下载一种人造非晶翡翠薄膜的制备方法的技术资料

文档序号:21423374

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本发明涉及一种人造非晶翡翠薄膜的制备方法,采用磁控溅射方法,配合不导电的粉末靶,使用射频电源制备,靶材制备:将不导电的粉末和致色元素氧化物混合搅拌,制得混合粉末原料;基体制备:将基体在去离子水中用超声清洗;将混合粉末原料均匀铺满在样品台并压...
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