移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术的移动体装置，具备可保持基板(P)往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、将基板保持具(32)的位置信息以设于基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设于Y粗动载台(24)的标尺(72)加以取得的第1测量系统、将Y粗动载台(24)的位置信息以设于Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)加以取得的第2测量系统、以及根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。

Mobile device, moving method, exposure device, exposure method, manufacturing method of flat panel display and component manufacturing method

The mobile body device of the present invention has a base retainer (32) which can keep the base plate (P) moving in the direction of X and Y axes, a Y roughing platform (24) which can move in the direction of Y axes, a first measuring system which can locate the position information of the base plate retainer (32) on a reading head (74x, 74y) of the base plate retainer (32) and a scale (72) located in the Y roughing platform (24), and a position information of the Y roughing platform (24). The second measuring system obtained from the reading heads (80x, 80y) and scales (78) of Y roughing platform (24) and the control system for controlling the position of the base plate holder (32) based on the position information obtained from the first and second measuring systems. The first measuring system makes the reading heads (74x, 74y) move relative to the scales (72) and illuminates the measuring beam while the second measuring system makes the reading heads (80x, 80y) phase. The measuring beam is irradiated when the ruler (78) moves in the direction of Y axis.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法
本专利技术是关于移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法。
技术介绍
以往，于制造液晶显示元件、半导体元件(集成电路等)等电子元件(微元件)的光刻工艺，是使用透过投影光学系统(透镜)以照明光(能量束)使感光性的玻璃板或晶片(以下，统称为「基板」)曝光，据以将掩膜(photomask)或标线片(以下，统称为「掩膜」)所具有的既定图案转印至该基板的曝光装置。作为此种曝光装置，有一种具备使用基板载台装置所具有的长条镜(barmirror)来求出曝光对象基板于水平面内的位置信息的光干涉仪系统广为人知(例如，参照专利文献1)。此处，使用光干涉仪系统求出基板的位置信息的情形时，因激光至长条镜的光路长较长，而无法忽视所谓空气波动的影响。先行技术文献专利文献[专利文献1]美国专利申请公开第2010/0266961号说明书
技术实现思路
用以解决课题的手段本专利技术第1态样提供一种移动体装置，其具备：第1移动体，能保持物体往彼此交叉的第1方向与第2方向移动；第1测量系统，包含该第1及第2方向的测量成分、于该第1方向多个第1格子区域彼此分离配置且于该第2方向与该多个第1格子区域分离配置的多个第2格子区域于该第1方向彼此分离配置的第1格子构件、与一边相对该第1格子构件往该第1方向移动一边分别照射测量光束的多个第1读头中一方设于该第1移动体，该第1格子构件与该多个第1读头的另一方被设置成与该移动体对向，以该多个第1读头中、该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域的至少2个的至少3个读头测量于该第1方向的该第1移动体的位置信息；第2移动体，设在该第1格子区域与该第1读头中的另一方，能往该第2方向移动；第2测量系统，包含该第1及第2方向的测量成分的第2格子构件、与一边相对该第2格子构件往该第2方向移动一边照射测量光束的第2读头中的一方设于该第2移动体，该第2格子构件与该第2读头中的另一方被设置成与该第2移动体对向，测量于该第2方向的该第2移动体的位置信息；以及控制装置，根据以该第1及第2测量系统测量的该位置信息，进行在包含该第1及第2方向的既定平面内的3自由度方向的该第1移动体的移动控制；该控制系统，根据使用该多个第1读头中、该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域的至少2个的至少4个读头测量的该第1移动体的位置信息，取得与该多个第1及第2格子区域的至少2个相关的格子修正信息；该格子修正信息，是被用于使用该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域中的至少2个的该至少3个读头的该第1移动体的移动控制。本专利技术第2态样提供一种移动体装置，是相对第1构件使物体移动，其具备：第1移动体，其能保持该物体，相对该第1构件往彼此交叉的第1及第2方向移动；第1测量系统，于该第1方向多个第1格子区域彼此分离配置且于该第2方向与该多个第1格子区域分离配置的多个第2格子区域于该第1方向彼此分离配置的第1格子构件、与一边相对该第1格子构件往该第1方向移动一边分别照射测量光束的多个第1读头中的一方设于该第1移动体，该第1格子构件与该多个第1读头中的另一方被设置成与该移动体对向，以该多个第1读头中、该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域的至少2个的读头测量于该第1方向的该第1移动体的位置信息；第2移动体，设在该第1格子区域与该第1读头中的另一方，能往该第2方向移动；第2测量系统，包含该第1及第2方向的测量成分的第2格子构件、与对该第2格子构件照射测量光束的第2读头中的一方设于该第2移动体，该第2格子构件与该第2读头中的另一方被设置成与该第2移动体对向，测量于该第2方向的该第2移动体的位置信息；以及控制系统，根据以该第1及第2测量系统测量的该位置信息，进行该第1移动体的移动控制；该控制系统，根据使用该多个第1读头中、该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域的读头测量的该第1移动体的位置信息，根据该多个第1及第2格子区域的格子修正信息，进行该第1移动体的移动控制。本专利技术第3态样提供一种曝光装置，其具备：第1态样及第2态样的任一种的移动体装置、以及对该物体照射能量束以使该物体曝光的光学系统。本专利技术第4态样提供一种平板显示器的制造方法，其包含：使用第3态样的曝光装置使基板曝光的动作、以及使曝光后的基板显影的动作。本专利技术第5态样提供一种元件制造方法，其包含：使用第3态样的曝光装置使基板曝光的动作、以及使曝光后的基板显影的动作。本专利技术第6态样提供一种移动方法，其包含：包含彼此正交的第1及第2方向的测量成分，于该第1方向多个第1格子区域彼此分离配置、且于该第2方向与该多个第1格子区域分离配置的多个第2格子区域于该第1方向彼此分离配置的第1格子构件、与一边相对该第1格子构件往该第1方向移动一边分别照射测量光束的多个第1读头中的一方设于保持该物体的第1移动体，该第1格子构件与该多个第1读头中的另一方以和该移动体对向的方式被设于能往该第2方向移动的第2移动体，以该多个第1读头中、该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域的至少2个的至少3个读头测量于该第1方向的该第1移动体的第1位置信息的动作；包含该第1及第2方向的测量成分的第2格子构件、与一边相对该第2格子构件往该第2方向移动一边照射测量光束的第2读头中的一方设于该第2移动体，该第2格子构件与该第2读头中的另一方被设置成与该第2移动体对向，测量于该第2方向的该第2移动体的第2位置信息的动作；根据该第1及第2位置信息，进行于该既定平面内的3自由度方向的该第1移动体的移动控制的动作；以及根据使用该多个第1读头中、该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域的至少2个的至少4个读头测量的该第1移动体的位置信息，取得与该多个第1及第2格子区域的至少2个相关的格子修正信息的动作；该格子修正信息，是用于使用该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域的至少2个的该至少3个读头的该第1移动体的移动控制。本专利技术第7态样提供一种移动方法，是相对第1构件使物体移动，其包含：使保持该物体的第1移动体，相对该第1物体往彼此交叉的第1及第2方向移动的动作；藉由第1测量系统，其于该第1方向多个第1格子区域彼此分离配置、且于该第2方向与该多个第1格子区域分离配置的多个第2格子区域于该第1方向彼此分离配置的第1格子构件、与一边相对该第1格子构件往该第1方向移动一边分别照射测量光束的多个第1读头中的一方设于该第1移动体，该第1格子构件与该多个第1读头中的另一方被设置成与该移动体对向，以该多个第1读头中、该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域的至少2个的读头测量于该第1方向的该第1移动体的位置信息的动作；藉由设有该第1格子区域与该第1读头中的另一方的第2移动体，使该第1移动体往该第2方向移动的动作；包含该第1及第2方向的测量成分的第2格子构件、与对该第2格子构件照射测量光束的第2读头中的一方设于该第2移动体，该第2格子构件与该第2读头中的另一方被设置成与该第2移动体对向，测量该第2方向的该第2移动体的位置信息的动作；以及根据以该第1及第2测量系统测量的该位置信息，进行该第1移动体的移动控制的动作；该控制动作，是根据使用该多个第1读头中、该测量光束本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种移动体装置，具备：第1移动体，能保持物体往彼此交叉的第1方向与第2方向移动；第1测量系统，包含该第1及第2方向的测量成分、于该第1方向多个第1格子区域彼此分离配置且于该第2方向与该多个第1格子区域分离配置的多个第2格子区域于该第1方向彼此分离配置的第1格子构件、与一边相对该第1格子构件往该第1方向移动一边分别照射测量光束的多个第1读头中一方设于该第1移动体，该第1格子构件与该多个第1读头的另一方被设置成与该移动体对向，以该多个第1读头中、该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域的至少2个的至少3个读头测量于该第1方向的该第1移动体的位置信息；第2移动体，设在该第1格子区域与该第1读头中的另一方，能往该第2方向移动；第2测量系统，包含该第1及第2方向的测量成分的第2格子构件、与一边相对该第2格子构件往该第2方向移动一边照射测量光束的第2读头中的一方设于该第2移动体，该第2格子构件与该第2读头中的另一方被设置成与该第2移动体对向，测量于该第2方向的该第2移动体的位置信息；以及控制装置，根据以该第1及第2测量系统测量的该位置信息，进行在包含该第1及第2方向的既定平面内的3自由度方向的该第1移动体的移动控制；该控制系统，根据使用该多个第1读头中、该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域的至少2个的至少4个读头测量的该第1移动体的位置信息，取得与该多个第1及第2格子区域的至少2个相关的格子修正信息；该格子修正信息，是被用于使用该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域中的至少2个的该至少3个读头的该第1移动体的移动控制。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.09.30 JP 2016-1952471.一种移动体装置，具备：第1移动体，能保持物体往彼此交叉的第1方向与第2方向移动；第1测量系统，包含该第1及第2方向的测量成分、于该第1方向多个第1格子区域彼此分离配置且于该第2方向与该多个第1格子区域分离配置的多个第2格子区域于该第1方向彼此分离配置的第1格子构件、与一边相对该第1格子构件往该第1方向移动一边分别照射测量光束的多个第1读头中一方设于该第1移动体，该第1格子构件与该多个第1读头的另一方被设置成与该移动体对向，以该多个第1读头中、该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域的至少2个的至少3个读头测量于该第1方向的该第1移动体的位置信息；第2移动体，设在该第1格子区域与该第1读头中的另一方，能往该第2方向移动；第2测量系统，包含该第1及第2方向的测量成分的第2格子构件、与一边相对该第2格子构件往该第2方向移动一边照射测量光束的第2读头中的一方设于该第2移动体，该第2格子构件与该第2读头中的另一方被设置成与该第2移动体对向，测量于该第2方向的该第2移动体的位置信息；以及控制装置，根据以该第1及第2测量系统测量的该位置信息，进行在包含该第1及第2方向的既定平面内的3自由度方向的该第1移动体的移动控制；该控制系统，根据使用该多个第1读头中、该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域的至少2个的至少4个读头测量的该第1移动体的位置信息，取得与该多个第1及第2格子区域的至少2个相关的格子修正信息；该格子修正信息，是被用于使用该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域中的至少2个的该至少3个读头的该第1移动体的移动控制。2.根据权利要求1所述的移动体装置，其中，该格子修正信息，是用于为补偿因使用该至少4个读头的3个测量的于该3自由度方向的该第1移动体的位置信息、与使用该至少4个读头中包含与该3个读头不同的至少1个读头的3个读头测量的于该3自由度方向的该第1移动体的位置信息的差引起而产生的该第1测量系统的测量误差或该第1移动体的位置误差。3.根据权利要求1或2所述的移动体装置，其中，该多个第1读头分别以该既定平面内的一方向及与该既定平面正交的第3方向的2方向为测量方向；该第1测量系统，能使用该至少3个读头测量包含该第3方向的与该3自由度方向不同的3自由度方向的该第1移动体的位置信息。4.根据权利要求3所述的移动体装置，其中，该控制系统根据使用该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域中的至少2个的该至少4个读头测量的于该第3方向的该第1移动体的位置信息，取得关于该多个第1及第2格子区域中的至少2个、在该不同的3自由度方向的格子修正信息。5.根据权利要求1至4任一项所述的移动体装置，其中，该控制系统根据使用该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域中的至少2个的该至少4个读头测量的该第1移动体的位置信息，更新该取得的格子修正信息。6.根据权利要求1至5任一项所述的移动体装置，其中，该控制系统是在包含使用照明光的曝光处理的既定处理中，进行该格子修正信息的取得与更新的至少一方。7.根据权利要求6所述的移动体装置，其中，为了于该既定处理中进行该格子修正信息的取得与更新的至少一方，使用包含该第1测量系统中用于测量的该至少3个读头的该至少4个读头。8.根据权利要求1至7任一项所述的移动体装置，其中，该控制系统于该多个第1及第2格子区域中的至少2个，于该第1方向的不同位置分别取得该格子修正信息。9.根据权利要求1至8任一项所述的移动体装置，其中，该控制系统是与该格子修正信息不同地、另行取得与透过在该第1测量系统中用于测量的该至少3个读头照射该测量光束的与已取得该格子修正信息的该多个第1及第2格子区域的至少2个中的至少1个不同的该多个第1及第2格子区域的至少2个相关的格子修正信息。10.根据权利要求1至9任一项所述的移动体装置，其中，因该移动体往该第1方向的移动，透过在该第1测量系统中用于测量的该至少3个读头照射该测量光束的该多个第1及第2格子区域的至少2个，其中至少1个被切换为另一第1或第2格子区域；该控制系统，就与该多个第1及第2格子区域的至少2个相关的多个组合，分别取得格子修正信息。11.根据权利要求1至10任一项所述的移动体装置，其中，该多个第1读头分别在该第1移动体往该第1方向的移动中，该测量光束脱离该多个第1及第2格子区域的1个，并移至与该1个第1或第2格子区域相邻的另一第1或第2格子区域。12.根据权利要求1至11任一项所述的移动体装置，其中，该多个第1读头分别以在该既定平面内彼此交叉的2方向中的一方为测量方向；在该第1测量系统用于测量的该至少3个读头，包含以该2方向的一方为测量方向的至少1个读头、与以该2方向的另一方为测量方向的至少2个读头。13.根据权利要求1至12任一项所述的移动体装置，其中，该多个第1读头包含以在该既定平面内与该第1方向不同的方向为测量方向的读头；该第1测量系统，为使用该测量方向与该第1方向不同的读头测量该第1移动体的位置信息，而使用该第1测量装置的测量信息。14.根据权利要求12或13所述的移动体装置，其中，该多个第1读头包含以该第1方向为测量方向的至少2个读头、与以该第2方向为测量方向的至少2个读头。15.根据权利要求1至14任一项所述的移动体装置，其中，该至少4个读头，包含对该多个第1格子区域的至少1个照射该测量光束的至少2个读头、与对该多个第2格子区域的至少1个照射该测量光束的至少2个读头。16.根据权利要求15所述的移动体装置，其中，对该多个第1格子区域的至少1个照射该测量光束的该至少2个读头，包含于该第1方向、以较该多个第1格子区域中相邻一对第1格子区域的间隔大的间隔照射该测量光束的2个读头；对该多个第2格子区域的至少1个照射该测量光束的该至少2个读头，包含于该第1方向、以较该多个第2格子区域中相邻一对第2格子区域的间隔大的间隔照射该测量光束的2个读头。17.根据权利要求16所述的移动体装置，其中，对该多个第1格子区域的至少1个照射该测量光束的该至少2个读头，包含与以较该一对第1格子区域的间隔大的间隔照射该测量光束的该2个读头的至少一方于该第2方向的不同位置照射该测量光束的至少1个读头；对该多个第2格子区域的至少1个照射该测量光束的该至少2个读头，包含与以该一对第2格子区域的间隔大的间隔照射该测量光束的该2个读头的至少一方于该第2方向不同位置照射该测量光束的至少1个读头。18.根据权利要求1至17任一项所述的移动体装置，其中，该第1格子构件设于该第2移动体；该多个第1格子区域与该多个第2格子区域，配置在于该第2方向较该第1移动体的物体载置区域设置在外侧的该第2移动体。19.根据权利要求1至18任一项所述的移动体装置，其中，该多个第1及第2格子区域，分别具有反射型的2维格子或彼此排列方向不同的2个1维格子。20.根据权利要求1至19任一项所述的移动体装置，其中，该多个第1及第2格子区域，分别形成在彼此不同的多个标尺。21.根据权利要求1至20任一项所述的移动体装置，其中，该多个第1读头分别以在该既定平面内彼此交叉的2方向的一方、与和该既定平面正交的第3方向的2方向为测量方向；该第1测量系统，可使用该至少3个读头，测量在包含该第3方向、与该3自由度方向不同的3自由度方向的该第1移动体的位置信息。22.根据权利要求1至21任一项所述的移动体装置，其中，在该至少4个读头中的1个读头其该测量光束从该多个第1及第2格子区域的至少2个脱离的期间，剩余的至少3个读头其该测量光束照射于该多个第1及第2格子区域的至少2个且因该第1移动体往该第1方向的移动，切换该至少4个读头中该测量光束从该多个第1及第2格子区域的至少2个脱离的该1个读头。23.根据权利要求1至22任一项所述的移动体装置，其中，在该第1移动体往该第1方向的移动中，该至少4个读头的该测量光束从该多个第1及第2格子区域的至少2个脱离的非测量区间不重迭。24.根据权利要求23所述的移动体装置，其中，该多个第1读头包含该至少4个读头的至少1个与该非测量区间至少一部分重迭的至少1个读头；于该第1移动体的位置信息的测量中，使用包含该至少4个读头与该至少1个读头的至少5个读头中，该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域的至少2个的至少3个读头的测量信息。25.根据权利要求1至24任一项所述的移动体装置，其中，该控制系统，将用以使用该至少4个读头...

【专利技术属性】
技术研发人员：青木保夫，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本,JP