波长可变干涉滤波器、光学器件、光学模块及电子设备制造技术

一种波长可变干涉滤波器、光学器件、光学模块及电子设备，可提高波长可变干涉滤波器的可动部的形状的自由度且可抑制精度下降。该波长可变干涉滤波器包括：可动部，具有在第一方向上与第一反射镜相对的反射镜区域；以及电极，在从所述第一方向观察的俯视下，配置于所述反射镜区域的外侧，沿周向包围所述反射镜区域，并通过被施加电压来使所述可动部在所述第一方向上位移，所述电极在所述俯视下的宽度在所述周向上不同。

Wavelength Variable Interference Filter, Optical Device, Optical Module and Electronic Equipment

A wavelength variable interference filter, an optical device, an optical module and an electronic device can improve the degree of freedom of the movable part of the wavelength variable interference filter and suppress the decline in accuracy. The wavelength variable interference filter includes: a movable part having a reflecting mirror area opposite the first mirror in the first direction; and an electrode arranged outside the reflecting mirror area, surrounded by the reflecting mirror area circumferentially and displaced in the first direction by applying a voltage, under the overlook from the first direction. The width of the pole under the overlook is different in the circumferential direction.

【技术实现步骤摘要】
波长可变干涉滤波器、光学器件、光学模块及电子设备
本专利技术涉及波长可变干涉滤波器、光学器件、光学模块及电子设备。
技术介绍
在现有技术中，已知有一种具有一对反射膜的波长可变干涉滤波器(例如参照专利文献1)。专利文献1中记载的波长可变干涉滤波器具备设置一个反射膜的固定基板和设置另一个反射膜的可动基板。在可动基板上设有可动部和保持部，该可动部设置所述另一个反射膜，该保持部包围可动部的外周而将可动部保持为可向固定基板侧位移。并且，通过使可动部位移，从而一对反射膜之间的间隙量变化，由此，透过的光的波长变化。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2010－139552号公报如专利文献1所示那样，在现有的波长可变干涉滤波器中，为了不使反射膜挠曲，设置反射膜的可动部一般为正圆。在现有技术之下，当将可动部设为正圆以外的形状时，在从可动部的厚度方向上观察的俯视下，相对于中心部分，距中心部分距离越长的位置，则位移量越小。即，在可动部上产生易于挠曲的部位和难以挠曲的部位。因此，在反射膜的面内，间隙量变得不均等。当产生上述那样的间隙量不均等时，从波长可变干涉滤波器中输出的光的波长在面内不一致，存在波长可变干涉滤波器的波长精度下降这样的问题。因此，在现有技术中，可动部的形状受到限制。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种可提高波长可变干涉滤波器的可动部的形状的自由度且可抑制精度下降的波长可变干涉滤波器、光学器件、光学模块及电子设备。根据本专利技术的一应用例的波长可变干涉滤波器，其特征在于，具有：第一反射镜；可动部，设有与所述第一反射镜相对的第二反射镜；以及电极，在将所述可动部的设有所述第二反射镜的面的垂直方向设为第一方向而从所述第一方向观察的俯视下，所述电极设置为在所述第二反射镜的外侧沿周向包围所述第二反射镜，并通过被施加电压来使所述可动部在所述第一方向上位移，所述俯视下的所述电极的宽度在所述周向上不同。在波长可变干涉滤波器中，通过多重反射来使光干涉的反射镜区域成为第一反射镜与第二反射镜在第一方向上互相重叠的区域。在此，本应用例中的电极被配置为沿周向包围构成上述那样的反射镜区域的第二反射镜，该电极的宽度是指与所述周向交叉的方向的线宽。例如在为包围反射镜区域的环状电极的情况下，电极成为包括靠近反射镜区域的一侧的边缘(内侧边缘)和从反射镜区域离开的一侧的边缘(外侧边缘)的框状。在这种情况下，电极的宽度是指从反射镜区域离开的放射方向上的从内侧边缘至外侧边缘之间的距离。在本应用例中，包围第二反射镜(反射镜区域)的电极的宽度在周向上不同。因此，能够抑制可动部发生了位移时的挠曲，可动部在第二反射镜上的挠曲被抑制。也就是说，如上所述，在使可动部的中心向第一方向位移的情况下，根据可动部的形状，产生可动部的外周边缘中的与可动部中心的位移量之差变小的部分(难以挠曲的部分)和与可动部中心的位移量之差变大的部分(易于挠曲的部分)，由此可动部产生挠曲。对此，在本应用例中，若在易于挠曲的部分和难以挠曲的部分上使电极的宽度不同，则就能够使各部分的位移量设为大致均等。例如，使对应于与可动部中心的位移量之差变大的易于挠曲的部分的电极宽度增大，使与可动部中心的位移量之差变小的难以挠曲的部分的电极宽度减小。由此，可动部的中心与可动部的外周边缘附近的部分的位移量之差变为大致均等，能够抑制可动部的挠曲。另外，由于可动部的挠曲被抑制，所以也能够抑制反射镜区域的第二反射镜的挠曲。因此，从波长可变干涉滤波器中输出的光在面内的波长偏差被抑制，能够使所希望波长的光从波长可变干涉滤波器中均等地射出(波长可变干涉滤波器的波长精度提高)。在本应用例的波长可变干涉滤波器中，优选为，在从所述第一方向观察的俯视下，所述可动部是具有纵长方向的形状，当将与所述第一方向正交且与所述纵长方向正交的第二方向上的所述可动部的宽度设为Ma、将与所述第一方向正交且与所述纵长方向平行的第三方向上的所述可动部的宽度设为Mb时，Ma＜Mb，当将所述电极中对应于所述第三方向的部分的第三电极宽度设为La、将所述电极中对应于所述第二方向的部分的第二电极宽度设为Lb时，La＜Lb。在此，所谓电极中的对应于第二方向的部分是在周向上包围反射镜区域的电极中的与第二方向大致平行地配置的部分，所谓电极的对应于第三方向的部分是在周向上包围反射镜区域的电极中的与第三方向大致平行地配置的部分。例如在可动部为长方形的情况下，第二方向成为平行于短边的方向(短边方向)，第三方向成为平行于长边的方向(长边方向)。另外，在电极为包围反射镜区域的矩形框状的情况下，所谓电极的对应于第二方向的部分是平行于可动部的短边的一对电极部分(短边电极部)，所谓电极的对应于第三方向的部分是平行于可动部的长边的一对电极部分(长边电极部)。在这种情况下，第二电极宽度(Lb)是指短边电极部的长边方向的长度，第三电极宽度(La)是指长边电极部的短边方向的长度。另外，例如在可动部为椭圆形状或长圆形状的情况下，第二方向成为短轴方向，第三方向成为长轴方向。此时，在电极为包围反射镜区域的椭圆矩形框状、长圆框形状的情况下，所谓电极的对应于第二方向的部分是切线方向与短轴方向大致平行的电极部分，所谓电极的对应于第三方向的部分是切线方向与长轴方向大致平行的电极部分。在这种情况下，第二电极宽度(Lb)是指切线方向与短轴方向大致平行的电极部分的长轴方向的长度，第三电极宽度(La)是指切线方向与长轴方向大致平行的电极部分的短轴方向的长度。当使可动部向第一方向位移时，可动部相对于宽度小的第二方向难以挠曲，相对于宽度大的第三方向易于挠曲。对此，在本应用例中，包围反射镜区域的电极中的对应于第二方向的部分的第二电极宽度(Lb)比对应于第三方向的部分的第三电极宽度(La)变大。因此，当对电极施加了时，向对应于第二方向的部分施加比对应于第三方向的部分更大的应力。也就是说，当使可动部发生了位移时，能够对与可动部中心的位移量之差变大的第三方向的两端部施加应力使其接近于可动部中心的位移量。由此，能够抑制可动部的挠曲的产生。在本应用例的波长可变干涉滤波器中，优选为，从所述第一方向观察时的所述电极的外周形状为多边形，当将从所述可动部的中心朝向所述多边形的角部的放射直线与所述多边形的边所成的角设为α、将所述电极中位于所述角部的角电极部的沿着所述放射直线的宽度设为Wc、将所述电极中沿着所述边的侧电极部在与所述边正交的方向上的宽度设为Ws时，Wc＞Ws/sinα。在此，可动部的中心是指可动部的重心位置。在多边形状的可动部中，当使可动部在第一方向上发生了位移时，可动部的角部的位移量与可动部中心的位移量之差比可动部的边部的位移量与可动部中心的位移量之差大。对此，在本应用例中，角电极部的电极宽度Ws和侧电极部的电极宽度Wc满足Wc＞Ws/sina的关系。也就是说，在将沿夹着角部的两边的两个侧电极部延长至该角部来将侧电极部彼此进行了连接的情况下，沿着放射方向的电极的宽度成为Ws/sina，而本应用例的角电极部的宽度Wc被形成得比该宽度大。由此，能够使更大的力作用于易于挠曲的可动部的角部，能够抑制可动部的挠曲。在本应用例的波长可变干涉滤波器中，优选为，所述可动部包括沿着所述俯视下的第四方向的第四边缘、沿着与所述第四方向本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具有：第一反射镜；可动部，设有与所述第一反射镜相对的第二反射镜；以及电极，在将所述可动部的设有所述第二反射镜的面的垂直方向设为第一方向而从所述第一方向观察的俯视下，所述电极设置为在所述第二反射镜的外侧沿周向包围所述第二反射镜，并通过被施加电压来使所述可动部在所述第一方向上位移，所述俯视下的所述电极的宽度在所述周向上不同。

【技术特征摘要】
2017.11.21 JP 2017-2240791.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具有：第一反射镜；可动部，设有与所述第一反射镜相对的第二反射镜；以及电极，在将所述可动部的设有所述第二反射镜的面的垂直方向设为第一方向而从所述第一方向观察的俯视下，所述电极设置为在所述第二反射镜的外侧沿周向包围所述第二反射镜，并通过被施加电压来使所述可动部在所述第一方向上位移，所述俯视下的所述电极的宽度在所述周向上不同。2.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，在从所述第一方向观察的俯视下，所述可动部是具有纵长方向的形状，当将与所述第一方向正交且与所述纵长方向正交的第二方向上的所述可动部的宽度设为Ma、将与所述第一方向正交且与所述纵长方向平行的第三方向上的所述可动部的宽度设为Mb时，Ma＜Mb，当将所述电极中对应于所述第三方向的部分的第三电极宽度设为La、将所述电极中对应于所述第二方向的部分的第二电极宽度设为Lb时，La＜Lb。3.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，从所述第一方向观察时的所述电极的外周形状为多边形，当将从所述可动部的中心朝向所述多边形的角部的放射直线与所述多边形的边所成的角设为α、将所述电极中位于所述角部的角电极部的沿着所述放射直线的宽度设为Wc、将所述电极中沿着所述边的侧电极部在与所述边正交的方向上的宽度设为Ws时，Wc＞Ws/sinα。4.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述可动部包括沿着所述俯视下的第四方向的第四边缘、沿着与所述第四方向交叉的第五方向的第五边缘以及所述第四边缘与第五边缘交叉的角部，所述电极具备：第四电极部，具有沿着所述第四方向的第四内侧边和第四外侧边，在从所述第一方向观察的俯视下，所述第四内侧边配置于靠近所述第一反射镜与所述第二反射镜互相重叠的反射镜区域的...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐野朗，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP