能安装多个相异的图案光源的图案光照射装置及检查装置制造方法及图纸

公开一种图案光照射装置及利用其的检查装置。图案光照射装置包括在具有多个贯通孔的框架上安装的第一图案光源及第二图案光源。多个贯通孔分别沿唯一的光轴形成。第一图案光源构成得照射具有固定间距的第一图案光。第二图案光源构成得照射具有可变间距的第二图案光。

Patterns illumination device and inspection device which can install different pattern light sources

The invention discloses a pattern illumination device and an inspection device utilizing the device. The patterned illumination device includes a first patterned light source and a second patterned light source mounted on a frame having a plurality of through holes. Multiple through holes are formed along the unique optical axis. The first pattern light source is formed to illuminate the first pattern light with fixed spacing. The second pattern light source constitutes a second pattern light with variable spacing.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】能安装多个相异的图案光源的图案光照射装置及检查装置
本公开涉及能够从多个光源生成并照射图案光的、用于检查装置的图案光照射装置。
技术介绍
为了检查贴装有部件的诸如电路基板的物品，可以使用获得检查对象物品的三维影像并从该影像判断物品是否不良的方法。作为用于获得检查对象物品三维影像的方法，正在使用针对检查对象物品，使具有图案的光在变更图案相位的同时进行照射，从照射的图案在检查对象物品表面畸变的形状来生成检查对象物品的三维影像的技术。就用于形成这种图案光的一种方法而言，在光源前安装用于形成图案的图案光栅(grating)，从光源照射的光在穿过图案光栅的同时，在该光中形成图案。图案光栅借助于诸如压电元件(PiezoelectricTransducer、PZT)的电气机械式移送装置而细微移动，由此，在穿过图案光栅的光中形成的图案的相位进行变化。就用于形成图案光的另一种方法而言，利用数字微镜元件(DigitalMicromirrorDevice:DMD)，即利用包括微镜结构的元件，生成及照射图案光。该方法可以利用诸如数字光处理(DigitalLightProcessing、DLP)投影仪的光学装置来实施。另外，根据该方法，光学装置针对检查对象物品，照射包括事先决定的图案的图像，从而可以获得形成该图案的光照射于检查对象物品的效果。因此，根据该方法，针对检查对象物品，依次照射具有互不相同相位的多个图案的图像，从而可以获得向检查对象照射相位进行变化的图案光的效果。另外，仅通过变更光学装置照射的图案图像，便能够向检查对象物品照射图案间距不同的图案光。
技术实现思路
解决的技术问题如以上所作的说明，在针对检查对象物品照射图案光并获得该物品的三维影像的方法中，三维影像的分辨率根据图案光具有的图案间距而决定。在形成图案光中使用的图案光栅通过细微加工而制作，因而图案光栅的间距(或光栅间距)可以非常细密地调节。因此，在使用图案光栅来形成图案光的情况下，可以使图案光的图案间距非常小地向检查对象物品照射，因而可以获得检查对象物品的精密的三维影像。但是，图案光栅具有的图案间距已固定，因而难以根据检查对象物品，变更其三维影像的分辨率。即，检查装置的图案光源中使用的图案光栅和压电元件的规格，在检查装置制作时，根据检查对象物品的要求事项预先决定并加装于检查装置，因而不容易将检查装置的图案光栅或压电元件变更为其他规格。另外，在检查对象物品上两个测量点之间的高度差超过图案光的图案间距的整数倍的情况下，发生2π模糊性(2πambiguity)问题。为了使得能够在检查对象物品上测量更大的高度差异，可以使用加大图案光的图案间距的方法。但是，在该方法中，为了加大图案光的图案间距，如果使图案光栅的间距增加到既定水平以上，则移送装置可以充分变更图案光的图案的相位，因而相应地会存在无法移送图案光栅的问题。因此，在检查对象物品的表面曲折的段差较大、表面上的凸出部的高度多样的情况下，即使将利用图案间距固定的图案光栅形成的图案光照射于检查对象物品，也难以获得该物品的准确的三维影像。另一方面，在使用利用DMD芯片的DLP投影仪而形成图案光的情况下，DLP投影仪变更所使用的图案影像，从而可以简单地变更相应图案光的图案间距或相位。但是，DLP投影仪由于其制作费用高昂，与使用图案光栅来形成图案光的方法相比，存在向检查对象物品照射的图案光的分辨率设置得较低的局限。这种问题因DLP投影仪可以形成的图案图像的像素的最小大小大于图案光栅可具有的最小图案间距而发生。根据这种以往的三维形状检查装置中使用的图案光照射方法的特性，需制作一种能够根据检查对象物品的曲折特性或使用者要求而照射具有限定范围分辨率的图案光的装置，因而存在检查装置的制作费用增加的问题。因此，需要提供一种能够有效测量具有多样三维形状的检查对象物品的单一的检查装置。技术方案本公开一个实施例的图案光照射装置包括：框架，其具有分别沿唯一的光轴形成的多个贯通孔；第一图案光源，其固定安装于所述框架，构成得通过所述多个贯通孔的第一集合，照射具有固定间距的第一图案光；及第二图案光源，其固定安装于所述框架，构成得通过所述多个贯通孔的第二集合，照射具有可变间距的第二图案光。就本公开一个实施例的图案光照射装置而言，所述第一图案光的间距设置得小于所述第二图案光的间距。就本公开一个实施例的图案光照射装置而言，所述框架结合第一子框架与第二子框架而构成，所述多个贯通孔的第一集合在所述第一子框架及所述第二子框架上形成，所述多个贯通孔的第二集合在所述第二子框架上形成，所述第一图案光源固定安装于所述第一子框架，所述第二图案光源固定安装于所述第二子框架。就本公开一个实施例的图案光照射装置而言，还包括在所述多个贯通孔的下端安装的多个反射镜，所述多个反射镜构成得将通过所述多个贯通孔照射的第一图案光或第二图案光反射，朝向检查对象照射。就本公开一个实施例的图案光照射装置而言，还包括至少一个照相机，其固定安装于所述框架，构成得拍摄所述第一图案光或所述第二图案光照射的检查对象。本公开一个实施例的检查装置包括：图案光照射装置，其朝向检查对象照射图案光；移送部，其移送所述检查对象；及控制部，其控制所述图案光照射装置和所述移送部；所述图案光照射装置包括：框架，其具有分别沿唯一的光轴形成的多个贯通孔；第一图案光源，其固定安装于所述框架，构成得通过所述多个贯通孔的第一集合，照射具有固定间距的第一图案光；及第二图案光源，其固定安装于所述框架，构成得通过所述多个贯通孔的第二集合，照射具有可变间距的第二图案光；所述控制部控制使得所述移送部将所述检查对象移送到所述图案光照射装置下方的检查位置，使得所述图案光照射装置朝向所述检查对象照射图案光。就本公开一个实施例的检查装置而言，所述控制部控制所述图案光照射装置，使得所述第一图案光源和所述第二图案光源在互不相同的时间点照射图案光。就本公开一个实施例的检查装置而言，所述第一图案光的间距设置得小于所述第二图案光的间距。就本公开一个实施例的检查装置而言，所述框架结合第一子框架与第二子框架而构成，所述多个贯通孔的第一集合在所述第一子框架及所述第二子框架上形成，所述多个贯通孔的第二集合在所述第二子框架上形成，所述第一图案光源固定安装于所述第一子框架，所述第二图案光源固定安装于所述第二子框架。专利技术效果根据本公开的多样实施例，针对包括高度不同的曲折形状的检查对象，无需追加的装备及拍摄动作，只利用一个图案光照射装置便可以获得部件的三维影像。根据本公开的多样实施例，即使在利用安装有一个图案光照射装置的检查装备来检查部件的情况下，也可以在部件的三维影像中保持高分辨率，同时获得表面上的段差或曲折严重的检查对象的精密三维影像。根据本公开的多样实施例，只利用单一的图案光照射装置，便可以拍摄及检查包括高度不同的部件在内的诸如基板的检查对象，可以获得通过简化检查工序而节省生产费用的效果。根据本公开的多样实施例，在构成图案光照射装置的框架上安装不同类型的图案光源，从而可以弹性地生产具有多样功能和构成的图案光照射装置及利用其的基板检查装置。附图说明图1图示了本公开一个实施例的图案光照射装置。图2图示了在本公开一个实施例的图案光照射装置的框架上形成的贯通孔。图3图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种图案光照射装置，其中，包括：框架，其具有分别沿唯一的光轴形成的多个贯通孔；第一图案光源，其固定安装于所述框架，构成得通过所述多个贯通孔的第一集合，照射具有固定间距的第一图案光；及第二图案光源，其固定安装于所述框架，构成得通过所述多个贯通孔的第二集合，照射具有可变间距的第二图案光。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.10.21 KR 10-2016-01379101.一种图案光照射装置，其中，包括：框架，其具有分别沿唯一的光轴形成的多个贯通孔；第一图案光源，其固定安装于所述框架，构成得通过所述多个贯通孔的第一集合，照射具有固定间距的第一图案光；及第二图案光源，其固定安装于所述框架，构成得通过所述多个贯通孔的第二集合，照射具有可变间距的第二图案光。2.根据权利要求1所述的图案光照射装置，其中，所述第一图案光的间距设置得小于所述第二图案光的间距。3.根据权利要求1所述的图案光照射装置，其中，所述框架结合第一子框架与第二子框架而构成，所述多个贯通孔的第一集合在所述第一子框架及所述第二子框架上形成，所述多个贯通孔的第二集合在所述第二子框架上形成，所述第一图案光源固定安装于所述第一子框架，所述第二图案光源固定安装于所述第二子框架。4.根据权利要求1所述的图案光照射装置，其中，还包括在所述多个贯通孔的下端安装的多个反射镜，所述多个反射镜构成得将通过所述多个贯通孔照射的第一图案光或第二图案光反射，朝向检查对象照射。5.根据权利要求1所述的图案光照射装置，其中，还包括至少一个照相机，其固定安装于所述框架，构成得拍摄所述第一图案光或所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：许贞，崔宇材，
申请(专利权)人：株式会社高永科技，
类型：发明
国别省市：韩国,KR