用于对电极调温的系统以及具有这样的系统的加工设备技术方案

本发明专利技术涉及一种用于对电极调温的系统。所述系统具有至少一个热导管、至少一个耦合元件和至少一个调温装置。在此，所述热导管适合于至少部分地并且以至少一个第一端部设置在电极中。所述耦合元件适合于加热或冷却热导管的第二端部，而调温装置适合于加热或冷却耦合元件。在此，所述电极和所述调温装置相互电分离。本发明专利技术还涉及一种处理设备，所述处理设备具有处理室和至少一个在处理室之内的电极以及至少一个这种用于对电极调温的系统。

【技术实现步骤摘要】
用于对电极调温的系统以及具有这样的系统的加工设备
本专利技术涉及一种用于对一个或多个电极调温的系统。在此，对所述一个或多个电极调温通过热导管实现，由此由调温装置能实现对电极均匀调温和电解耦。此外，本专利技术涉及一种具有这样的系统的加工设备。
技术介绍
在半导体技术、例如太阳能电池制造和表面技术、如光学镜片涂层的大量方法中应用处理工艺，在这些处理工艺中能量通过电极引入。对此的示例特别是用于施加、去除或改变覆层的等离子体工艺。所使用的电极在此也可以用作基层支架或气体供应器。通常应将所使用的电极保持在确定的温度上，例如以便将一个或多个基层置于对于所规定的工艺合适的温度并且保持在所述温度上或者以便避免过强地加热电极。为了对这样的电极实现均匀调温，常见地使用流体系统或电阻性的加热器作为调温装置。在流体系统中，电极被流体、例如油、水或气体穿流，其中，流体由外部供应并且又向外部导出。电阻性的加热器要么作为面状元件要么作为直线或卷绕的加热丝设置在电极上或电极中，其中，为加热器与电极功率无关地由外部供应电能。然而在这两种情况中，电极功率的一部分通过调温装置向外部导出，由此供本来的加工工艺使用的功率减少本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于对电极调温的系统，所述系统具有至少一个热导管、至少一个耦合元件和至少一个调温装置，其中，所述热导管能至少部分地并且以至少一个第一端部设置在电极中，所述耦合元件适合于加热或冷却热导管的第二端部，并且调温装置适合于加热或冷却耦合元件，其中，所述电极和所述调温装置相互电分离。

【技术特征摘要】
2017.12.21 DE 102017223592.61.用于对电极调温的系统，所述系统具有至少一个热导管、至少一个耦合元件和至少一个调温装置，其中，所述热导管能至少部分地并且以至少一个第一端部设置在电极中，所述耦合元件适合于加热或冷却热导管的第二端部，并且调温装置适合于加热或冷却耦合元件，其中，所述电极和所述调温装置相互电分离。2.按照权利要求1所述的系统，其特征在于，所述耦合元件是电极的外表面的至少一部分，热导管的第二端部邻接于该部分并且该部分相对于电极的其他区域具有提高的热吸收度。3.按照权利要求1所述的系统，其特征在于，所述耦合元件是与电极分开的由具有高导热性的材料制成的基体并且能设置在电极的外表面的如下区域中，所述区域邻接于电极的可至少设置有热导管的第二端部的体积区域。4.按照权利要求1所述的系统，其特征在于，所述耦合元件是与电极分开的由具有高导热性的材料制成的基体，在该基体中至少设置有热导管的第二端部。5.按照权利要求3或4所述的系统，其特征在于，所述耦合元件由导电的材料制成。6.按照权利要求3或4所述的系统，其特征在于，所述耦合元件由电绝缘的材料制成。7.按照权利要求3至6之一所述的系统，其特征在于，所述耦合元件具有相对于耦合元件的其他区域提高的热吸收度或提高的导热性的传热面。8.按照上述权利要求之一所述的系统，其特征在于，所述调温装置是红外辐射器、感应器、电阻性的加热器或基于流体的装置。9.按照上述权利要求之一所述的系统，其特征在于，所述系统还包含温度测量单元和控制单元，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：C·伯姆，S·拉施克，
申请(专利权)人：迈尔博尔格德国有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE