移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术的移动体装置，具备可保持基板(P)往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、将基板保持具(32)的位置信息以设于基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设于Y粗动载台(24)的标尺(72)加以取得的第1测量系统、将Y粗动载台(24)的位置信息以设于Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)加以取得的第2测量系统、以及根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。

Mobile device, moving method, exposure device, exposure method, manufacturing method of flat panel display and component manufacturing method

The mobile body device of the present invention has a base retainer (32) which can keep the base plate (P) moving in the direction of X and Y axes, a Y roughing platform (24) which can move in the direction of Y axes, a first measuring system which can locate the position information of the base plate retainer (32) on a reading head (74x, 74y) of the base plate retainer (32) and a scale (72) located in the Y roughing platform (24), and a position information of the Y roughing platform (24). The second measuring system obtained from the reading heads (80x, 80y) and scales (78) of Y roughing platform (24) and the control system for controlling the position of the base plate holder (32) based on the position information obtained from the first and second measuring systems. The first measuring system makes the reading heads (74x, 74y) move relative to the scales (72) and illuminates the measuring beam while the second measuring system makes the reading heads (80x, 80y) phase. The measuring beam is irradiated when the ruler (78) moves in the direction of Y axis.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法
本专利技术是关于移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法。
技术介绍
以往，于制造液晶显示元件、半导体元件(集成电路等)等电子元件(微元件)的光刻工艺，使用通过投影光学系统(透镜)以照明光(能量束)使感光性的玻璃板或晶圆(以下，统称为“基板”)曝光，据以将光掩膜(photomask)或标线片(以下，统称为“光掩膜”)所具有的既定图案转印至该基板的曝光装置。作为此种曝光装置，有一种具备使用基板载台装置所具有的长条镜(barmirror)来求出曝光对象基板于水平面内的位置信息的光干涉仪系统者广为人知(例如，参照专利文献1)。此处，使用光干涉仪系统求出基板的位置信息的情形时，因激光至长条镜的光路长较长，而无法忽视所谓空气波动的影响。先行技术文献专利文献[专利文献1]美国专利申请公开第2010/0266961号说明书
技术实现思路
解决课题的手段本专利技术第1态样提供一种移动体装置，具备：第1移动体，其能保持物体、并往彼此交叉的第1及第2方向移动；第2移动体，其能往该第2方向移动；基准构件，其于该第1及第2方向，作为该第1移动体的移动的基准；第1测量系统，通过多个第1读头与第1格子构件取得该第1移动体相对该基准构件的位置信息，该多个第1读头设在该第1及第2移动体中的一方，该第1格子构件设在另一方且具有该第1及第2方向的测量成分并可通过于该第1方向彼此分离配置的多个格子区域测量该第1移动体于该第1方向的移动范围；第2测量系统，通过第2读头与第2格子构件取得该第1移动体相对该基准构件的位置信息，该第2读头设在该第2移动体与该基准构件中的一方，该第2格子构件设在另一方且具有该第1及第2方向的测量成分并可测量该第1移动体于该第2方向的移动范围；以及控制系统，根据该多个第1读头中、该多个第1读头的测量光束照射于该多个格子区域中的至少1个的至少3个读头的测量信息、与以该第2测量系统取得的位置信息，控制相对于该基准构件的该第1及第2方向的该第1移动体的位置；该第1测量系统，一边使该第1读头相对该第1格子区域往该第1方向移动、一边照射测量光束以取得该第1移动体的位置信息；该第2测量系统，一边使该第2读头相对该第2格子区域往该第2方向移动、一边照射测量光束以取得该第1移动体的位置信息；该多个读头，分别在该第1移动体往该第1方向的移动中，该测量光束从该多个格子区域的1个脱离，并移至与该1个格子区域相邻的另一格子区域；该控制系统，将用以使用该多个读头中、与该测量光束从该1个格子区域脱离而移至该另一格子区域的该至少3个读头不同的读头控制该第1移动体的移动的修正信息，根据该至少3个读头的测量信息或使用该至少3个读头测量的该第1移动体的位置信息加以取得。本专利技术第2态样提供一种移动体装置，具备：第1移动体，其能保持物体、并往彼此交叉的第1及第2方向移动；第2移动体，其能往该第2方向移动；基准构件，其于该第1及第2方向，作为该第1移动体的移动的基准；第1测量系统，通过多个第1读头与第1格子构件取得该第1移动体相对该基准构件的位置信息，该多个第1读头设在该第1及第2移动体中的一方，该第1格子构件设在另一方且具有该第1及第2方向的测量成分并具有于该第1方向彼此分离配置的多个第1格子区域及于该第2方向在与该多个第1格子区域相异的位置于该第1方向彼此分离配置的多个第2格子区域、可测量该第1移动体于该第1方向的移动范围；第2测量系统，通过第2读头与第2格子构件取得该第1移动体相对该基准构件的位置信息，该第2读头设在该第2移动体与该基准构件中的一方，该第2格子构件设在另一方且具有该第1及第2方向的测量成分并能测量该第1移动体于该第2方向的移动范围；以及控制系统，根据该多个第1读头中、该多个第1读头的该测量光束照射于该多个第1及第2格子区域中的至少2个的至少3个读头的测量信息、与以该第2测量系统取得的位置信息，控制相对该基准构件的该第1及第2方向的该第1移动体的位置；该第1测量系统，一边使该第1读头相对该第1格子区域往该第1方向移动一边照射测量光束以取得该第1移动体的位置信息；该第2测量系统，一边使该第2读头相对该第2格子区域往该第2方向移动一边照射测量光束以取得该第1移动体的位置信息；该多个第1读头，分别在该第1移动体往该第1方向的移动中，该测量光束从该多个第1及第2格子区域的1个脱离，并移至与该1个第1或第2格子区域相邻的另一第1或第2格子区域；该控制系统，将用以使用该多个第1读头中、与该测量光束从该1个第1或第2格子区域脱离而移至该另一第1或第2格子区域的该至少3个读头不同的读头控制该第1移动体的移动的修正信息，根据该至少3个读头的测量信息或使用该至少3个读头测量的该移动体的位置信息加以取得。本专利技术第3态样提供一种移动体装置，相对第1构件使物体移动，具备：第1移动体，保持该物体，可相对该第1构件往彼此交叉的第1及第2方向移动；第2移动体，可相对该第1物体往该第2方向移动；驱动系统，使该第1及第2移动体往该第2方向移动；第1测量系统，通过多个第1读头与第1格子构件取得该第1移动体相对该第2移动体的位置信息，该多个第1读头设在该第1及第2移动体中的一方，该第1格子构件设在另一方并具有于该第1方向彼此分离配置的多个第1格子区域；第2测量系统，通过第2读头与第2格子构件取得该第2移动体相对该第1物体的位置信息，该第2读头设在该第2移动体与该第1物体中的一方，该第2格子构件设在另一方；以及控制系统，根据该多个第1读头中、该多个第1读头的测量光束照射于该多个格子区域中的至少1个的读头的测量信息、与以该第2测量系统取得的位置信息，控制相对该第1物体的该第1及第2方向的该第1移动体的位置；该多个第1读头，分别在该第1移动体往该第1方向的移动中，该测量光束从该多个格子区域中的1个脱离、并移至与该1个格子区域相邻的另一格子区域；该控制系统，将用以使用该多个读头中、与该测量光束从该1个格子区域脱离而移至该另一格子区域的读头不同的读头控制该第1移动体的移动的修正信息，根据该读头的测量信息加以取得。本专利技术第4态样提供一种曝光装置，其包含：第1态样至第3态样中任一态样的移动体装置、与对该物体照射能量束以使该物体曝光的光学系统。本专利技术第5态样提供一种平板显示器制造方法，其包含：使用第4态样的曝光装置使基板曝光的动作、与使曝光后的基板显影的动作。本专利技术第6态样提供一种元件制造方法，其包含：使用第4态样的曝光装置使基板曝光的动作、与使曝光后的基板显影的动作。本专利技术第7态样提供一种移动方法，其包含：于彼此交叉的第1及第2方向，使保持物体的第1移动体相对基准构件移动的动作；通过第2移动体使该第1移动体往该第2方向移动的动作；使用第1测量系统，通过多个第1读头与第1格子构件取得该第1移动体相对该基准构件的位置信息的动作，该多个第1读头设在该第1及第2移动体中的一方，该第1格子构件设在另一方且具有该第1及第2方向的测量成分、可通过于该第1方向彼此分离配置的多个格子区域测量该第1移动体于该第1方向的移动范围；使用第2测量系统，通过第2读头与第2格子构件取得该第1移动体相本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种移动体装置，具备：第1移动体，其能保持物体、并往彼此交叉的第1及第2方向移动；第2移动体，其能往该第2方向移动；基准构件，其于该第1及第2方向，作为该第1移动体的移动的基准；第1测量系统，通过多个第1读头与第1格子构件取得该第1移动体相对该基准构件的位置信息，该多个第1读头设在该第1及第2移动体中的一方，该第1格子构件设在另一方且具有该第1及第2方向的测量成分并可通过于该第1方向彼此分离配置的多个格子区域测量该第1移动体于该第1方向的移动范围；第2测量系统，通过第2读头与第2格子构件取得该第1移动体相对该基准构件的位置信息，该第2读头设在该第2移动体与该基准构件中的一方，该第2格子构件设在另一方且具有该第1及第2方向的测量成分并可测量该第1移动体于该第2方向的移动范围；以及控制系统，根据该多个第1读头中、该多个第1读头的测量光束照射于该多个格子区域中的至少1个的至少3个读头的测量信息、与以该第2测量系统取得的位置信息，控制相对于该基准构件的该第1及第2方向的该第1移动体的位置；该第1测量系统，一边使该第1读头相对该第1格子区域往该第1方向移动、一边照射测量光束以取得该第1移动体的位置信息；该第2测量系统，一边使该第2读头相对该第2格子区域往该第2方向移动、一边照射测量光束以取得该第1移动体的位置信息；该多个读头，分别在该第1移动体往该第1方向的移动中，该测量光束从该多个格子区域的1个脱离，并移至与该1个格子区域相邻的另一格子区域；该控制系统，将用以使用该多个读头中、与该测量光束从该1个格子区域脱离而移至该另一格子区域的该至少3个读头不同的读头控制该第1移动体的移动的修正信息，根据该至少3个读头的测量信息或使用该至少3个读头测量的该第1移动体的位置信息加以取得。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.09.30 JP 2016-1952221.一种移动体装置，具备：第1移动体，其能保持物体、并往彼此交叉的第1及第2方向移动；第2移动体，其能往该第2方向移动；基准构件，其于该第1及第2方向，作为该第1移动体的移动的基准；第1测量系统，通过多个第1读头与第1格子构件取得该第1移动体相对该基准构件的位置信息，该多个第1读头设在该第1及第2移动体中的一方，该第1格子构件设在另一方且具有该第1及第2方向的测量成分并可通过于该第1方向彼此分离配置的多个格子区域测量该第1移动体于该第1方向的移动范围；第2测量系统，通过第2读头与第2格子构件取得该第1移动体相对该基准构件的位置信息，该第2读头设在该第2移动体与该基准构件中的一方，该第2格子构件设在另一方且具有该第1及第2方向的测量成分并可测量该第1移动体于该第2方向的移动范围；以及控制系统，根据该多个第1读头中、该多个第1读头的测量光束照射于该多个格子区域中的至少1个的至少3个读头的测量信息、与以该第2测量系统取得的位置信息，控制相对于该基准构件的该第1及第2方向的该第1移动体的位置；该第1测量系统，一边使该第1读头相对该第1格子区域往该第1方向移动、一边照射测量光束以取得该第1移动体的位置信息；该第2测量系统，一边使该第2读头相对该第2格子区域往该第2方向移动、一边照射测量光束以取得该第1移动体的位置信息；该多个读头，分别在该第1移动体往该第1方向的移动中，该测量光束从该多个格子区域的1个脱离，并移至与该1个格子区域相邻的另一格子区域；该控制系统，将用以使用该多个读头中、与该测量光束从该1个格子区域脱离而移至该另一格子区域的该至少3个读头不同的读头控制该第1移动体的移动的修正信息，根据该至少3个读头的测量信息或使用该至少3个读头测量的该第1移动体的位置信息加以取得。2.如权利要求1所述的移动体装置，其中，该修正信息，在包含该至少3个读头与该不同读头的至少4个读头各个的该测量光束，照射在包含该另一格子区域的该多个格子区域中的至少1个的期间取得。3.如权利要求1或2所述的移动体装置，其中，该修正信息，在该至少3个读头中的1个的该测量光束从包含该另一格子区域的该多个格子区域中的至少1个脱离前取得。4.如权利要求1至3中任一项权利要求所述的移动体装置，其中，该测量系统，在该至少3个读头中的1个的该测量光束从包含该另一格子区域的该多个格子区域中的至少1个脱离前，取代该至少3个读头的1个，使用包含已取得该修正信息的该不同读头的至少3个读头，测量该移动体的位置信息。5.如权利要求1至4中任一项权利要求所述的移动体装置，其中，该控制系统，在该至少3个读头的1个的该测量光束从包含该另一格子区域的该多个格子区域中的至少1个脱离前，将使用该至少3个读头的该第1移动体的移动控制，切换为取代该至少3个读头的1个而使用包含已取得该修正信息的该不同读头的至少3个读头的该第1移动体的移动控制。6.如权利要求1至5中任一项权利要求所述的移动体装置，其中，该第1格子构件，具有于该第2方向位置与该多个格子区域不同、且于该第1方向彼此分离配置的与该多个格子区域不同的多个格子区域；该多个读头的至少1个，该测量光束照射于该另一多个格子区域的至少1个、且取代该测量光束照射于该多个格子区域的至少1个的该至少3个读头的至少1个，被用于该第1移动体的位置信息的测量。7.一种移动体装置，具备：第1移动体，其能保持物体、并往彼此交叉的第1及第2方向移动；第2移动体，其能往该第2方向移动；基准构件，其于该第1及第2方向，作为该第1移动体的移动的基准；第1测量系统，通过多个第1读头与第1格子构件取得该第1移动体相对该基准构件的位置信息，该多个第1读头设在该第1及第2移动体中的一方，该第1格子构件设在另一方且具有该第1及第2方向的测量成分并具有于该第1方向彼此分离配置的多个第1格子区域及于该第2方向在与该多个第1格子区域相异的位置于该第1方向彼此分离配置的多个第2格子区域、可测量该第1移动体于该第1方向的移动范围；第2测量系统，通过第2读头与第2格子构件取得该第1移动体相对该基准构件的位置信息，该第2读头设在该第2移动体与该基准构件中的一方，该第2格子构件设在另一方且具有该第1及第2方向的测量成分并能测量该第1移动体于该第2方向的移动范围；以及控制系统，根据该多个第1读头中、该多个第1读头的该测量光束照射于该多个第1及第2格子区域中的至少2个的至少3个读头的测量信息、与以该第2测量系统取得的位置信息，控制相对该基准构件的该第1及第2方向的该第1移动体的位置；该第1测量系统，一边使该第1读头相对该第1格子区域往该第1方向移动一边照射测量光束以取得该第1移动体的位置信息；该第2测量系统，一边使该第2读头相对该第2格子区域往该第2方向移动一边照射测量光束以取得该第1移动体的位置信息；该多个第1读头，分别在该第1移动体往该第1方向的移动中，该测量光束从该多个第1及第2格子区域的1个脱离，并移至与该1个第1或第2格子区域相邻的另一第1或第2格子区域；该控制系统，将用以使用该多个第1读头中、与该测量光束从该1个第1或第2格子区域脱离而移至该另一第1或第2格子区域的该至少3个读头不同的读头控制该第1移动体的移动的修正信息，根据该至少3个读头的测量信息或使用该至少3个读头测量的该移动体的位置信息加以取得。8.如权利要求7所述的移动体装置，其中，该修正信息，在包含该至少3个读头与该不同读头的至少4个读头各个的该测量光束，照射在包含该另一第1或第2格子区域的该多个第1及第2格子区域中的至少2个的期间取得。9.如权利要求7或8所述的移动体装置，其中，该修正信息，在该至少3个读头中的1个的该测量光束，从包含该另一第1或第2格子区域的该多个第1及第2格子区域中的至少2个脱离之前取得。10.如权利要求7至9中任一项权利要求所述的移动体装置，其中，该第1测量系统，在该至少3个读头的1个的该测量光束从包含该另一第1或第2格子区域的该多个第1及第2格子区域中的至少2个脱离前，取代该至少3个读头的1个，使用包含已取得该修正信息的该不同读头的至少3个读头测量该移动体的位置信息。11.如权利要求7至10中任一项权利要求所述的移动体装置，其中，该控制系统，在该至少3个读头的1个的该测量光束从包含该另一第1或第2格子区域的该多个第1及第2格子区域中的至少2个脱离前，将使用该至少3个读头的该第1移动体的移动控制，切换为取代该至少3个读头的1个而使用包含已取得该修正信息的该不同读头的至少3个读头的该第1移动体的移动控制。12.如权利要求7至11中任一项权利要求所述的移动体装置，其中，该至少3个读头包含对该多个第1格子区域中的至少1个照射该测量光束的至少1个读头、与对该多个第2格子区域中的至少1个照射该测量光束的至少2个读头。13.如权利要求7至12中任一项权利要求所述的移动体装置，其中，该多个第1读头，包含于该第1方向以较该多个第1格子区域中的相邻一对第1格子区域的间隔大的间隔照射该测量光束的至少2个读头、与于该第1方向以较该多个第2格子区域中的相邻一对第2格子区域的间隔大的间隔照射该测量光束的至少2个读头。14.如权利要求7至13中任一项权利要求所述的移动体装置，其中，该多个第1及第2格子区域的各个，彼此形成在不同的多个标尺、且具有反射型的2维格子或排列方向互异的2个1维格子。15.一种移动体装置，相对第1构件使物体移动，具备：第1移动体，保持该物体，可相对该第1构件往彼此交叉的第1及第2方向移动；第2移动体，可相对该第1物体往该第2方向移动；驱动系统，使该第1及第2移动体往该第2方向移动；第1测量系统，通过多个第1读头与第1格子构件取得该第1移动体相对该第2移动体的位置信息，该多个第1读头设在该第1及第2移动体中的一方，该第1格子构件设在另一方并具有于该第1方向彼此分离配置的多个第1格子区域；第2测量系统，通过第2读头与第2格子构件取得...

【专利技术属性】
技术研发人员：青木保夫，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本,JP