真空设备放气取样装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种真空设备放气取样装置，包括高真空设备，所述高真空设备与放气量测量组件相连，所述放气量测量组件包括与高真空设备连通的Ⅱ号阀门、Ⅰ号真空计、Ⅲ号阀门，所述Ⅲ号阀门与Ⅰ号分子泵连通，所述Ⅰ号分子泵与ⅩⅢ号阀门、Ⅺ号阀门、Ⅱ号真空计、放气量测量容器串联。本发明专利技术能够获得高真空设备单位时间内等效标准环境条件下放气量。本发发明专利技术能够进行高真空设备内放出气体成分的全收集。本发明专利技术使用分子泵及液氮冷阱，有效减少了装置内的油蒸汽等污染物，同时通过除气，减少了装置放气对测量、取样的影响。

Sampling Device for Vacuum Equipment Exhaust

The invention discloses a sampling device for outgassing of vacuum equipment, including a high vacuum equipment, which is connected with the outgassing measurement component. The outgassing measurement component includes a No.2 valve, a No.1 vacuum meter and a No.3 valve connected with the high vacuum equipment, the No.3 valve is connected with the No.1 molecular pump, and the No.1 molecular pump is connected with the No.3 valve, the No.9 valve and the No.2 valve. No. 1 vacuum gauge and exhaust measurement container are connected in series. The present invention can obtain the air discharge capacity of high vacuum equipment under equivalent standard environmental conditions per unit time. The invention can collect all the gas components emitted from the high vacuum equipment. The invention uses a molecular pump and a liquid nitrogen cold trap, which effectively reduces pollutants such as oil and steam in the device, and reduces the influence of the device bleeding on measurement and sampling by degassing.

【技术实现步骤摘要】
真空设备放气取样装置
本专利技术属于真空设备放气测量及取样
，具体涉及一种真空设备放气取样装置。
技术介绍
任何材料处于真空环境都会产生气体的释放。放出气体的多少可以用放气量这一指标衡量，通常放气量测量方法有定容法、定压法、固定流导法、收集法和称重法等。而对放气成分分析的方法，通常有在被测设备上安装分析仪器进行分析（在线分析）和采集设备放出气体样（取样）再通过专业仪器分析两种方法。对于高真空设备，当存在转动及运动部件时，内部产生的气体流动，压力呈不均匀分布，这时使用定容法、定压法、固定流导法等无法准确的获得放气量。而采用收集法、称重法等，需要收集高真空设备内部释放出的全部气体，因此，需要将高真空设备原有抽空管路隔断，这一过程可能会导致高真空设备内压力的升高，损害高真空设备。对于高真空设备放气成分分析，如果采用在线分析，由于高真空设备内部压力非均匀分布，处于高真空设备内部各部位的气体成分及含量可能不同，无法准确分析放气成分及含量。而采用取样分析的方法，必须解决将高真空设备原有抽空管路隔断后真空度破坏问题。与此同时，还需要解决气体收集不完全的问题。对于如何在保证高真空设备真空要求前提下，达到放气量准确测量及取样获得全部放气成分的装置，通过查阅相关文献，未见描述。
技术实现思路
本专利技术为解决现有技术存在的问题而提出，其目的是提供一种真空设备放气取样装置。本专利技术的技术方案是：一种真空设备放气取样装置，包括高真空设备，所述高真空设备与放气量测量组件相连，所述放气量测量组件包括与高真空设备连通的Ⅱ号阀门、Ⅰ号真空计、Ⅲ号阀门，所述Ⅲ号阀门与Ⅰ号分子泵连通，所述Ⅰ号分子泵与ⅩⅢ号阀门、Ⅺ号阀门、Ⅱ号真空计、放气量测量容器串联。所述放气量测量容器两端并联有取样组件，所述取样组件包括依次串联的Ⅲ号真空计、Ⅳ号阀门、取样器、Ⅴ号阀门。所述取样器置于液氮罐中。所述高真空设备、Ⅰ号分子泵、Ⅱ号真空计、放气量测量容器、取样器还与抽真空组件连通。所述抽真空组件包括机械泵，所述机械泵与Ⅱ号分子泵连通，所述Ⅱ号分子泵通过Ⅵ号阀门、Ⅶ号阀门与液氮冷阱连通，所述液氮冷阱通过Ⅸ号阀门、Ⅹ号阀门与放气量测量容器连通。所述取样组件一端与ⅩⅢ号阀门、Ⅺ号阀门之间的管路接通，另一端与Ⅸ号阀门、Ⅹ号阀门之间的管路接通。所述Ⅵ号阀门、Ⅶ号阀门之间设置有抽真空支管路，所述抽真空支管路另一端与Ⅱ号阀门、Ⅲ号阀门之间的管路连通。所述抽真空支管路上设置有ⅩⅣ号阀门、Ⅷ号阀门。所述抽真空支管路上还设置有Ⅰ号分支管和Ⅱ号分支管，所述Ⅰ号分支管上设置有Ⅻ号阀门。所述Ⅰ号分支管与ⅩⅢ号阀门、Ⅺ号阀门之间的管路接通，所述Ⅱ号分支管与Ⅸ号阀门、Ⅹ号阀门之间的管路接通。本专利技术能够获得高真空设备单位时间内等效标准环境条件下放气量。本发专利技术能够进行高真空设备内放出气体成分的全收集。本专利技术使用分子泵及液氮冷阱，有效减少了装置内的油蒸汽等污染物，同时通过除气，减少了装置放气对测量、取样的影响。附图说明图1是本专利技术的连接示意图；其中：1原高真空泵机组2Ⅰ号阀门3高真空设备4Ⅱ号阀门5Ⅰ号真空计6Ⅲ号阀门7Ⅰ号分子泵8Ⅳ号阀门9液氮罐10取样器11Ⅴ号阀门12机械泵13Ⅱ号分子泵14Ⅵ号阀门15Ⅶ号阀门16Ⅷ号阀门17液氮冷阱18Ⅸ号阀门19Ⅹ号阀门20放气量测量容器21Ⅱ号真空计22Ⅺ号阀门23Ⅲ号真空计24Ⅻ号阀门25ⅩⅢ号阀门26ⅩⅣ号阀门。具体实施方式以下，参照附图和实施例对本专利技术进行详细说明：如图1所示，一种真空设备放气取样装置，包括高真空设备3，所述高真空设备3与放气量测量组件相连，所述放气量测量组件包括与高真空设备3连通的Ⅱ号阀门4、Ⅰ号真空计5、Ⅲ号阀门6，所述Ⅲ号阀门6与Ⅰ号分子泵7连通，所述Ⅰ号分子泵7与ⅩⅢ号阀门25、Ⅺ号阀门22、Ⅱ号真空计21、放气量测量容器20串联。所述高真空设备3通过Ⅰ号阀门2与原高真空泵机组1相连通。所述放气量测量容器20两端并联有取样组件，所述取样组件包括依次串联的Ⅲ号真空计23、Ⅳ号阀门8、取样器10、Ⅴ号阀门11。所述取样器10置于液氮罐9中。所述高真空设备3、Ⅰ号分子泵7、Ⅱ号真空计21、放气量测量容器20、取样器10还与抽真空组件连通。所述抽真空组件包括机械泵12，所述机械泵12与Ⅱ号分子泵13连通，所述Ⅱ号分子泵13通过Ⅵ号阀门14、Ⅶ号阀门15与液氮冷阱17连通，所述液氮冷阱17通过Ⅸ号阀门18、Ⅹ号阀门19与放气量测量容器20连通。所述取样组件一端与ⅩⅢ号阀门25、Ⅺ号阀门22之间的管路接通，另一端与Ⅸ号阀门18、Ⅹ号阀门19之间的管路接通。所述Ⅵ号阀门14、Ⅶ号阀门15之间设置有抽真空支管路，所述抽真空支管路另一端与Ⅱ号阀门4、Ⅲ号阀门6之间的管路连通。所述抽真空支管路上设置有ⅩⅣ号阀门26、Ⅷ号阀门16。所述抽真空支管路上还设置有Ⅰ号分支管和Ⅱ号分支管，所述Ⅰ号分支管上设置有Ⅻ号阀门24。所述Ⅰ号分支管与ⅩⅢ号阀门25、Ⅺ号阀门22之间的管路接通，所述Ⅱ号分支管与Ⅸ号阀门18、Ⅹ号阀门19之间的管路接通。高真空设备3在未连通装置前，由原高真空泵机组1维持高真空环境，通过Ⅰ号阀门2实现高真空设备3与原高真空泵机组1的通断。本专利技术由三部分组成。分别为放气量测量组件、取样组件、抽真空组件。抽真空组件由Ⅰ号真空计5、ⅩⅣ号阀门26、Ⅻ号阀门24、Ⅹ号阀门19、Ⅴ号阀门11、Ⅸ号阀门18、液氮冷阱17、Ⅷ号阀门16、Ⅶ号阀门15、Ⅵ号阀门14、Ⅱ号分子泵13、机械泵12组成。放气量测量组件由Ⅲ号阀门6、Ⅰ号分子泵7、ⅩⅢ号阀门25、Ⅺ号阀门22、Ⅱ号真空计21、放气量测量容器20组成。取样组件由Ⅲ号真空计23、Ⅳ号阀门8、液氮罐9、取样器10组成。上述放气取样装置，单点漏率要求小于10-10Pa·m3/s。上述放气取样装置，经过抽空除气自身放气量要求小于10-6Pa·m3/s。上述放气取样装置，所使用Ⅰ号真空计5、Ⅱ号真空计21、Ⅲ号真空计23量程范围为0~10Torr，测量误差小于0.5%。上述放气取样装置，Ⅰ号分子泵7及Ⅱ号分子泵13抽气速率要求大于100L/s，极限真空要求优于10-3Pa，Ⅰ号分子泵7及Ⅱ号分子泵13要求具有相同抽速。上述放气取样装置，可测量高真空设备3放气量范围为2×10-6Pa·m3/s至1×10-4Pa·m3/s。上述放气取样装置，取样器10自身可以完全封闭。上述放气取样装置，取样器10浸入液氮罐9的容积要求达到其总容积的1/2以上。上述放气取样装置，封闭Ⅳ号阀门8、Ⅹ号阀门19、Ⅻ号阀门24、ⅩⅢ号阀门25，开启Ⅺ号阀门22后，由Ⅳ号阀门8、Ⅹ号阀门19、放气量测量容器20、Ⅱ号真空计21、Ⅺ号阀门22、Ⅲ号真空计23、Ⅻ号阀门24、ⅩⅢ号阀门25组成的容积V为已知参数。上述放气取样装置中所述高真空设备3放气量为等效标准环境条件放气量。上述放气取样装置，使用前装置阀门均处于关闭状态，维持室温（20±2）℃且保持恒定。本专利技术中各部分的使用方法如下：测试放气取样装置抽空除气，使其满足放气本底要求，包括以下步骤：1.向液氮冷阱17中注入液氮使其完全冷冻，直至测量取样结束。取样器10维持常温状态。2.启动机械泵12，依次开启Ⅵ号阀门14、Ⅷ号阀门16、Ⅻ号阀门24、ⅩⅣ号阀门26、Ⅹ号阀门1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空设备放气取样装置，包括高真空设备（3），其特征在于：所述高真空设备（3）与放气量测量组件相连，所述放气量测量组件包括与高真空设备（3）连通的Ⅱ号阀门（4）、Ⅰ号真空计（5）、Ⅲ号阀门（6），所述Ⅲ号阀门（6）与Ⅰ号分子泵（7）连通，所述Ⅰ号分子泵（7）与ⅩⅢ号阀门（25）、Ⅺ号阀门（22）、Ⅱ号真空计（21）、放气量测量容器（20）串联。

【技术特征摘要】
1.一种真空设备放气取样装置，包括高真空设备（3），其特征在于：所述高真空设备（3）与放气量测量组件相连，所述放气量测量组件包括与高真空设备（3）连通的Ⅱ号阀门（4）、Ⅰ号真空计（5）、Ⅲ号阀门（6），所述Ⅲ号阀门（6）与Ⅰ号分子泵（7）连通，所述Ⅰ号分子泵（7）与ⅩⅢ号阀门（25）、Ⅺ号阀门（22）、Ⅱ号真空计（21）、放气量测量容器（20）串联。2.根据权利要求1所述的真空设备放气取样装置，其特征在于：所述放气量测量容器（20）两端并联有取样组件，所述取样组件包括依次串联的Ⅲ号真空计（23）、Ⅳ号阀门（8）、取样器（10）、Ⅴ号阀门（11）。3.根据权利要求2所述的真空设备放气取样装置，其特征在于：所述取样器（10）置于液氮罐（9）中。4.根据权利要求3所述的真空设备放气取样装置，其特征在于：所述高真空设备（3）、Ⅰ号分子泵（7）、Ⅱ号真空计（21）、放气量测量容器（20）、取样器（10）还与抽真空组件连通。5.根据权利要求4所述的真空设备放气取样装置，其特征在于：所述抽真空组件包括机械泵（12），所述机械泵（12）与Ⅱ号分子泵（13）连通，所述Ⅱ号分子泵（13）通过...

【专利技术属性】
技术研发人员：赫梓宇，王永华，赵伟利，李震，
申请(专利权)人：核工业理化工程研究院，
类型：发明
国别省市：天津,12