瞬态电压抑制器制造技术

本发明专利技术涉及一种瞬态电压抑制器，包括基板、第一阱区、第二阱区、第三阱区、第一电极、第二电极及掺杂区。基板具有表面。第一阱区形成于基板中且邻近表面。第二阱区形成于第一阱区中且邻近表面。第三阱区形成于第一阱区中且邻近表面。第二阱区与第三阱区之间具有间隙。第一电极形成于第二阱区中且邻近表面。第二电极形成于第一阱区中且邻近表面。第一阱区及第一电极具有第一电性。第二阱区、第三阱区及第二电极具有第二电性。掺杂区形成于第一电极与第二电极之间且邻近表面。掺杂区分别电性连接第一阱区与第三阱区。本发明专利技术可有效降低瞬态电压抑制器的整体电阻并可调控瞬态电压抑制器的导通电阻。

【技术实现步骤摘要】
瞬态电压抑制器
本专利技术与瞬态电压的抑制有关，特别是关于一种瞬态电压抑制器(TransientVoltageSuppressor,TVS)。
技术介绍
一般而言，静电放电是影响电子产品良率及可靠度的重要因素之一，尤其是现今的电子产品有相当多的热插拔界面，加上消费者使用行为的改变，使得静电放电导致电子产品毁损的风险变高。因此，很多厂商均将静电放电测试规格要求提高至最高等级。在众多的静电保护器产品中，由于瞬态电压抑制器阵列(TVSarray)具有导通速度快、箝制电压低等优点，已成为符合最高等级静电放电测试规格的最佳选择。请参照图1，图1为传统的瞬态电压抑制器的电流-电压特性曲线图。如图1所示，当顺向电压+V很小时，瞬态电压抑制器会呈现高阻值的特性而处于OFF(关闭)状态；当顺向电压+V达到崩溃电压(Breakdownvoltage)VBR时，瞬态电压抑制器会被导通而处于ON(开启)状态，此时其阻值会变小。这种将电压由OFF(关闭)状态拉回ON(开启)状态的现象称之为“弹回”(Snapback)，而导通电压VON的大小通常会由闸极所接收到的电流大小来决定。然而，传统的瞬态电压抑制器的结构较复杂，需要闸极结构来控制导通电压VON。此外，当静电放电事件发生时，传统的瞬态电压抑制器中的电流会集中于同一电流路径，导致瞬态电压抑制器的整体电阻难以降低。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供一种瞬态电压抑制器，以解决现有技术所述及的问题。本专利技术的一较佳具体实施例为一种瞬态电压抑制器。于此实施例中，瞬态电压抑制器包括基板、第一阱区、第二阱区、第三阱区、第一电极、第二电极及掺杂区。基板具有表面。第一阱区形成于基板中且邻近表面，第一阱区具有第一电性。第二阱区形成于第一阱区中且邻近表面，第二阱区具有第二电性。第三阱区形成于第一阱区中且邻近表面，第三阱区具有第二电性且第二阱区与第三阱区之间具有间隙，该第二阱区与该第三阱区于该间隙中彼此扩散相连而导通。第一电极形成于第二阱区中且邻近表面，第一电极具有第一电性。第二电极形成于第一阱区中且邻近表面，第二电极具有第二电性。掺杂区形成于第一电极与第二电极之间且邻近表面，掺杂区分别电性连接第一阱区与第三阱区。在本专利技术的一实施例中，瞬态电压抑制器还包括第四阱区、第三电极及第四电极。第四阱区形成于第一阱区外的基板中且邻近表面。第三电极形成于第四阱区中且邻近表面，具有第一电性。第四电极形成于第四阱区中且邻近表面，具有第二电性。第三电极电性连接输入/输出端，第四电极电性连接第一电极。在本专利技术的一实施例中，瞬态电压抑制器还包括重掺杂区。重掺杂区形成于掺杂区下方。重掺杂区具有与掺杂区相同的电性且重掺杂区的掺杂浓度高于掺杂区的掺杂浓度。在本专利技术的一实施例中，重掺杂区与掺杂区均具有第一电性。在本专利技术的一实施例中，重掺杂区与掺杂区均具有第二电性。在本专利技术的一实施例中，掺杂区位于第三阱区的边缘并与第一阱区相邻。在本专利技术的一实施例中，掺杂区为浮接(Floating)。在本专利技术的一实施例中，彼此扩散相连的第二阱区与第三阱区会形成葫芦状阱区。在本专利技术的一实施例中，瞬态电压抑制器的导通电压(Triggervoltage)与重掺杂区的掺杂浓度有关。在本专利技术的一实施例中，掺杂区的掺杂浓度高于第一阱区、第二阱区及第三阱区的掺杂浓度。相较于现有技术，本专利技术的瞬态电压抑制器具有下列优点及功效：(1)瞬态电压抑制器仅包括阳极与阴极而未耦接闸极，故其结构相对较为简单；(2)第一电极所在的第二阱区与掺杂区所在的第三阱区之间会具有间隙，并于该间隙中会彼此扩散相连而形成葫芦状阱区，从而提高第一电流路径的电阻，使得大部份电流走第二电流路径，可防止掺杂区因大电流而烧毁。此外，瞬态电压抑制器的导通电阻与间隙的大小、第二阱区的掺杂浓度及第三阱区的掺杂浓度有关，故可通过改变间隙的大小或第二阱区及第三阱区的掺杂浓度的方式来调控瞬态电压抑制器的导通电阻；以及(3)瞬态电压抑制器在阳极与阴极中间设置有浮接的掺杂区且其下方还设置有重掺杂区可作为触发结构，通过调整重掺杂区的掺杂浓度的方式降低崩溃电压。当静电放电事件发生时，形成于第一电极、扩散相连的第二阱区与第三阱区、重掺杂区、第一阱区至第二电极的第一电流路径会导通，故可通过调整重掺杂区的掺杂浓度的方式有效降低导通电压，于此同时，形成于第一电极、第二阱区、第一阱区至第二电极的第二电流路径亦会导通，通过电流分流的方式有效降低瞬态电压抑制器的整体电阻，让大部份电流走第二电流路径，不会因第一电流路径较小而烧毁。关于本专利技术的优点与精神可以通过以下的专利技术详述及所附附图得到进一步的了解。附图说明图1为传统的瞬态电压抑制器的电流-电压特性曲线图。图2为本专利技术的一较佳具体实施例中的瞬态电压抑制器的剖面以及静电放电事件发生时通过第一电流路径及第二电流路径进行分流的剖面示意图。图3为本专利技术的另一较佳具体实施例中的瞬态电压抑制器的剖面示意图以及静电放电事件发生时通过第一电流路径及第二电流路径进行分流的剖面示意图。图4A及图4B分别为瞬态电压抑制器还包括旁路二极管的剖面示意图及电路图。主要元件符号说明：+V：顺向电压-V：逆向电压+I：顺向电流-I：逆向电流VBR：崩溃电压VBR’：逆向崩溃电压VON：导通电压IH：维持电流2、3：瞬态电压抑制器SUB：基板F1：第一表面F2：第二表面PW：第一阱区NW1：第二阱区NW2：第三阱区P：第一电极N：第二电极P+、N+：掺杂区P++、N++：重掺杂区AD：阳极CD：阴极GAP：间隙PATH1：第一电流路径PATH2：第二电流路径4：瞬态电压抑制器40：瞬态电压抑制器41～42：旁路二极管PW：第四阱区P+：第三电极N+：第四电极G：闸极I/O：输入/输出端PW：第五阱区P+：第五电极N+：第六电极具体实施方式现在将详细参考本专利技术的示范性实施例，并在附图中说明所述示范性实施例的实例。在附图及实施方式中所使用相同或类似标号的元件/构件是用来代表相同或类似部分。根据本专利技术的一较佳具体实施例为一种瞬态电压抑制器。于此实施例中，瞬态电压抑制器用以于静电放电事件发生时提供防护功能，以确保欲保护的电子元件不会受静电放电的影响而毁损，但不以此为限。请参照图2，图2为本专利技术的一较佳具体实施例中的瞬态电压抑制器的剖面，以及静电放电事件发生时通过第一电流路径及第二电流路径进行分流的剖面示意图。如图2所示，瞬态电压抑制器2包括基板SUB、第一阱区PW、第二阱区NW1、第三阱区NW2、第一电极P、第二电极N、掺杂区P+及重掺杂区P++。基板SUB具有彼此相对的第一表面F1及第二表面F2。第一阱区PW形成于基板SUB中且邻近第一表面F1。第二阱区NW1形成于第一阱区PW中且邻近第一表面F1。第三阱区NW2形成于第一阱区PW中且邻近第一表面F1。第二阱区NW1与第三阱区NW2之间具有间隙GAP。第一阱区PW具有第一电性且第二阱区NW1及第三阱区NW2具有第二电性。第一电极P形成于第二阱区NW1中且邻近第一表面F1。第二电极N形成于第一阱区PW中且邻近第一表面F1。第一电极P具有第一电性且第二电极N具有第二电性。第一电极P与第二电极N会分别电性连接阳极AD与阴极CD。于此实施例中，假设第一电性为P型且第二电性为N本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种瞬态电压抑制器，其特征在于，上述瞬态电压抑制器包括：一基板，具有一表面；一第一阱区，形成于上述基板中且邻近上述表面，上述第一阱区具有一第一电性；一第二阱区，形成于上述第一阱区中且邻近上述表面，上述第二阱区具有一第二电性；一第三阱区，形成于上述第一阱区中且邻近上述表面，上述第三阱区具有上述第二电性且上述第二阱区与上述第三阱区之间具有一间隙，其中上述第二阱区与上述第三阱区于上述间隙中彼此扩散相连而导通；一第一电极，形成于上述第二阱区中且邻近上述表面，上述第一电极具有上述第一电性；一第二电极，形成于上述第一阱区中且邻近上述表面，上述第二电极具有上述第二电性；以及一掺杂区，形成于上述第一电极与上述第二电极之间且邻近上述表面，上述掺杂区分别电性连接上述第一阱区与上述第三阱区。

【技术特征摘要】
2017.11.24 TW 1061410331.一种瞬态电压抑制器，其特征在于，上述瞬态电压抑制器包括：一基板，具有一表面；一第一阱区，形成于上述基板中且邻近上述表面，上述第一阱区具有一第一电性；一第二阱区，形成于上述第一阱区中且邻近上述表面，上述第二阱区具有一第二电性；一第三阱区，形成于上述第一阱区中且邻近上述表面，上述第三阱区具有上述第二电性且上述第二阱区与上述第三阱区之间具有一间隙，其中上述第二阱区与上述第三阱区于上述间隙中彼此扩散相连而导通；一第一电极，形成于上述第二阱区中且邻近上述表面，上述第一电极具有上述第一电性；一第二电极，形成于上述第一阱区中且邻近上述表面，上述第二电极具有上述第二电性；以及一掺杂区，形成于上述第一电极与上述第二电极之间且邻近上述表面，上述掺杂区分别电性连接上述第一阱区与上述第三阱区。2.如权利要求1所述的瞬态电压抑制器，其特征在于，上述瞬态电压抑制器还包括：一第四阱区，形成于上述第一阱区外的上述基板中且邻近上述表面；一第三电极，形成于上述第四阱区中且邻近上述表面，具有上述第一电性；以及一第四电极，形成于上述第四阱区中且...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈志豪，
申请(专利权)人：力智电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71