压电传感器、触控显示装置及制造方法制造方法及图纸

本申请公开了一种压电传感器、触控显示装置及制造方法。该压电传感器依次设置有第一电极层、绝缘层、压电膜层，还包括：设置于绝缘层上的第一隔垫层，第一隔垫层位于未设有压电膜层的区域，第一隔垫层与压电膜层之间具有一定间距。

【技术实现步骤摘要】
压电传感器、触控显示装置及制造方法
本公开一般涉及传感器领域，尤其涉及压电传感器、触控显示装置及制造方法。
技术介绍
目前压电传感器大多采用聚偏氟乙烯PVDF材料作为压电膜层，PVDF膜具有良好的耐化学腐蚀性、耐高温性、耐氧化性，但也增加了其图案化工艺的难度。通常精度较低的图案化工艺是采用局部贴膜或者撕膜的方式进行，上述方法只能进行粗略的对位，不适用于大批量的高精度压电传感器产品。
技术实现思路
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种精度高且适用于量产的压电传感器、触控显示装置及制造方法。第一方面，提供一种压电传感器，压电传感器依次设置有第一电极层、绝缘层、压电膜层，还包括：设置于绝缘层上的第一隔垫层，第一隔垫层位于未设有压电膜层的区域，第一隔垫层与压电膜层之间具有一定间距。在本申请的一个或多个实施例中，第一隔垫层采用有机材料第二方面，提供一种制造压电传感器的方法，压电传感器依次设置有第一电极层、绝缘层、压电膜层，方法包括：绝缘层包括第一区域和第二区域；绝缘层的第一区域形成压电膜层；绝缘层的未设有压电膜层的第二区域形成第一隔垫层。在本申请的一个或多个实施例中，绝缘层的未设有压电膜层本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电传感器，所述压电传感器依次设置有第一电极层、绝缘层、压电膜层，其特征在于，还包括：设置于所述绝缘层上的第一隔垫层，所述第一隔垫层位于未设有所述压电膜层的区域，所述第一隔垫层与所述压电膜层之间具有一定间距。

【技术特征摘要】
1.一种压电传感器，所述压电传感器依次设置有第一电极层、绝缘层、压电膜层，其特征在于，还包括：设置于所述绝缘层上的第一隔垫层，所述第一隔垫层位于未设有所述压电膜层的区域，所述第一隔垫层与所述压电膜层之间具有一定间距。2.根据权利要求1所述的压电传感器，其特征在于，所述第一隔垫层采用有机材料。3.一种制造压电传感器的方法，所述压电传感器依次设置有第一电极层、绝缘层、压电膜层，其特征在于，所述方法包括：所述绝缘层包括第一区域和第二区域；所述绝缘层的未设有所述压电膜层的所述第二区域形成第一隔垫层；所述绝缘层的第一区域形成所述压电膜层。4.根据权利要求3所述的制造压电传感器的方法，其特征在于，所述绝缘层的未设有所述压电膜层的所述第二区域形成第一隔垫层；所述绝缘层的第一区域形成所述压电膜层包括：所述第一隔垫层上形成第一金属层，所述第一隔垫层与所述第一金属层在所述第一电极上的正投影重叠；在所述绝缘层对应的整个区域形成压电膜层；所述压电膜层上形成第二金属层；在所述第二金属层上形成光刻胶，并曝光显影进行图案化，使得去除所述绝缘层第二区域垂直对应区域的光刻胶；湿法刻蚀整个所述第一金属层和部分所述第二金属层，使得在所述第一金属层所在区域形成刻蚀通道，并去除所述第二区域垂直对应区域的第二金属层；利用所述刻蚀通道，从所述压电膜层的两侧进行湿法刻蚀，使得去除与所述第二区域垂直对应区域的压电膜层。5.根据权利要求3所述的制造压电传感器的方法，其特征在于，所述绝缘层的未设有所述压电膜层的所述第二区域形成第一隔垫层；所述绝缘层的第一区域形成所述压电膜层包括：所述第一隔垫层上形成第一金属层，所述第一隔垫层与所述第一金属层在所述第一电极上的正投影重叠；在所述绝缘层对应的整个区域形成压电膜层；所述压电膜层上形成第二金属层；在所述第二金属层上形成光刻胶，并曝光显影进行图案化，使得去除区域小于所述绝缘层第二区域垂直对应区域；湿法刻蚀整个所述第一金属层和部分所述第二金属层，使得在所述第一金属层所在区域形成刻蚀通道，并去除所述第二区域垂直对应区域的第二金属层；利用所述刻蚀通道，从所述压电膜层的两侧进行湿法刻蚀，使得去除与所述第二区域垂直对应区域的压电膜层。6.根据权利要求3所...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛菁，周婷婷，张方振，孙双，史鲁斌，王锦谦，米东灿，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11