下载基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法及系统的技术资料

文档序号:46271213

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本发明属于光学检测技术领域,尤其涉及基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法及系统,该方法首先通过标准球面镜、待测平面镜和干涉仪参数建立三维光学模型,结合预设瑞奇角及离焦/像散系数,利用蒙特卡洛模拟注入振动和温度噪声生成增强训练数据空...
该专利属于南京施密特光学仪器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京施密特光学仪器有限公司授权不得商用。

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