一种硅棒切割后的水洗脱胶装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅棒切割后的水洗脱胶装置，包括主体箱，所述主体箱底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑板，且四个支撑板底部外壁均通过螺纹连接有底座，所述主体箱底部外壁通过螺栓固定有鼓风机，且鼓风机出风口通过螺纹连接有导管，所述主体箱底部外壁开有插孔，且插孔内壁插接有导管，所述主体箱底部内壁通过螺栓固定有分流管，且分流管底部外壁通过螺纹与导管的一端相连接，所述分流管顶部外壁通过螺纹连接有气嘴。本实用新型专利技术可通过气流对主体箱内的脱胶剂进行搅动，促进了脱胶效果，使脱胶剂充分与单晶硅棒进行反应，提高了脱胶的效率和质量，避免了残存的脱胶剂和脱胶后的废屑的滞留的情况，提高整体装置的清洁度。

【技术实现步骤摘要】
一种硅棒切割后的水洗脱胶装置
本技术涉及水洗脱胶装置
，尤其涉及一种硅棒切割后的水洗脱胶装置。
技术介绍
在电子元件的生产工艺中，我们会需要使用到单晶硅片，它是在通过滚磨、倒角后的单晶硅棒上切割出来的，而单晶硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的。同时在单晶硅棒切割后需要进行脱胶处理。然而，现有的单晶硅棒切割后的水洗脱胶装置大多脱胶效果不好，且在脱胶后极易残留脱胶剂和胶体废屑，不仅影响单晶硅棒的清洁，而且降低了单晶硅棒的脱胶效率，同时脱胶板不易拆卸和清洗，因此，亟需一种硅棒切割后的水洗脱胶装置。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅棒切割后的水洗脱胶装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种硅棒切割后的水洗脱胶装置，包括主体箱，所述主体箱底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑板，且四个支撑板底部外壁均通过螺纹连接有底座，所述主体箱底部外壁通过螺栓固定有鼓风机，且鼓风机出风口通过螺纹连接有导管，所述主体箱底部外壁开有插孔，且插孔内壁插接有导管，所述主体箱底部内壁通过螺栓固定有分流管，且分流管底部外壁通过螺纹与导管的一端相连接，所述分流管顶部外壁通过螺纹连接有气嘴，所述主体箱两侧外壁通过螺栓固定有脱胶剂箱，且两个脱胶剂箱底部外壁通过螺钉固定有液泵，两个所述液泵出液口均通过螺纹连接有出液管，且两个出液管的一端通过螺纹与主体箱两侧内壁相连接，所述主体箱顶部外壁通过铰链铰接有箱盖，且主体箱两侧内壁均通过螺栓固定有电动滑轨，两个所述电动滑轨底部内壁均滑动连接有滑块，且两个滑块相对一侧外壁均通过螺纹连接有两个安装架。优选的，两个所述安装架相对一侧外壁均通过螺栓固定有连接件，且两个安装架相对的内壁均设置有螺纹孔。优选的，所述螺纹孔内壁均通过设置有脱胶板，且每个脱胶板相互衔接处均焊接有连接网圈。优选的，其中一个所述安装架顶部两侧外壁均通过螺纹连接有支撑杆，且两个支撑杆顶部外壁均开有连接孔。优选的，两个所述连接孔内壁均插接有同一个连接杆，且连接杆顶部外壁均通过铰链铰接有挂钩。优选的，所述主体箱正面外壁通过螺栓固定有安装板，且安装板正面外壁通过螺栓固定有操作面板。优选的，所述电动滑轨、液泵、鼓风机和操作面板均通过导线连接有开关，且开关均通过信号线与控制器的输出端相连接。与现有技术相比，本技术提供了一种硅棒切割后的水洗脱胶装置，具备以下有益效果：1.该用于硅棒切割后的水洗脱胶装置，通过在主体箱的底部设置有鼓风机，且鼓风机连接有导管，导管连接有分流管，分流管顶部设置有气嘴，鼓风机将气流注入分流管内，再通过分流管上的气嘴进行喷出，进而可通过气流对主体箱内的脱胶剂进行搅动，促进了脱胶效果，使得脱胶剂充分与单晶硅棒进行反应，提高了脱胶的效率和质量。2.该用于硅棒切割后的水洗脱胶装置，通过在脱胶板的顶部设置有卡槽，能够对单晶硅棒进行固定，同时在脱胶板相互连接处设置有连接网圈，能够对脱胶剂进行有效分散，强化了脱胶效果。3.该用于硅棒切割后的水洗脱胶装置，通过在安装架靠近脱胶板处设置有螺纹孔，能够对脱胶板进行拆卸，有利于对脱胶板进行更换和清洗，同时脱胶板是横竖交错结构，避免了残存的脱胶剂和脱胶后的废屑的滞留的情况，提高了整体装置的清洁度。该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本技术结构简单，操作方便，且脱胶效果好。附图说明图1为本技术提出的一种硅棒切割后的水洗脱胶装置的剖视结构示意图；图2为本技术提出的一种硅棒切割后的水洗脱胶装置的主视结构示意图；图3为本技术提出的一种硅棒切割后的水洗脱胶装置脱胶板的结构示意图。图中：1-底座、2-支撑板、3-主体箱、4-分流管、5-电动滑轨、6-液泵、7-脱胶剂箱、8-滑块、9-箱盖、10-挂钩、11-连接杆、12-支撑杆、13-安装架、14-连接件、15-气嘴、16-鼓风机、17-安装板、18-操作面板、19-连接网圈、20-卡槽、21-脱胶板。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。参照图1-3，一种硅棒切割后的水洗脱胶装置，包括主体箱3，主体箱3底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑板2，且四个支撑板2底部外壁均通过螺纹连接有底座1，主体箱3底部外壁通过螺栓固定有鼓风机16，且鼓风机16出风口通过螺纹连接有导管，主体箱3底部外壁开有插孔，且插孔内壁插接有导管，主体箱3底部内壁通过螺栓固定有分流管4，且分流管4底部外壁通过螺纹与导管的一端相连接，分流管4顶部外壁通过螺纹连接有气嘴15，可通过气流对主体箱内的脱胶剂进行搅动，促进了脱胶效果，使得脱胶剂充分与单晶硅棒进行反应，提高了脱胶的效率和质量，主体箱3两侧外壁通过螺栓固定有脱胶剂箱7，且两个脱胶剂箱7底部外壁通过螺钉固定有液泵6，两个液泵6出液口均通过螺纹连接有出液管，且两个出液管的一端通过螺纹与主体箱3两侧内壁相连接，主体箱3顶部外壁通过铰链铰接有箱盖9，且主体箱3两侧内壁均通过螺栓固定有电动滑轨5，两个电动滑轨5底部内壁均滑动连接有滑块8，且两个滑块8相对一侧外壁均通过螺纹连接有两个安装架13。本技术中，两个安装架13相对一侧外壁均通过螺栓固定有连接件14，且两个安装架13相对的内壁均设置有螺纹孔，能够对脱胶板进行拆卸，有利于对脱胶板进行更换和清洗。本技术中，螺纹孔内壁均通过设置有脱胶板21，避免了残存的脱胶剂和脱胶后的废屑的滞留的情况，提高了整体装置的清洁度，且每个脱胶板21相互衔接处均焊接有连接网圈19，能够对脱胶剂进行有效分散，强化了脱胶效果。本技术中，其中一个安装架13顶部两侧外壁均通过螺纹连接有支撑杆12，且两个支撑杆12顶部外壁均开有连接孔。本技术中，两个连接孔内壁均插接有同一个连接杆11，且连接杆11顶部外壁均通过铰链铰接有挂钩10。本技术中，主体箱3正面外壁通过螺栓固定有安装板17，且安装板17正面外壁通过螺栓固定有操作面板18。本技术中，电动滑轨5、液泵6、鼓风机16和操作面板18均通过导线连接有开关，且开关均通过信号线与控制器的输出端相连接。工作原理：使用时，先通过控制器启动两侧脱胶剂箱7内的液泵6，将脱胶剂6导入主体箱3内，再将主体箱3的箱盖9打开，通过控制器启动电动滑轨5，将脱胶板21滑到主体箱3顶部位置，将硅棒卡接于脱胶板21上的卡槽20内，再通过电动滑轨5将脱胶板21滑至主体箱3底部，关上箱盖9，再通过控制器启动鼓风机16，鼓风机16将气流通过导管注入主体箱3底部的分流管4内，再通过分流管4顶部的气嘴15喷出，进而通过气流对主体箱3内的脱胶剂进行搅动，促进了脱胶板21上的硅棒进行脱胶，同时在脱胶板21上设置有连接网圈19，能够对脱胶剂本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅棒切割后的水洗脱胶装置，包括主体箱(3)，其特征在于，所述主体箱(3)底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑板(2)，且四个支撑板(2)底部外壁均通过螺纹连接有底座(1)，所述主体箱(3)底部外壁通过螺栓固定有鼓风机(16)，且鼓风机(16)出风口通过螺纹连接有导管，所述主体箱(3)底部外壁开有插孔，且插孔内壁插接有导管，所述主体箱(3)底部内壁通过螺栓固定有分流管(4)，且分流管(4)底部外壁通过螺纹与导管的一端相连接，所述分流管(4)顶部外壁通过螺纹连接有气嘴(15)，所述主体箱(3)两侧外壁通过螺栓固定有脱胶剂箱(7)，且两个脱胶剂箱(7)底部外壁通过螺钉固定有液泵(6)，两个所述液泵(6)出液口均通过螺纹连接有出液管，且两个出液管的一端通过螺纹与主体箱(3)两侧内壁相连接，所述主体箱(3)顶部外壁通过铰链铰接有箱盖(9)，且主体箱(3)两侧内壁均通过螺栓固定有电动滑轨(5)，两个所述电动滑轨(5)底部内壁均滑动连接有滑块(8)，且两个滑块(8)相对一侧外壁均通过螺纹连接有两个安装架(13)。

【技术特征摘要】
1.一种硅棒切割后的水洗脱胶装置，包括主体箱(3)，其特征在于，所述主体箱(3)底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑板(2)，且四个支撑板(2)底部外壁均通过螺纹连接有底座(1)，所述主体箱(3)底部外壁通过螺栓固定有鼓风机(16)，且鼓风机(16)出风口通过螺纹连接有导管，所述主体箱(3)底部外壁开有插孔，且插孔内壁插接有导管，所述主体箱(3)底部内壁通过螺栓固定有分流管(4)，且分流管(4)底部外壁通过螺纹与导管的一端相连接，所述分流管(4)顶部外壁通过螺纹连接有气嘴(15)，所述主体箱(3)两侧外壁通过螺栓固定有脱胶剂箱(7)，且两个脱胶剂箱(7)底部外壁通过螺钉固定有液泵(6)，两个所述液泵(6)出液口均通过螺纹连接有出液管，且两个出液管的一端通过螺纹与主体箱(3)两侧内壁相连接，所述主体箱(3)顶部外壁通过铰链铰接有箱盖(9)，且主体箱(3)两侧内壁均通过螺栓固定有电动滑轨(5)，两个所述电动滑轨(5)底部内壁均滑动连接有滑块(8)，且两个滑块(8)相对一侧外壁均通过螺纹连接有两个安装架(13)。2.根据权利要求1所述的一种硅棒切割后的水洗脱胶装置，其特征在于，两个...

【专利技术属性】
技术研发人员：张银鹏，王进，
申请(专利权)人：宇泽江西半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江西,36