一种LED粗化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种LED粗化装置，包括：具有腔体的可加热装置，压力调节装置和粗化液盛放装置。压力调节装置与腔体的一端连通，以调节所腔体内的气压，腔体的另一端与粗化液盛放装置连通，以在腔体内的气压小于粗化液盛放装置时，使粗化液盛放装置中的粗化液挥发物进入腔体内。这样通过降低腔体内的气压，使其与粗化液盛放装置内的气压形成压差，就能够将粗化液盛放装置中的粗化液挥发物通入到腔体中，实现了对腔体内LED透明导电层的粗化，操作方便，且不易与腐蚀性液体接触，具有较高的安全性，同时与浸入腐蚀液中粗化相比，对粗化过程以及粗化程度具有更高的可控性，是一种安全可控的LED导电层粗化装置。

An LED Coarsening Device

The utility model provides an LED coarsening device, which comprises a heating device with a cavity, a pressure regulating device and a coarsening liquid filling device. The pressure regulating device is connected with one end of the cavity to regulate the air pressure in the cavity, and the other end of the cavity is connected with the coarsening liquid filling device, so that when the air pressure in the cavity is less than that in the coarsening liquid filling device, the volatile matter of the coarsening liquid filling device enters the cavity. In this way, by reducing the air pressure in the chamber and forming a pressure difference with the air pressure in the coarsening liquid filling device, the volatile matter of the coarsening liquid in the coarsening liquid filling device can be introduced into the chamber, which realizes the coarsening of the transparent conductive layer of the LED in the chamber, is easy to operate, is not easy to contact with the corrosive liquid, and has higher safety. At the same time, compared with the coarsening in the corrosive liquid, the coarsening of the coarsening liquid can be Coarsening process and coarsening degree are more controllable. It is a safe and controllable device for coarsening conductive layer of LED.

【技术实现步骤摘要】
一种LED粗化装置
本技术涉及半导体发光二极管(Light-EmittingDiode，LED)领域，尤其涉及一种LED粗化装置。
技术介绍
半导体发光二极管相对于目前的发光器件具有效率高、寿命长、抗强力学冲击等特质，而被看作新一代的照明器件，其发光芯片的材料多为III–V族半导体材料，如常见的GaN材料发光芯片，但由于III–V族半导体材料的折射率普遍较高(GaP：3.2，GaN：2.4)，会导致LED的发光区域发出的光在经芯片表面出射到空气中时易发生界面全反射现象，只有极少部分的光可以出射到器件外部，而导致LED的外量子效率较低，从而局限了LED替代现有照明器件的发展，因此在功率LED芯片的加工过程中引入表面粗化技术，以增加器件的光提取效率十分必要。目前，现有的粗化GaN透明半导体层常通过湿法刻蚀来达到粗化效果。其使用的装置包括腐蚀溶液槽、光源模块、通风排气扇以及定时器，腐蚀溶液槽、光源模块、通风排气扇安装在密封箱体的内部，光源模块与通风排气扇安装在箱体的顶部，在密封箱体的箱壁上设置有前面板和观察窗口，定时器安装在密封箱体的前面板上，将镀有透明导电层的LED衬底放入腐蚀溶液槽中，并使用光源模块对齐照射，通过腐蚀配合光源辅助对GaN半导体材料进行粗化加工。然而，现有的湿法刻蚀多需将待粗化的透明导电层衬底放入硫酸和磷酸的高温腐蚀溶液槽中，设备操作的安全性较差，成本较高，且腐蚀粗化的过程以及程度也较难掌控。
技术实现思路
本技术提供一种LED粗化装置，以解决现有技术中湿法刻蚀LED透明导电层设备操作的安全性较低，且粗化过程以及粗化程度不易控制的问题。一种LED粗化装置，包括：具有腔体的可加热装置，压力调节装置和粗化液盛放装置；所述压力调节装置与所述腔体的一端连通，以调节所述腔体内的气压，所述腔体的另一端与所述粗化液盛放装置连通，以在所述腔体内的气压小于所述粗化液盛放装置的气压时，使所述粗化液盛放装置中的粗化液挥发物进入所述腔体内。在本技术的具体实施方式中，所述压力调节装置通过第一管路与所述腔体连通，所述第一管路上设有调节阀。在本技术的具体实施方式中，所述粗化液盛放装置通过第二管路与所述腔体连通，所述第二管路上设有控制阀。在本技术的具体实施方式中，所述粗化液盛放装置顶端具有第一通孔，所述第二管路通过所述第一通孔与所述粗化液盛放装置的空腔连通。在本技术的具体实施方式中，所述粗化液盛放装置底部还设有第一控温调节系统，以调节所述粗化液盛放装置内的温度。在本技术的具体实施方式中，还包括：第三管路，所述粗化液盛放装置顶端具有第二通孔，所述第三管路的一端通过所述第二通孔与所述粗化液盛放装置中的粗化液连通。在本技术的具体实施方式中，所述第三管路的另一端与载气装置连通。在本技术的具体实施方式中，所述可加热装置内具有第二控温调节系统，以调节并控制所述腔体的温度。在本技术的具体实施方式中，还包括控制装置，所述控制阀、所述调节阀、所述第二控温调节系统均与所述控制装置相连，以在设定时间内对进入所述腔体的粗化液挥发物流量、所述腔体的压力以及温度进行调节。在本技术的具体实施方式中，所述腔体内设有压力传感装置和温度传感装置，所述压力传感装置与所述控制装置相连，所述温度传感装置与所述控制装置相连。本技术提供的一种LED粗化装置，通过将放置LED晶片的腔体的一端与压力调节装置连通，以降低腔体内气压，并将腔体的另一端与粗化液盛放装置连通，以在腔体内的气压小于粗化液盛放装置时，使粗化液盛放装置中的粗化液挥发物进入腔体内，这样在对LED透明导电层进行粗化时，将该LED晶片放入该腔体内，使用压力调节装置降低腔体内的气压，当腔体内的气压降低时，腔体内的气压和粗化液盛放装置内的气压就会形成气压差，从而使粗化液盛放装置中的粗化液挥发物进入到腔体内，对透明导电层起到腐蚀粗化的作用。因此，与现有的湿法刻蚀相比，本技术提供的粗化装置，操作方便，且不易与腐蚀性液体接触，具有较高的安全性，同时通过降低腔体气压，形成气压差来使粗化液挥发物进入腔体内对透明导电层实现腐蚀粗化，与浸入腐蚀液中粗化相比，对粗化过程以及粗化程度具有更高的可控性，通过调节气压也可以对透明导电层的腐蚀程度进行控制。解决了现有技术中湿法刻蚀LED透明导电层设备操作的安全性较低，且粗化过程以及粗化程度不易控制的问题。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术实施例提供的一种LED粗化装置。附图标记说明：可加热装置-10；腔体-11；第二控温调节系统-12；压力调节装置-20；粗化液盛放装置-30；第一控温调节系统-31；第一管路-40；调节阀-41；第二管路-50；控制阀-51；第三管路-60；载气装置-70；控制装置-80。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术提供的一种LED粗化装置，用于对LED透明导电层进行粗化，具体的，在衬底上生长外延片后，在清洗后的外延片上蒸镀透明导电层，将该镀有透明导电层的LED晶片放入该LED粗化装置中进行透明导电层的粗化，以减少形成的LED芯片的全反射现象的发生，提高LED芯片的发光功率。图1是本技术实施例提供的一种LED粗化装置的结构示意图。本技术提供的一种LED粗化装置，包括：具有腔体11的可加热装置10，压力调节装置20和粗化液盛放装置30，粗化液盛放装置30用于放置粗化液，该粗化液对LED透明导电层可以起到腐蚀粗化的作用，在本实施例中对该粗化液的材料并无其它要求，能够对LED透明导电层起到腐蚀粗化作用即可，如在本实施例中，LED透明导电层为氧化铟锑(ITO)层，则该粗化液为ITO腐蚀液，该ITO腐蚀液可以是氯化氢和硝酸的混合液，或者也可以是氯化铁和氯化氢的混合液等。当腔体11内分布有粗化液挥发物时，可加热装置10对腔体11进行加热，提高粗化液挥发物的温度，使粗化液挥发物在热辅助的配合下对透明导电层进行腐蚀粗化。其中，该压力调节装置20与腔体11的一端连通，以调节空腔内的气压，具体的，该压力调节装置20与腔体11的一端连通，以降低腔体11内的气压。腔体11的另一端与粗化液盛放装置30连通，以在腔体11内的气压小于粗化液盛放装置30的气压时，使粗化液盛放装置30中的粗化液挥发物进入腔体11内。将腔体11的一端与压力调节装置20连通，通过压力调节装置20降低腔体11内的气压，而将腔体11的另一端与粗化液盛放装置30连通，使腔体11内的气压小于粗化液盛放装置30内的气压时，能够使粗化液盛放装置30中的粗化液挥发物进入腔体11内，这样在对LED透本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种LED粗化装置，其特征在于，包括：具有腔体的可加热装置，压力调节装置和粗化液盛放装置；所述压力调节装置与所述腔体的一端连通，以调节所述腔体内的气压，所述腔体的另一端与所述粗化液盛放装置连通，以在所述腔体内的气压小于所述粗化液盛放装置的气压时，使所述粗化液盛放装置中的粗化液挥发物进入所述腔体内。

【技术特征摘要】
1.一种LED粗化装置，其特征在于，包括：具有腔体的可加热装置，压力调节装置和粗化液盛放装置；所述压力调节装置与所述腔体的一端连通，以调节所述腔体内的气压，所述腔体的另一端与所述粗化液盛放装置连通，以在所述腔体内的气压小于所述粗化液盛放装置的气压时，使所述粗化液盛放装置中的粗化液挥发物进入所述腔体内。2.根据权利要求1所述的LED粗化装置，其特征在于，所述压力调节装置通过第一管路与所述腔体连通，所述第一管路上设有调节阀。3.根据权利要求2所述的LED粗化装置，其特征在于，所述粗化液盛放装置通过第二管路与所述腔体连通，所述第二管路上设有控制阀。4.根据权利要求3所述的LED粗化装置，其特征在于，所述粗化液盛放装置顶端具有第一通孔，所述第二管路通过所述第一通孔与所述粗化液盛放装置的空腔连通。5.根据权利要求4所述的LED粗化装置，其特征在于，所述粗化液盛放装置底部还设有第一控温调节系统，以...

【专利技术属性】
技术研发人员：康建，刘伟，郑远志，梁旭东，陈向东，
申请(专利权)人：圆融光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34