双波长多角度透射式空气颗粒测量装置制造方法及图纸

双波长多角度透射式空气颗粒测量装置，属于光学检测领域，本实用新型专利技术为了解决现有光散射测量装置存在误差大、速度慢的问题。设计双波长多角度，利用透射光栅分出固定的多个角度散射光，得到待测物在多个角度下的散射情况，测量过程简单、测量精度高。测量装置包括：绿光激光光源（1‑1）、红光激光光源（1‑2）、第一衰减器（2‑1）、第二衰减器（2‑2）、第一反射镜（3‑1）、第二反射镜（3‑2）、第一透镜（4‑1）、第二透镜（4‑2）、光阑（5）、分光棱镜（6）、第一会聚透镜（7‑1）、第二会聚透镜（7‑2）、样品（8）、偏振片（9）、光栅（10）、CMOS图像传感器（11.1~11.5）。本实用新型专利技术具有非接触性、测量简单、精度高、误差小等优点，用于测量颗粒浓度。

Dual-wavelength and Multi-angle Transmission Air Particle Measuring Device

The utility model relates to a dual-wavelength and multi-angle transmission type air particle measuring device, which belongs to the field of optical detection. The utility model solves the problems of large error and slow speed existing in the existing light scattering measuring device. A dual-wavelength and multi-angle system is designed, and the scattering light from fixed angles is separated by the transmission grating. The scattering situation of the object to be measured at multiple angles is obtained. The measuring process is simple and the measuring accuracy is high. The measuring devices include: green laser source (1_1), red laser source (1_2), first attenuator (2_1), second attenuator (2_2), first reflector (3_1), second reflector (3_2), first lens (4_1), second lens (4_2), aperture (5), splitting prism (6), first convergent lens (7_1), second convergent lens (7_2). Sample (8), polarizer (9), grating (10), CMOS image sensor (11.1-11.5). The utility model has the advantages of non-contact, simple measurement, high accuracy and small error, and is used for measuring particle concentration.

【技术实现步骤摘要】
双波长多角度透射式空气颗粒测量装置
本技术涉及双波长多角度透射式空气颗粒测量装置，属于光学检测领域。
技术介绍
光全散射法是一种基于Mie散射理论，近似地实现对待测物精确测量的方法，具有测量范围大、数据处理简单的优点。现有的光全散射法中，由于待测物的分布不规则导致散射光方向不固定，存在接收复杂的问题。这些方法多数只接收一个方向的散射法光进行计算和重构，因此就会存在待测物散射信息不全面，测量误差大的问题。光栅分光相比棱镜分光具有谱线分离角度固定、分离程度大、分辨率高、分散能量大的优点，同时经过透射光栅得到的光角度固定，在测量中操作简单又获得了散射光的多维信息。光散射测量技术是利用光波遇到待测物时会与其发生相互作用，从而改变了入射光信息，通过接收散射光的信息而获得待测物信息的一种光学测量方法。光散射法因其具有非接触、测量范围宽（从几十微米到几纳米）、测量速度快、准确性高，重复性好、能够在线测量等优点而被广泛应用于物体的表面检测、颗粒物的浓度测量，如半导体晶圆表面的多参量测量、空气中悬浮物浓度的测量等。现有的光散射测量方法根据使用的光源类型、信道、接收装置的不同而层出不穷。
技术实现思路
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【技术保护点】
1.双波长多角度透射式空气颗粒测量装置，其特征在于，其包括：绿光激光光源（1‑1）、红光激光光源（1‑2）、第一衰减器（2‑1）、第二衰减器（2‑2）、第一反射镜（3‑1）、第二反射镜（3‑2）、第一透镜（4‑1）、第二透镜（4‑2）、光阑（5）、分光棱镜（6）、第一会聚透镜（7‑1）、第二会聚透镜（7‑2）、样品（8）、偏振片（9）、光栅（10）、CMOS图像传感器（11.1~11.5）；上述装置绿光激光光源（1‑1）或红光激光光源（1‑2）检测光路所通过的光程完全相同，且通过实验测量区域相同，使得两次使用不同波长的激光光源检测时，无需改变光路，直接换用光源即可实验测量数据。

【技术特征摘要】
1.双波长多角度透射式空气颗粒测量装置，其特征在于，其包括：绿光激光光源（1-1）、红光激光光源（1-2）、第一衰减器（2-1）、第二衰减器（2-2）、第一反射镜（3-1）、第二反射镜（3-2）、第一透镜（4-1）、第二透镜（4-2）、光阑（5）、分光棱镜（6）、第一会聚透镜（7-1）、第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨德凯，于雪莲，房鑫宇，吴佳哲，方磊，潘立辉，罗如芝，
申请(专利权)人：哈尔滨理工大学，
类型：新型
国别省市：黑龙江,23