【技术实现步骤摘要】
一种人造非晶翡翠薄膜的制备方法
本专利技术属于硬质薄膜
,尤其涉及一种人造非晶翡翠薄膜的制备方法。
技术介绍
翡翠,也称翡翠玉、翠玉、缅甸玉,是玉的一种。翡翠是在地质作用下形成的达到玉级的石质多晶集合体,主要由硬玉或硬玉及钠质(钠铬辉石)和钠钙质辉石(绿辉石)组成,可含有角闪石、长石、铬铁矿、褐铁矿等。翡翠具有良好的装饰效果,同时具有较高的硬度,可以强化表面以及作为装饰镀在基体上。天然翡翠的形成较为困难,数量稀少,传统的人造翡翠需高温高压的复杂条件,而磁控溅射法具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点,如若使用粉末磁控溅射方法制备,则无需高温高压即可合成非晶翡翠薄膜,且成分均匀,有望通过后续热处理转化为晶体翡翠薄膜,因此专利技术制备一种仿天然翡翠材质及功能的人造非晶翡翠薄膜。
技术实现思路
为克服现有技术的不足,本专利技术的目的是提供一种人造非晶翡翠薄膜的制备方法,能够制备得到仿天然翡翠材质及功能的人造非晶翡翠薄膜。为实现上述目的,本专利技术通过以下技术方案实现:一种人造非晶翡翠薄膜的制备方法,采用磁控溅射方法,鉴于不导电的粉末靶,配合使用射频电源制备 ...
【技术保护点】
1.一种人造非晶翡翠薄膜的制备方法,其特征在于,采用磁控溅射方法,鉴于不导电的粉末靶,配合使用射频电源制备,具体包括以下步骤:1)靶材制备:将不导电的粉末混合搅拌,混合搅拌5~10分钟,制得混合粉末原料,所述的粉末原料粒度不大于830μm;基体制备:将基体在去离子水中用超声清洗15分钟以上;2)将混合粉末原料均匀铺满在样品台并压实,基体固定在压实的混合粉末原料上方12~18cm;3)磁控溅射:采用机械泵和分子泵抽真空,当达到本底真空度3.0×10
【技术特征摘要】
1.一种人造非晶翡翠薄膜的制备方法,其特征在于,采用磁控溅射方法,鉴于不导电的粉末靶,配合使用射频电源制备,具体包括以下步骤:1)靶材制备:将不导电的粉末混合搅拌,混合搅拌5~10分钟,制得混合粉末原料,所述的粉末原料粒度不大于830μm;基体制备:将基体在去离子水中用超声清洗15分钟以上;2)将混合粉末原料均匀铺满在样品台并压实,基体固定在压实的混合粉末原料上方12~18cm;3)磁控溅射:采用机械泵和分子泵抽真空,当达到本底真空度3.0×10-3Pa时通氩气,氩气流量为5~10sccm,基体偏压为-80~-120V,工作气压为1.0×10-1~2.0×10-1Pa进行磁控溅射,溅射功率为100~500W,溅射时间为1~8h,最终制成非晶翡翠薄膜。2.根据权利要求1所述的一种人造非晶翡翠薄膜的制备方法,其特征在于,步骤1)中所述的不导电的粉末包括氧化铝、零水偏硅酸钠、二氧化硅粉末,氧化铝粒度不大于75μm,零水偏硅酸钠粒度不大于830μm,二氧化硅粒度不大...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴法宇,李瑞武,张政,许超,张瑶瑶,尹航,宫震,
申请(专利权)人:辽宁科技大学,
类型:发明
国别省市:辽宁,21
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