激光枪镜头透过率测试装置及测试方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种镜头透过率测试装置及测试方法，所述激光枪镜头透过率测试装置包括：光源组件，用于产生模拟激光枪激光的模拟光束；视场光阑，设置于激光枪镜头一侧，用于使模拟光束的光斑形状形成为预定形状，预定形状为激光枪镜头上的光束标记形状；信号采集组件，设置于激光枪镜头的另一侧，用于采集经过激光枪镜头的光束标记区域各坐标点位的光信号，并将所采集的光信号转换为电信号；以及，处理器，与信号采集组件连接，用于将电信号处理为图像信息。本发明专利技术的激光枪镜头透过率测试装置及测试方法，可以对激光枪镜头上的激光波束标记区域进行透过率测试，对此区域的透过率进行量化判断，保证激光输出透过率的准确性。

【技术实现步骤摘要】
激光枪镜头透过率测试装置及测试方法
本专利技术涉及一种显示
，尤其涉及一种准分子激光退火设备的激光枪镜头透过率测试装置及测试方法。
技术介绍
低温多晶硅(LowTemperaturePoly-Silicon，简称LTPS)因其较高的电子迁移率和稳定性，而被广泛用于液晶显示技术(LiquidCrystalDisplay)和有机发光显示技术(OrganicLight-EmittingDiode，简称OLED)。目前，通过准分子激光退火工艺(ELA)，在相对较低的温度下，实现非晶硅到多晶硅的转变。通过准分子激光对非晶硅(AmorphousSilicon)进行照射，可以实现向Poly-Si(多晶硅)的转变。但ELA准分子激光退火设备在使用过程中，随着Gaslifetime(准分子激光气体寿命)的不同，ELA准分子激光退火设备的激光枪镜头(LaserTubeWindow)上的激光波束标记(BeamMark)严重程度会有所不同。通常到达既定的Gaslife(准分子激光气体寿命)时，激光枪镜头上的激光波束标记(BeamMark)已经较为明显，此时激光枪镜头的透过率已经大打折扣，若继续使用，会本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光枪镜头透过率测试装置，其特征在于，包括：光源组件，用于产生模拟激光枪激光的模拟光束；视场光阑，设置于所述光源组件的出光侧，并设置于激光枪镜头一侧，用于使所述模拟光束的光斑形状形成为预定形状，所述预定形状为激光枪镜头上的光束标记形状；信号采集组件，设置于激光枪镜头的另一侧，用于采集经过所述激光枪镜头的光束标记区域各坐标点位的光信号，并将所采集的光信号转换为电信号；以及，处理器，与所述信号采集组件连接，用于将所述电信号处理为图像信息。

【技术特征摘要】
1.一种激光枪镜头透过率测试装置，其特征在于，包括：光源组件，用于产生模拟激光枪激光的模拟光束；视场光阑，设置于所述光源组件的出光侧，并设置于激光枪镜头一侧，用于使所述模拟光束的光斑形状形成为预定形状，所述预定形状为激光枪镜头上的光束标记形状；信号采集组件，设置于激光枪镜头的另一侧，用于采集经过所述激光枪镜头的光束标记区域各坐标点位的光信号，并将所采集的光信号转换为电信号；以及，处理器，与所述信号采集组件连接，用于将所述电信号处理为图像信息。2.根据权利要求1所述的激光枪镜头透过率测试装置，其特征在于，所述光源组件包括：矩阵式光源，包括呈矩阵排列的多个光源元件，用于产生与所述激光枪激光相同波长的激光光束；聚焦元件，设置于所述矩阵式光源的出光侧，用于将所述矩阵式光源出射的激光光束进行聚焦；孔径光阑，设置于所述聚焦元件的出光侧，用于将所述聚焦部件出射的激光光束进行拦光，以使得激光光束由预设焦点区域出射；准直元件，设置于所述孔径光阑的出光侧，用于将通过所述孔径光阑的激光光束进行平行准直，以形成所述模拟光束。3.根据权利要求2所述的激光枪镜头透过率测试装置，其特征在于，所述聚焦元件包括聚焦透镜，所述孔径光阑设置于所述聚焦透镜的焦点区域。4.根据权利要求2所述的激光枪镜头透过率测试装置，其特征在于，所述准直元件包括平行透镜，所述孔径光阑设置于所述平行透镜的焦点区域。5.根据权利要求1所述的激光枪镜头透过率测试装置，其特征在于，所述信号采集组件包括：面阵电荷耦合器件CCD，所述面阵电荷耦合器件CCD各像素点位接收经过所述激光枪镜头各坐标点位的光...

【专利技术属性】
技术研发人员：张立，雍翔，张宇，王灿，张迪，王小进，胡成龙，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11