基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法及系统技术方案

技术编号:46271213 阅读:9 留言:0更新日期:2025-09-02 21:05
本发明专利技术属于光学检测技术领域,尤其涉及基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法及系统,该方法首先通过标准球面镜、待测平面镜和干涉仪参数建立三维光学模型,结合预设瑞奇角及离焦/像散系数,利用蒙特卡洛模拟注入振动和温度噪声生成增强训练数据空间;其次基于对抗网络构建相位误差调整模型,通过多尺度注意力机制和径向基函数网络解耦调整误差与波像差畸变的映射关系,实现子孔径相位数据的自适应校正;最终采用图神经网络拼接子孔径相位并融合多角度全口径测量数据,精确重构待测平面镜面形;本发明专利技术通过物理约束的对抗训练和动态误差补偿,显著提升了大口径光学元件的检测效率和可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学检测,尤其涉及基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法及系统


技术介绍

1、在光学制造领域,大口径平面镜的高精度面形检测是保障航天、天文等高端光学系统性能的核心环节;传统检测手段中,瑞奇-康芒法因无需超大口径干涉仪而备受关注,其通过小口径标准球面镜对被测平面镜进行多角度子孔径扫描,再通过相位拼接算法实现全孔径面形重构;然而,现有瑞奇-康芒子孔径拼接算法存在根本性局限:其假设子孔径间的坐标变换仅由理想机械运动引起,忽略了实际检测中调整误差与镜面面形误差的非线性耦合效应;例如,在两次瑞奇角调整过程中,球面镜的微小位移或角度偏差会引入附加波像差,并与被测镜局部面形误差叠加,导致子孔径相位数据包含混合畸变;传统算法通过最小二乘拟合或迭代优化消除刚性位移,但无法解析此类耦合误差的全局传递特性,造成拼接后全孔径面形的低频误差累积与高频细节失真;此外,现有方法依赖多次机械调整与重复测量,效率低下且难以保证调整误差的稳定性;因此,亟需一种能够解耦调整误差与面形误差、并基于全局波像差传播模型的新型拼接算法,以实现高精度、高效率的瑞奇-康芒检测,突破本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的一种基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法,其特征在于,所述三维光学模型的建立过程包括:

3.如权利要求2所述的一种基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法,其特征在于,所述三维光学模型的建立过程还包括:

4.如权利要求3所述的一种基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法,其特征在于,所述增强训练数据空间的获取过程包括:

5.如权利要求4所述的一种基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法,其特征在于,所述增强训练数据空...

【技术特征摘要】

1.一种基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的一种基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法,其特征在于,所述三维光学模型的建立过程包括:

3.如权利要求2所述的一种基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法,其特征在于,所述三维光学模型的建立过程还包括:

4.如权利要求3所述的一种基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法,其特征在于,所述增强训练数据空间的获取过程包括:

5.如权利要求4所述的一种基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法,其特征在于,所述增强训练数据空间的获取过程还包括:

6.如权利要求5所述的一种基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法...

【专利技术属性】
技术研发人员:陶春
申请(专利权)人:南京施密特光学仪器有限公司
类型:发明
国别省市:

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