The utility model provides a planetary wheel assembly, which relates to the technical field of semiconductors. The utility model relates to a planetary wheel assembly, including a planetary wheel body and a fixture, in which a first opening for placing a fixture is arranged, and the fixture is fixed with the inner wall of the first opening; the outer diameter outline of the fixture is adapted to the inner diameter outline of the first opening, and the fixture is embedded on the inner wall of the first opening. With this technical scheme, the long-time rotation of the planetary wheel in the polishing machine can be realized, so that the polishing parts can be embedded in the fixture, and the fixture can be embedded in the body of the planetary wheel, so that in subsequent polishing, only different fixtures need to be replaced, but only one pair of planetary wheel can achieve the same polishing.
【技术实现步骤摘要】
游星轮组合件
本技术涉及半导体
,尤其是涉及游星轮组合件。
技术介绍
化学机械抛光(CMP)技术是半导体晶片表面加工的关键技术之一,在集成电路制造过程的各阶段表面平整化工艺和大尺寸裸晶圆的表面抛光工艺中得到广泛应用。化学机械抛光的过程,主要是通过抛光垫、抛光液和所选的化学试剂的作用从晶片基板去除材料的过程。对于双抛机来讲,想要同时加工半导体晶面的两面就要用游星轮将待加工部件固定在抛光机的上下盘面之间,上下盘面都贴有抛光布,抛光液在上面抛光盘面上流下来,两个盘面对晶片施加压力将晶片固定在盘面中间,游星轮则会旋转带动晶片在盘面间转动,同时两个大盘同向或者反向旋转,进而达到晶片抛光的目的;对于不同直径的晶片,游星轮必须有相对应的孔,这就要求针对不同直径不同形状的产品都要制作相对应的游星轮,大大增加了生产成本。而对于游星轮来讲,因为其需要跟抛光机中心轴和边缘齿轮接触,因为必须对其边缘的齿轮使用较耐磨结实的材质,而对于其中心镶嵌晶片的部分则需要较为软的材质,避免损伤晶片。鉴于此,迫切需要一种应用于双抛机的内嵌式结构的游星轮。公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在加深对本技术的总体
技术介绍
的理解,而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。
技术实现思路
本技术的第一目的在于提供一种内嵌式结构的游星轮,边缘齿轮可以实现游星轮在抛光机里面的长时间转动,在其内部开洞,针对不同形状和不同尺寸的晶片,再做较为软性材料的治具,使待抛晶片可以镶嵌到治具中,而治具可以镶嵌到游星轮中,这样在后续抛光时,只需要更换不同的治具,而只需要一副游星轮就能够实现同 ...
【技术保护点】
1.一种游星轮组合件,其特征在于,包括内嵌式结构的游星轮和治具,所述内嵌式结构的游星轮应用于双抛机,包括游星轮本体,所述游星轮本体内设置有用于放置治具的第一开孔,所述治具与所述第一开孔的内壁固定;所述治具的外径轮廓与所述第一开孔的内径轮廓相适应,所述治具镶嵌在所述第一开孔的内壁上。
【技术特征摘要】
1.一种游星轮组合件,其特征在于,包括内嵌式结构的游星轮和治具,所述内嵌式结构的游星轮应用于双抛机,包括游星轮本体,所述游星轮本体内设置有用于放置治具的第一开孔,所述治具与所述第一开孔的内壁固定;所述治具的外径轮廓与所述第一开孔的内径轮廓相适应,所述治具镶嵌在所述第一开孔的内壁上。2.根据权利要求1所述的游星轮组合件,其特征在于,所述第一开孔的直径范围为9mm~9m。3.根据权利要求1所述的游星轮组合件,其特征在于,所述游星轮本体的材质为金属、环氧树脂、PVC、聚四氯乙烯、聚四氟乙烯或尼龙中的一种;或者,所述游星轮本体的材质为金属、环氧树脂、PVC、聚四氯乙烯、聚四氟乙...
【专利技术属性】
技术研发人员:冯光建,夏秋良,
申请(专利权)人:苏州新美光纳米科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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