温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种波长可变干涉滤波器、光学器件、光学模块及电子设备，可提高波长可变干涉滤波器的可动部的形状的自由度且可抑制精度下降。该波长可变干涉滤波器包括：可动部，具有在第一方向上与第一反射镜相对的反射镜区域；以及电极，在从所述第一方向观察的俯视下，配...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。