调整过程中,球面镜的微小位移或角度偏差会引入附加波像差,并与被测镜局部面形误差叠加,导致子孔径相位数据包含混合畸变;传统算法通过最小二乘拟合或迭代优化消除刚性位移,但无法解析此类耦合误差的全局传递特性,造成拼接后全孔径面形的低频误差累积与高频细节失真;此外,现有方法依赖多次机械调整与重复测量,效率低下且难以保证调整误差的稳定性;因此,亟需一种能够解耦调整误差与面形误差、并基于全局波像差传播模型的新型拼接算法,以实现高精度、高效率的
...【技术保护点】
1.一种基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的一种基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法,其特征在于,所述三维光学模型的建立过程包括:
3.如权利要求2所述的一种基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法,其特征在于,所述三维光学模型的建立过程还包括:
4.如权利要求3所述的一种基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法,其特征在于,所述增强训练数据空间的获取过程包括:
5.如权利要求4所述的一种基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法,其特征在于
...【技术特征摘要】
1.一种基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的一种基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法,其特征在于,所述三维光学模型的建立过程包括:
3.如权利要求2所述的一种基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法,其特征在于,所述三维光学模型的建立过程还包括:
4.如权利要求3所述的一种基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法,其特征在于,所述增强训练数据空间的获取过程包括:
5.如权利要求4所述的一种基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法,其特征在于,所述增强训练数据空间的获取过程还包括:
6.如权利要求5所述的一种基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法...
【专利技术属性】
技术研发人员:陶春,
申请(专利权)人:南京施密特光学仪器有限公司,
类型:发明
国别省市:
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