一种非接触式光学平行度测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种非接触式光学平行度测量装置，包括置于扩束系统输出端的可切换基准镜机构和置于扩束系统输入端的动态监测组件；所述可切换基准镜机构包括安装基座，固定于所述安装基座上的镜架，以及安装于所述基准反射镜；所述动态监测组件包括激光器，快速控制反射镜，半反半透镜和CCD传感器；所述激光器的激光经快速控制反射镜后发出平行光，该平行光经半反半透镜反射后，又经被测光学元件到达基准反射镜，光线经基准反射镜反射后在第二次经过被测光学元件之后经半反半透镜在CCD传感器的靶面上成像；其优点在于，通过激光来测量扩束系统的平行度，大大提高了测量精度，不仅操作简单、易实现，而且可实时动态监测。

【技术实现步骤摘要】
一种非接触式光学平行度测量装置
本技术涉及一种光学平行度测量装置，尤其是涉及一种非接触式光学平行度测量装置。
技术介绍
目前，经过扩束后的光束平行度测量多采用同半径多角度远场光斑测量法，红外－可见基准转换CCD自准直测量法等。前者需在远场设立多个基准点而后将跟踪轴与激光光轴进行平行度标定；后者为避免直接测量强激光而引入一束基准光，并将基准光与强激光进行平行度校准，由基准光光轴代替强激光光轴。上述方法操作复杂、成本高、周期长，且不具实时性。
技术实现思路
本技术目的是：提供一种通过激光来测量扩束系统的平行度，大大提高了测量精度，不仅操作简单、易实现，而且可实时动态监测的非接触式光学平行度测量装置。本技术的技术方案是：一种非接触式光学平行度测量装置，包括置于扩束系统输出端的可切换基准镜机构和置于扩束系统输入端的动态监测组件；所述可切换基准镜机构包括安装基座，固定于所述安装基座上的镜架，以及安装于所述镜架上的基准反射镜；所述动态监测组件包括激光器，快速控制反射镜，半反半透镜和CCD传感器；所述激光器的激光经快速控制反射镜后发出平行光，该平行光经半反半透镜反射后，又经被测光学元件到达基准反射镜，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种非接触式光学平行度测量装置，其特征在于，包括置于扩束系统输出端的可切换基准镜机构和置于扩束系统输入端的动态监测组件；所述可切换基准镜机构包括安装基座(1)，固定于所述安装基座(1)上的镜架(2)，以及安装于所述镜架(2)上的基准反射镜(3)；所述动态监测组件包括激光器(4)，快速控制反射镜(5)，半反半透镜(6)和CCD传感器(7)；所述激光器(4)的激光经快速控制反射镜(5)后发出平行光，该平行光经半反半透镜(6)反射后，又经被测光学元件(10)到达基准反射镜(3)，光线经基准反射镜(3)反射后在第二次经过被测光学元件(10)之后经半反半透镜(6)在CCD传感器(7)的靶面上成像。

【技术特征摘要】
1.一种非接触式光学平行度测量装置，其特征在于，包括置于扩束系统输出端的可切换基准镜机构和置于扩束系统输入端的动态监测组件；所述可切换基准镜机构包括安装基座(1)，固定于所述安装基座(1)上的镜架(2)，以及安装于所述镜架(2)上的基准反射镜(3)；所述动态监测组件包括激光器(4)，快速控制反射镜(5)，半反半透镜(6)和CCD传感器(7)；所述激光器(4)的激光经快速控制反射镜(5)后发出平行光，该平行光经半反半透镜(6)反射后，又经被测光学元件(10)到达基准反射镜(3)，光线经基准反射镜(3)反射后在第二次经过被测光学元件(10)之后经半反半透镜(6)在CCD传感器(7)的靶面上成像。2.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱东涛，袁清，杨星，
申请(专利权)人：苏州瑞耀三维科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32