The utility model relates to the technical field of corrosion devices, and discloses a lithium niobate method corrosion device, which comprises a device body, a driving mechanism, a sample placement mechanism and a ventilation mechanism. The device body is a shell with a holding cavity, which is respectively provided with a corrosion tank and a clean water tank. The device body is provided with a sampling gate for sampling and placing substrate samples. The driving mechanism and the sample placement mechanism are fixed and connected to drive the sample placement mechanism to move horizontally and vertically in the accommodation chamber; the ventilation mechanism includes a fan and a ventilation pipeline, which is arranged in the body of the device and connected with the exhaust fan; the device is more convenient to take and place the substrate sample and improves the corrosion efficiency. Moreover, the corrosion liquid on the surface of lithium niobate crystal does not need to be washed out manually by the etched substrate sample, which reduces the working strength of the staff.
【技术实现步骤摘要】
一种铌酸锂法腐蚀装置
本技术涉及腐蚀装置
,具体涉及一种铌酸锂法腐蚀装置。
技术介绍
铌酸锂(LiNbO3)是一种铌、锂和氧的化合物,其晶体具有钙钛矿型结构,在微波技术中用于调Q开关、光电调制、倍频、光参量振荡,掺加一定量的铁和其他金属杂质的铌酸锂基片,为一种具有压电、铁电、电光、非线性光学、热电等多性能材料,在微声技术中用于表面波、体波、换能器元件,还可作全息记录介质材料。铌酸锂基片制备过程中,常常需要对其进行表面腐蚀处理;目前,在腐蚀处理铌酸锂基片时,大多数装置在腐蚀效率低,取放铌酸锂基片不方便;而且腐蚀后的铌酸锂基片,有时需要借助人工去洗去铌酸锂基片表面的腐蚀液体,增加了工作人员的工作强度。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足,本技术的目的在于提供一种铌酸锂法腐蚀装置,该装置取放基片样品更方便,提高了腐蚀效率,而且腐蚀后的基片样品不需要借助人工去洗去铌酸锂晶体表面的腐蚀液体,减少了工作人员的工作强度。为了实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种铌酸锂法腐蚀装置,所述腐蚀装置包括装置本体、驱动机构、样品放置机构及通风机构,所述装置本体为一壳体,其内设有容纳腔,所述容纳腔分别设置有腐蚀槽及清水槽;所述装置本体上设有取放样门,用于取放基片样品;所述驱动机构与所述样品放置机构固定连接,用于驱动所述样品放置机构在所述容纳腔内水平方向上移动及竖直方向上移动;所述通风机构包括抽风机及通风管道,所述通风管道设于所述装置本体内,并连接所述抽风机。在本技术中,优选的,所述驱动机构包括电动推杆、第一电机及第二电机,所述电动推杆固定安装在所述容纳腔内,其输出端连接一活动板 ...
【技术保护点】
1.一种铌酸锂法腐蚀装置,其特征在于:所述腐蚀装置包括装置本体(1)、驱动机构(2)、样品放置机构(3)及通风机构(4),所述装置本体(1)为一壳体,其内设有容纳腔(5),所述容纳腔(5)分别设置有腐蚀槽(6)及清水槽(7);所述装置本体(1)上设有取放样门(8),用于取放基片样品;所述驱动机构(2)与所述样品放置机构(3)固定连接,用于驱动所述样品放置机构(3)在所述容纳腔(5)内水平方向上移动及竖直方向上移动;所述通风机构(4)包括抽风机(401)及通风管道(402),所述通风管道(402)设于所述装置本体(1)内,并连接所述抽风机(401)。
【技术特征摘要】
1.一种铌酸锂法腐蚀装置,其特征在于:所述腐蚀装置包括装置本体(1)、驱动机构(2)、样品放置机构(3)及通风机构(4),所述装置本体(1)为一壳体,其内设有容纳腔(5),所述容纳腔(5)分别设置有腐蚀槽(6)及清水槽(7);所述装置本体(1)上设有取放样门(8),用于取放基片样品;所述驱动机构(2)与所述样品放置机构(3)固定连接,用于驱动所述样品放置机构(3)在所述容纳腔(5)内水平方向上移动及竖直方向上移动;所述通风机构(4)包括抽风机(401)及通风管道(402),所述通风管道(402)设于所述装置本体(1)内,并连接所述抽风机(401)。2.根据权利要求1所述的一种铌酸锂法腐蚀装置,其特征在于,所述驱动机构(2)包括电动推杆(201)、第一电机(202)及第二电机(203),所述电动推杆(201)固定安装在所述容纳腔(5)内,其输出端连接一活动板(204);所述活动板(204)面向所述腐蚀槽(6)的一侧开设有凹槽(205),所述第一电机(202)设于所述凹槽(205)内,且其输出端通过联轴器与一丝杆(206)固定连接;所述丝杆(206)上通过螺纹连接一滑块(207),所述滑块(207)能够沿所述丝杆(206)长度方向上移动;所述滑块(207)面向所述腐蚀槽(6)的一侧安装有所述第二电机(203),所述第二电机(203)的输出轴与一搅拌杆(208)固定连接,所述搅拌杆(208)远离所述第二电机(203)的一侧与...
【专利技术属性】
技术研发人员:华平壤,姜城,
申请(专利权)人:派尼尔科技天津有限公司,
类型:新型
国别省市:天津,12
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