The invention discloses a mesh laser cleaning system and method. The cleaning system includes a light source unit, a first reflector, a second radiation mirror, a first driving unit, a second driving unit and a focusing mirror. The light source unit generates a laser beam and then focuses it through a first reflector and a second reflector. The laser beam acts on the metal cleaning surface through a focusing mirror. The first driving unit is a single driving unit. The element and the second driving unit drive the first mirror and the second mirror to move, so that the laser beam can move in a certain range according to a specific mesh cleaning trajectory to achieve metal surface cleaning. The mesh structure enables multi-point scanning in any direction, makes the cleaning of the substrate more uniform, makes the surface of the substrate smoother and smoother, avoids the generation of zebra markings in the existing technology, and reduces the maximum temperature due to the reduction of repeated heating in a small area in a short time, thus reducing the damage of the substrate.
【技术实现步骤摘要】
网状激光清洗系统及方法
本专利技术涉及激光清理领域,尤其涉及一种网状激光清洗系统及方法。
技术介绍
激光清洗具有无研磨、非接触、无热效应和适用于各种材质的物体等清洗特点,被认为是最可靠、最有效的解决办法。激光清洗不但可以用来清洗有机的污染物,也可以用来清洗无机物,包括金属的锈蚀、金属微粒、灰尘等。虽然激光清洗应用越来越多,但依然诟病于激光清洗效率问题,一直阻碍激光清洗设备更加广泛的应用。为了解决激光清洗效率的问题,市面上开始出现了一个所谓的“回旋8字形”激光清洗方式,采用这种方式进行清洗时,能提高清洗效率,但是在清洗之后却会出现斑马纹,如图2所示,为了避免这种情况,就需要重复清洗,但是重复清洗就会对基材的损失加大,因此如何同时兼顾消除斑马纹和减小基材的损失是我们亟待解决的问题。
技术实现思路
针对上述技术中存在的不足之处,本专利技术提供一种网状激光清洗系统及方法,使得激光的运动轨迹成为一个网状结构,在任意方向上都具有多点扫描,使得对基材的清洗更加均匀,基材表面更加光滑平整;同时由于减少在短时间内在一小块区域重复加热,使得最高温度减小,从而使基材损伤减少。为实现上述目的,本专利技术提供一种网状激光清洗系统,包括:光源单元、第一反射镜、第二放射镜、第一驱动单元、第二驱动单元和聚焦镜,所述光源单元产生激光束后通过第一反射镜和第二反射镜,再通过所述聚焦镜进行聚焦,使得激光束作用于金属清洗面,所述第一驱动单元和第二驱动单元带动第一反射镜和第二反射镜进行运动,使得激光束在一定的范围内,按照特定的网状清洗轨迹运动,实现对金属表面的清洗。作为优选,所述第一驱动单元和第二驱动单 ...
【技术保护点】
1.一种网状激光清洗系统,其特征在于,包括:光源单元、第一反射镜、第二放射镜、第一驱动单元、第二驱动单元和聚焦镜,所述光源单元产生激光束后通过第一反射镜和第二反射镜,再通过所述聚焦镜进行聚焦,使得激光束作用于金属清洗面,所述第一驱动单元和第二驱动单元带动第一反射镜和第二反射镜进行运动,使得激光束在一定的范围内,按照特定的网状清洗轨迹运动,实现对金属表面的清洗。
【技术特征摘要】
1.一种网状激光清洗系统,其特征在于,包括:光源单元、第一反射镜、第二放射镜、第一驱动单元、第二驱动单元和聚焦镜,所述光源单元产生激光束后通过第一反射镜和第二反射镜,再通过所述聚焦镜进行聚焦,使得激光束作用于金属清洗面,所述第一驱动单元和第二驱动单元带动第一反射镜和第二反射镜进行运动,使得激光束在一定的范围内,按照特定的网状清洗轨迹运动,实现对金属表面的清洗。2.根据权利要求1所述的网状激光清洗系统,其特征在于,所述第一驱动单元和第二驱动单元采用电机进行驱动。3.根据权利要求1所述的网状激光清洗系统,其特征在于,所述光源采用脉冲激光器,所述脉冲激光器的重复频率为200-300KHz,波长范围在160-1200nm。4.根据权利要求1所述的网状激光清洗系统,其特征在于,所述第一反射镜和第二反射镜进行往复运动,第一反射镜的摆动幅度为a,第二反射镜的运动摆动幅度为b,第一反射镜的摆动幅度大于第二反射镜。5.根据权利要求1所述的网状激光清洗系统,其特征在于,该系统应用于手持式激光清洗,或者固定式激光清洗。6.一种网状激光清洗方法,其特征在于,所述激光清洗方法包括以下步骤:S1:从起点开始,第一驱动单元驱动第...
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