A wavelength dispersive fluorescence X-ray analyzer consists of a single one-dimensional detector (10) with multiple detection elements (7) arranged in a straight line. The wavelength dispersive fluorescence X-ray analyzer includes a detector position change mechanism (11), which is used to locate a one-dimensional detector (10) at the detection element (7). Any person in the parallel position parallel to the direction of the splitting angle in the splitting element (6) and in the intersection position intersecting with the direction of the splitting angle in the splitting element (6), in the parallel position, the photosensitive surface of the one-dimensional detector (10) is located at the focal point of the convergence of the second X-ray (42), in the intersection position, the photosensitive slit (9) is located at the focal point of the convergence of the second X-ray (42). The photosensitive surface of the detector (10) is located on the moving direction side of the convergent secondary X-ray (42) separated from the light-sensitive slit (9) and the light-splitting element (6).
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】波长色散型荧光X射线分析装置相关申请本申请要求申请日为2016年9月30日，申请号为JP特愿2016－194356的申请的优先权，通过参照，将其整体作为构成本申请的一部分的内容而引用。
本专利技术涉及具有汇聚光学系统的波长色散型荧光X射线分析装置。
技术介绍
在荧光X射线分析中，为了以良好的精度测定在试样中包含的微量元素，必须要求正确地对从照射了一次X射线的试样而产生的荧光X射线的本底进行补偿。由此，在具有汇聚光学系统的波长色散型荧光X射线分析装置中，具有下述的装置，其中，设置感光狭缝，该感光狭缝具有通过单一分光元件而进行分光，在单一检测器之前邻接而设置的多个开口，切换使二次X射线通过的开口，对来自试样的荧光X射线的本底进行补偿(专利文献1)。由于该汇聚光学系统用作固定光学系统，故通常，其用于单元素用的荧光X射线分析装置，或多元素同步型荧光X射线分析装置。在几乎全部的场合，像以示意方式表示荧光X射线波谱PS和本底波谱BS的图12那样，在荧光X射线的波谱PS的某峰值区域PA和峰值接近区域BA，本底波谱BS近似线性地变化。一般，在扫描型荧光X射线分析装置中，通过在峰值...
【技术保护点】
1.一种波长色散型荧光X射线分析装置，该波长色散型荧光X射线分析装置为汇聚光学系统的波长色散型荧光X射线分析装置，其包括：X射线源，该X射线源对试样照射一次X射线；发散狭缝，该发散狭缝使由试样产生的二次X射线通过；分光元件，该分光元件对通过该发散狭缝的二次X射线进行分光，将其汇聚；单一的一维检测器，该一维检测器包括多个检测元件，该多个检测元件呈直线状排列，其感光面与通过上述分光元件对二次X射线进行汇聚而形成的汇聚二次X射线的光轴相垂直；该波长色散型荧光X射线分析装置包括检测器位置变更机构，该检测器位置变更机构用于针对一维检测器的位置，自由变更地设定在平行位置和交叉位置中的任...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.09.30 JP 2016-1943561.一种波长色散型荧光X射线分析装置，该波长色散型荧光X射线分析装置为汇聚光学系统的波长色散型荧光X射线分析装置，其包括：X射线源，该X射线源对试样照射一次X射线；发散狭缝，该发散狭缝使由试样产生的二次X射线通过；分光元件，该分光元件对通过该发散狭缝的二次X射线进行分光，将其汇聚；单一的一维检测器，该一维检测器包括多个检测元件，该多个检测元件呈直线状排列，其感光面与通过上述分光元件对二次X射线进行汇聚而形成的汇聚二次X射线的光轴相垂直；该波长色散型荧光X射线分析装置包括检测器位置变更机构，该检测器位置变更机构用于针对一维检测器的位置，自由变更地设定在平行位置和交叉位置中的任意者，该平行位置中，上述检测元件的排列方向为分光元件中的分光角度方向，该交叉位置中，上述检测元件的排列方向与上述分光元件中的分光角度方向相交叉；在上述一维检测器设定在上述平行位置的状态，上述一维检测器的感光面位于汇聚二次X射线的焦点处；在上述一维检测器设定在上述交叉位置的状态，具有开口的感光狭缝设置于汇聚二次X射线的焦点处，该开口的纵向与上述分光元件中的分光角度方向相正交，上述一维检测器的感光面位于上述感光狭缝的与上述分光元件离开的聚光二次X射线的行进方向侧。2.根据权利要求1所述的波长色散型荧光X射线分析装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：加藤秀一，山田隆，片冈由行，
申请(专利权)人：株式会社理学，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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