一种单晶炉副室炉筒清理工具制造技术

技术编号:21461247 阅读:26 留言:0更新日期:2019-06-26 08:04
本实用新型专利技术公开了一种单晶炉副室炉筒清理工具,包括铁环以及撑杆,铁环下表面设有支点,撑杆通过该支点与铁环相固定连接且撑杆与铁环之间呈相互垂直状态;沿铁环环体外壁一周开设有凹槽,凹槽中镶嵌有软胎,软胎以及铁环表面整体捆绑有无尘布,软胎上设有气嘴孔且铁环上与气嘴孔相对应处设有气嘴孔,沿软胎内部通过气嘴孔以及气嘴孔向外延伸有气管,气管上设有打气开关阀,本实用新型专利技术所设计的单晶炉副室炉筒清理工具提高了工作效率,方便了工作人员的操作,结构简单,维护方便。

A Kind of Cleaning Tool for Subchamber of Single Crystal Furnace

The utility model discloses a cleaning tool for the furnace barrel of the secondary chamber of a single crystal furnace, which comprises an iron ring and a supporting rod. The lower surface of the iron ring is provided with a fulcrum through which the supporting rod is fixed and connected with the iron ring, and the supporting rod and the iron ring are mutually perpendicular to each other. A groove is arranged along the outer wall of the iron ring, and a soft tire is embedded in the groove, and the surface of the soft tire and the iron ring is integrally bundled with a dust-free cloth. A gas nozzle hole is arranged on the iron ring, and a gas nozzle hole is arranged at the corresponding place between the iron ring and the gas nozzle hole. A gas pipe extends outward along the inner part of the soft tire through the gas nozzle hole and the gas nozzle hole. An air inflating switch valve is arranged on the gas pipe. The cleaning tool of the single crystal furnace auxiliary chamber designed by the utility model improves the working efficiency, facilitates the operation of the staff, has simple structure and convenient maintenance.

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉副室炉筒清理工具
本技术适用于单晶制造领域各种单晶炉副室炉筒的清理
,具体的说是涉及一种单晶炉副室炉筒清理工具。
技术介绍
拉制单晶过程中由于挥发物附在单晶炉副室炉筒外壁,停炉后清理时现有方法是将无尘布缠在带有铁杆的环型铁条上面,再醮上酒精伸入副室炉筒后上下擦拭。此种擦拭方法清理挥发物效果不佳且无尘布缠绕过多情况下在清理完副室炉筒后清理工具不易取出,浪费时间。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是,针对以上现有技术的缺点,提出一种单晶炉副室炉筒清理工具,提高了工作效率,方便了工作人员的操作,结构简单,维护方便。为了解决上述技术问题,本技术的技术方案是通过以下方式实现的:一种单晶炉副室炉筒清理工具,包括铁环以及撑杆,铁环下表面设有支点,撑杆通过该支点与铁环相固定连接且撑杆与铁环之间呈相互垂直状态;沿铁环环体外壁一周开设有凹槽,凹槽中镶嵌有软胎,软胎以及铁环外表面整体捆绑有无尘布,软胎上设有气嘴孔,沿软胎内部通过气嘴孔向外延伸有气管,气管上设有打气开关阀。本技术进一步限定的技术方案是:前述的单晶炉副室炉筒清理工具,软胎采用橡胶材质。前述的单晶炉副室炉筒清理工具,无尘布采用酒精无尘布。前述的单晶炉副室炉筒清理工具,气管延伸部分通过多个卡环与撑杆相紧贴。本技术的有益效果是:通过本技术的技术方案,将原有的铁环做成了环体外壁有凹槽的铁环,且凹槽中卡有软胎,软胎延伸出的气管上设有打气开关阀,可通过开关阀的打气以及放气来做清理,使得副室炉筒清理质量得到提高,使用原始方法清理一个副室筒需要五分钟,使用了该产品之后清理时间降至三分钟,工作效率大大提高,且方便了工作人员的操作,省时省力,高效节能,并且该技术方案结构简单,安装方便,维护简单。附图说明图1为本技术的结构示意图;图2为本技术铁环剖面;图3为本技术气管细节图;其中:1-铁环,2-撑杆,3-凹槽,4-软胎,5-无尘布,6-气嘴孔,7-气管,8-打气开关阀,9-卡环。具体实施方式下面对本技术做进一步的详细说明:实施例1本实施例提供的一种单晶炉副室炉筒清理工具,包括铁环1以及撑杆2,铁环1下表面设有支点,撑杆2通过该支点与铁环1相固定连接且撑杆2与铁环1之间呈相互垂直状态;沿铁环1环体外壁一周开设有凹槽3,凹槽3中镶嵌有软胎4,软胎4以及铁环1外表面整体捆绑有无尘布5,软胎4上设有气嘴孔6,沿软胎4内部通过气嘴孔6向外延伸有气管7,气管7上设有打气开关阀8;软胎4采用橡胶材质;无尘布5采用酒精无尘布;气管7延伸部分通过多个卡环9与撑杆2相紧贴。本实施例的操作方法为:首先在清理副室炉筒前将蘸有酒精的无尘布缠绕在铁环以及软胎整体的外表面,在伸入到炉筒内时使用打气筒通过软胎的气嘴孔与连接气管进行充气,使软胎充分与炉筒外壁接触后在上下进行擦拭。清理完毕后通过打气开关阀将软胎中的气体放掉,顺利拿出清理工具。通过本技术的技术方案,将原有的铁环做成了环体外壁有凹槽的铁环,且凹槽中卡有软胎,软胎延伸出的气管上设有打气开关阀,可通过开关阀的打气以及放气来做清理,使得副室炉筒清理质量得到提高,使用原始方法清理一个副室筒需要五分钟,使用了该产品之后清理时间降至三分钟,工作效率大大提高,且方便了工作人员的操作,省时省力,高效节能,并且该技术方案结构简单,安装方便,维护简单。以上实施例仅为说明本技术的技术思想,不能以此限定本技术的保护范围,凡是按照本技术提出的技术思想,在技术方案基础上所做的任何改动,均落入本技术保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉副室炉筒清理工具,包括铁环(1)以及撑杆(2),其特征在于:所述铁环(1)下表面设有支点,所述撑杆(2)通过该支点与所述铁环(1)相固定连接且所述撑杆(2)与所述铁环(1)之间呈相互垂直状态;沿所述铁环(1)环体外壁一周开设有凹槽(3),所述凹槽(3)中镶嵌有软胎(4),所述软胎(4)以及铁环(1)外表面整体捆绑有无尘布(5),所述软胎(4)上设有气嘴孔(6),沿所述软胎(4)内部通过气嘴孔(6)向外延伸有气管(7),所述气管(7)上设有打气开关阀(8)。

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉副室炉筒清理工具,包括铁环(1)以及撑杆(2),其特征在于:所述铁环(1)下表面设有支点,所述撑杆(2)通过该支点与所述铁环(1)相固定连接且所述撑杆(2)与所述铁环(1)之间呈相互垂直状态;沿所述铁环(1)环体外壁一周开设有凹槽(3),所述凹槽(3)中镶嵌有软胎(4),所述软胎(4)以及铁环(1)外表面整体捆绑有无尘布(5),所述软胎(4)上设有气嘴孔(6),沿所述软胎(...

【专利技术属性】
技术研发人员:王永和孟涛王海庆
申请(专利权)人:包头美科硅能源有限公司
类型:新型
国别省市:内蒙古,15

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