一种蒸镀系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种蒸镀系统，所述蒸镀系统包括第一蒸镀模块、第二蒸镀模块和清洗模块，其中，第一蒸镀模块包括第一掩膜板、第一对位室、有机蒸镀室和第一分离平台；第二蒸镀模块包括第二掩膜板、第二对位室、金属蒸镀室和第二分离平台；清洗模块包括加热室、冷却室、转换平台、清洗单元、卸载台和掩膜板储藏室；清洗模块中转换平台与第一分离平台连接、加热室与第二分离平台连接、掩膜板储藏室与第一对位室连接。与现有技术相比，根据本实用新型专利技术的蒸镀系统及相应的蒸镀及掩膜板清洗方法，可以显著提高蒸镀工艺效率和清洗效果，并在保护环境的同时显著降低清洗成本。

A Steaming System

The utility model relates to an evaporation plating system, which comprises a first evaporation plating module, a second evaporation plating module and a cleaning module, in which the first evaporation plating module comprises a first mask, a first pair chamber, an organic evaporation plating chamber and a first separation platform, and the second evaporation plating module comprises a second mask, a second pair chamber, a metal evaporation plating chamber and a second separation platform. Heating chamber, cooling chamber, conversion platform, cleaning unit, unloading platform and mask storage room; in cleaning module, conversion platform is connected with the first separation platform, heating chamber is connected with the second separation platform, and mask storage room is connected with the first location room. Compared with the existing technology, according to the new evaporation system and the corresponding evaporation and mask cleaning method, the evaporation process efficiency and cleaning effect can be significantly improved, and the cleaning cost can be significantly reduced while protecting the environment.

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀系统
本技术涉及显示
，更加具体地，涉及一种蒸镀系统。
技术介绍
OLED，即有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode)，具有全固态结构、高亮度、全视角、响应速度快、工作温度范围宽、可实现柔性显示等优点，是新一代显示技术的重要组成，极具发展前景。目前主要采用蒸镀法制造OLED，即将镀膜材料加热后配合掩膜板沉积在玻璃基板上的预定区域，以此实现有机层和金属层的镀膜。而用于大尺寸蒸镀的掩膜板都是使用开口式掩膜板，一种是用于蒸镀有机层的有机掩膜板，另一种是用于蒸镀阴极的金属掩膜板。在蒸镀过程中，掩膜板的掩膜框和掩膜条上会堆积大量的有机材料和金属材料，为防止材料增厚而产生的掩膜精度偏差和剥落污染蒸镀室，掩膜板需要定期清洗。现有蒸镀工艺中，蒸镀后的有机掩膜板和金属掩膜板需要用不同的药剂和设备进行清洗，药剂使用量大，费用高昂，生产成本高，生产效率低。已有专利(专利公开号CN104614933A)将镀完有机物和金属层的金属掩膜板直接放入在有机掩膜板清洗机，通过清洗掩膜条和金属层间的有机物，达到金属层直接剥落的目的来清洗掩膜板的金属层。在实际生产中此方法无法解本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀系统，其特征在于，所述系统包括第一蒸镀模块、第二蒸镀模块和清洗模块；其中，第一蒸镀模块包括第一掩膜板、第一对位室、有机蒸镀室和第一分离平台；第二蒸镀模块包括第二掩膜板、第二对位室、金属蒸镀室和第二分离平台；清洗模块包括加热室、冷却室、转换平台、清洗单元、卸载台和掩膜板储藏室；清洗模块中转换平台与第一分离平台连接、加热室与第二分离平台连接、掩膜板储藏室与第一对位室连接。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀系统，其特征在于，所述系统包括第一蒸镀模块、第二蒸镀模块和清洗模块；其中，第一蒸镀模块包括第一掩膜板、第一对位室、有机蒸镀室和第一分离平台；第二蒸镀模块包括第二掩膜板、第二对位室、金属蒸镀室和第二分离平台；清洗模块包括加热室、冷却室、转换平台、清洗单元、卸载台和掩膜板储藏室；清洗模块中转换平台与第一分离平台连接、加热室与第二分离平台连接、掩膜板储藏室与第一对位室连接。2.根据权利要求1所述的蒸镀系统，其特征在于，所述第一掩膜板为掩膜板基体；所述第二掩膜板包括掩膜板基体及...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄建宁，
申请(专利权)人：黄建宁，
类型：新型
国别省市：浙江,33