一种基片样品架、镀膜设备及控制方法技术

本发明专利技术涉及OLED真空蒸镀装备技术领域，公开了一种基片样品架、镀膜设备及控制方法。所述基片样品架包括安装板；样品架单元，设置于所述安装板上，所述样品架单元包括用于承载基片的基片盘组件和用于承载掩膜板的掩膜架组件，所述掩膜架组件设置于所述基片盘组件的下方；基片盘升降驱动单元，设置于所述安装板上，所述基片盘升降驱动单元的输出端连接所述基片盘组件，所述基片盘升降驱动单元能够驱动所述基片盘组件下降或上升，以使所述基片与所述掩膜板对位贴合或分离；旋转单元，设置于所述安装板，所述旋转单元驱动所述样品架单元绕自身内轴转动。本发明专利技术解决了蒸镀过程中镀膜效果不均匀的问题。

A Substrate Sample Frame, Coating Equipment and Control Method

The invention relates to the technical field of OLED vacuum evaporation equipment, and discloses a substrate sample holder, coating equipment and control method. The substrate sample rack comprises an installation plate; a sample rack unit is arranged on the installation plate, and the sample rack unit includes a substrate disk component for carrying a substrate and a mask mask component for carrying a mask plate. The mask component is arranged below the substrate disk component; a substrate disk lifting driving unit is arranged on the installation plate, and the substrate disk lifting driving sheet is arranged on the installation plate. The output end of the element is connected with the substrate disc assembly, and the substrate disc lifting driving unit can drive the substrate disc assembly to descend or rise so that the substrate and the mask plate can be matched or separated in pairs; the rotating unit is arranged on the installation plate, and the rotating unit drives the sample frame unit to rotate around its inner axis. The invention solves the problem of uneven coating effect in the evaporation process.

【技术实现步骤摘要】
一种基片样品架、镀膜设备及控制方法
本专利技术涉及OLED真空蒸镀装备
，尤其涉及一种基片样品架、镀膜设备及控制方法。
技术介绍
有机薄膜电致发光显示器件(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)，是有机半导体材料在电场作用下发光的一项新兴技术，近年来得到了迅速发展。OLED照明产品的低能耗、环保、超薄、高色彩饱和度、面光源等优点，使其成为未来照明产品发展的主流趋势之一。现如今OLED照明器件主要通过蒸发镀膜的方法制备，现有技术镀膜时，一般将掩膜板与基片对位后，对位指基片贴合于掩膜板。之后将两者及放置两者的工装在蒸镀真空环境中进行蒸镀。上述情况下，蒸镀完成后，易出现镀膜效果不均匀。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种基片样品架、镀膜设备及控制方法，用于解决蒸镀过程中镀膜效果不均匀的问题。为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：提供了一种基片样品架，包括：安装板；样品架单元，设置于所述安装板上，所述样品架单元包括用于承载基片的基片盘组件和用于承载掩膜板的掩膜架组件，所述掩膜架组件设置于所述基片盘组件的下方；基片盘升降驱动单元，设置于所述安装板上，所述基片盘升降驱动单元的输出端连接所述基片盘组件，所述基片盘升降驱动单元能够驱动所述基片盘组件下降或上升，以使所述基片与所述掩膜板对位贴合或分离；旋转单元，设置于所述安装板，所述旋转单元驱动所述样品架单元绕自身内轴转动。优选地，还包括设置于所述安装板上的样品架升降驱动单元，所述样品架升降驱动单元能够驱动所述样品架单元和所述旋转单元同步升降。优选地，所述基片盘组件包括：基片盘，所述基片盘上设置有用于放置所述基片的镂空区；中间固定板，所述中间固定板位于所述基片盘的上方，且与所述基片盘连接；隔板，所述隔板位于所述中间固定板与所述基片盘之间，所述隔板能够相对所述中间固定板沿竖直方向滑动，以抵压于所述基片；及磁板组件，设置于所述隔板和所述中间固定板之间，且连接于所述基片盘升降驱动单元，所述磁板组件能够压设于所述隔板上，且所述磁板组件上升能够带动所述隔板向上运动。优选地，所述基片盘组件还包括：第一导向轴，其一端连接于所述隔板；第一直线轴承，设置于所述中间固定板上，且套设于所述第一导向轴；第一弹簧，所述第一弹簧的两端分别连接于所述第一导向轴的一端与所述第一直线轴承。优选地，所述样品架升降驱动单元包括：第一气缸，设置于所述安装板上；气缸固定板，连接于所述第一气缸输出端，所述气缸固定板位于所述安装板上方，所述第一气缸驱动所述安装板相对于所述气缸固定板升降。优选地，所述基片盘升降驱动单元包括：第二气缸，所述第二气缸设置于所述气缸固定板上；固定套筒组件，所述固定套筒组件的一端连接于所述磁板组件；限位套筒，设置于所述固定套筒组件内，且能够相对于在所述固定套筒组件内轴向移动；下轴承，所述下轴承设置于所述限位套筒内，所述第二气缸的输出轴伸入所述固定套筒组件内，且与所述下轴承的内圈过盈配合，所述下轴承的外圈与所述限位套筒过盈配合。优选地，所述固定套筒组件包括：固定连接件，设置于所述气缸固定板的上方，且能够相对于所述气缸固定板升降；固定套筒，设置于所述固定连接件的一侧，所述限位套筒沿轴向滑动设置于所述固定套筒内；第一连接轴，所述第一连接轴的一端连接于所述固定连接件远离固定套筒的一侧，另一端连接于所述磁板组件。优选地，所述固定套筒组件还包括设置于所述固定套筒底部与所述限位套筒之间的弹性件。优选地，所述旋转单元包括：旋转驱动件，设置于所述气缸固定板上；磁流体安装座组件，所述磁流体安装座组件的一端穿过所述安装板连接于所述样品架单元，其另一端连接于所述固定套筒，所述第一连接轴穿设于所述磁流体安装座组件，所述旋转驱动件能够驱动所述磁流体安装座组件、所述第一连接轴和所述样品架单元相对于所述第二气缸的输出端同步转动。本专利技术中还提供了一种镀膜设备，包括所述的基片样品架。本专利技术中又提供了一种控制方法，利用所述的基片样品架，优选地，包括：S1：向基片盘组件上安装基片，掩膜架组件上安装掩膜板；S2：所述基片盘组件依靠自身重力以及所述基片盘升降驱动单元的驱动下降，以使所述基片与所述掩膜板完成对位；S3：旋转单元驱动样品架单元在蒸镀过程中旋转；S4：蒸镀完成后，所述基片盘升降驱动单元驱动所述基片盘组件上的基片与所述掩膜架组件上的掩膜板分离。优选地，所述基片盘组件包括基片盘、隔板、第一弹簧和磁板组件；步骤S2，具体包括：S21：所述基片盘和所述隔板在重力作用下向下降；S22：所述隔板即将与所述基片盘上的基片接触时，所述第一弹簧处于拉伸状态，所述第一弹簧提拉所述隔板；S23：当所述隔板与所述基片接触后，所述基片盘升降驱动单元驱动压板继续向下运动，使所述磁板组件压紧于所述隔板。优选地，所述基片盘升降驱动单元包括第二气缸、固定套筒组件、限位套筒和下轴承；步骤S23，具体包括：所述第二气缸的输出端继续下压，所述下轴承带动所述限位套筒沿所述固定套筒组件的轴向运动，下压所述限位套筒至极限位置后，所述限位套筒组件继续下压所述磁板组件。优选地，所述旋转单元包括旋转驱动件和磁流体安装座组件；步骤S3，具体包括：S31：蒸镀过程中，所述旋转驱动件驱动所述磁流体安装座组件相对于所述第二气缸旋转，进而带动所述样品架单元同步转动。优选地，所述基片盘组件还包括中间固定板；步骤S4，具体还包括：S41：第二气缸驱动磁板组件上升，所述磁板组件上升至预设距离带动所述隔板向靠近所述中间固定板的方向运动，所述隔板与所述基片分离；S42：所述磁板组件继续上升至所述隔板抵压于所述中间固定板时，所述磁板组件带动所述中间固定板和所述基片盘开始同时上升，至所述基片与所述掩膜板分离；S43：更换所述基片和所述掩膜板。优选地，所述基片样品架还包括样品架升降驱动单元，所述样品架升降驱动单元包括气缸固定板；步骤S43，具体还包括：S431：所述基片盘组件与所述掩膜架组件分离后，更换所述基片和所述掩膜板时，所述样品架升降驱动单元驱动所述样品架相对于气缸固定板上升，依次将基片和所述掩膜架提升至预设高度处更换。本专利技术的有益效果：本专利技术中提供了一种基片样品架，在基片盘上放置基片，掩膜架组件上放置掩膜板。基片和掩膜板对位后，开始蒸镀。在蒸镀过程中，利用旋转单元驱动样品架单元旋转，保证蒸发到基片表面的材料的均匀性，提高蒸镀效果。附图说明图1是本专利技术的基片样品架的结构示意图；图2是本专利技术的样品架单元的结构示意图；图3是本专利技术的掩膜架的结构示意图；图4是本专利技术的掩膜架和掩膜板的结构示意图；图5是本专利技术的基片盘的一个角度的结构示意图；图6是本专利技术的基片盘的另一个角度的结构示意图；图7是本专利技术的基片样品架的一个角度的内部结构示意图；图8是本专利技术的基片样品架的另一个角度的内部结构示意图；图9是本专利技术的图8中的I处的结构放大图；图10是本专利技术的固定套筒的结构示意图；图11是本专利技术的限位套筒的结构示意图；图12是本专利技术的样品架单元初始状态下的结构示意图；图13是本专利技术的基片盘组件在重力作用下下降时某一状态的结构示意图；图14是本专利技术的压板组件下压时某一状态的结构示意图；图15是本专利技术的基片与掩膜板完全对位后的结构示意图。图中：1、安装板；2、样品架单元；21、基片盘本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基片样品架，其特征在于，包括：安装板(1)；样品架单元(2)，设置于所述安装板(1)上，所述样品架单元(2)包括用于承载基片(8)的基片盘组件(21)和用于承载掩膜板(7)的掩膜架组件(22)，所述掩膜架组件(22)设置于所述基片盘组件(21)的下方；基片盘升降驱动单元(3)，设置于所述安装板(1)上，所述基片盘升降驱动单元(3)的输出端连接所述基片盘组件(21)，所述基片盘升降驱动单元(3)能够驱动所述基片盘组件(21)下降或上升，以使所述基片(8)与所述掩膜板(7)对位贴合或分离；旋转单元(4)，设置于所述安装板(1)，所述旋转单元(4)驱动所述样品架单元(2)绕自身内轴转动。

【技术特征摘要】
1.一种基片样品架，其特征在于，包括：安装板(1)；样品架单元(2)，设置于所述安装板(1)上，所述样品架单元(2)包括用于承载基片(8)的基片盘组件(21)和用于承载掩膜板(7)的掩膜架组件(22)，所述掩膜架组件(22)设置于所述基片盘组件(21)的下方；基片盘升降驱动单元(3)，设置于所述安装板(1)上，所述基片盘升降驱动单元(3)的输出端连接所述基片盘组件(21)，所述基片盘升降驱动单元(3)能够驱动所述基片盘组件(21)下降或上升，以使所述基片(8)与所述掩膜板(7)对位贴合或分离；旋转单元(4)，设置于所述安装板(1)，所述旋转单元(4)驱动所述样品架单元(2)绕自身内轴转动。2.根据权利要求1所述的基片样品架，其特征在于，还包括设置于所述安装板(1)上的样品架升降驱动单元(5)，所述样品架升降驱动单元(5)能够驱动所述样品架单元(2)和所述旋转单元(4)同步升降。3.根据权利要求2所述的基片样品架，其特征在于，所述基片盘组件(21)包括：基片盘(211)，所述基片盘(211)上设置有用于放置所述基片(8)的镂空区；中间固定板(212)，所述中间固定板(212)位于所述基片盘(211)的上方，且与所述基片盘(211)连接；隔板(213)，所述隔板(213)位于所述中间固定板(212)与所述基片盘(211)之间，所述隔板(213)能够相对所述中间固定板(212)沿竖直方向滑动，以抵压于所述基片(8)；及磁板组件(214)，设置于所述隔板(213)和所述中间固定板(212)之间，且连接于所述基片盘升降驱动单元(3)，所述磁板组件(214)能够压设于所述隔板(213)上，且所述磁板组件(214)上升能够带动所述隔板(213)向上运动。4.根据权利要求3所述的基片样品架，其特征在于，所述基片盘组件(21)还包括：第一导向轴(215)，其一端连接于所述隔板(213)；第一直线轴承(216)，设置于所述中间固定板(212)上，且套设于所述第一导向轴(215)；第一弹簧(217)，所述第一弹簧(217)的两端分别连接于所述第一导向轴(215)的一端与所述第一直线轴承(216)。5.根据权利要求3所述的基片样品架，其特征在于，所述样品架升降驱动单元(5)包括：第一气缸(51)，设置于所述安装板(1)上；气缸固定板(52)，连接于所述第一气缸(51)输出端，所述气缸固定板(52)位于所述安装板(1)上方，所述第一气缸(51)驱动所述安装板(1)相对于所述气缸固定板(52)升降。6.根据权利要求5所述的基片样品架，其特征在于，所述基片盘升降驱动单元(3)包括：第二气缸(31)，所述第二气缸(31)设置于所述气缸固定板(52)上；固定套筒组件(32)，所述固定套筒组件(32)的一端连接于所述磁板组件(214)；限位套筒(33)，设置于所述固定套筒组件(32)内，且能够相对于在所述固定套筒组件(32)内轴向移动；下轴承(34)，所述下轴承(34)设置于所述限位套筒(33)内，所述第二气缸(31)的输出轴伸入所述固定套筒组件(32)内，且与所述下轴承(34)的内圈过盈配合，所述下轴承(34)的外圈与所述限位套筒(33)过盈配合。7.根据权利要求6所述的基片样品架，其特征在于，所述固定套筒组件(32)包括：固定连接件(321)，设置于所述气缸固定板(52)的上方，且能够相对于所述气缸固定板(52)升降；固定套筒(322)，设置于所述固定连接件(321)的一侧，所述限位套筒(33)沿轴向滑动设置于所述固定套筒(322)内；第一连接轴(323)，所述第一连接轴(323)的一端连接于所述固定连接件(321)远离固定套筒(322)的一侧，另一端连接于所述磁板组件(214)。8.根据权利要求7所述的基片样品架，其特征在于，所述固定套筒组件(32)还包括设置于所述固定套筒(322)底部与所述限位套筒(33)之间的弹...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖良生，黄稳，武启飞，徐飞，张敬娣，赵平，
申请(专利权)人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32