一种叉指结构过补偿的声表面波滤波器制造技术

本发明专利技术公开了一种叉指结构过补偿的声表面波滤波器，属于滤波器领域。该声表面波滤波器包括压电基片和在压电基片上的输入叉指换能器以及输出叉指换能器；在所述输入叉指换能器和所述输出叉指换能器中，每个叉指电极的末端增加两个方块，令所述每个叉指电极的末端呈T型；所述方块的边长大于选用的光刻机的光源波长，每个叉指电极与相邻的方块之间的间隙大于选用的光刻机的光源波长；解决了现有制作工艺下声表面波滤波器的插入损耗、相对带宽不易满足较高型能的器件的问题；达到了在不改变声表面波滤波器的设计结构、工艺和封装的前提下，减小插损、提高相对带宽、提高矩形度的效果。

An Overcompensated Surface Acoustic Wave Filter with Interdigital Structure

The invention discloses a surface acoustic wave filter with overcompensated interdigital structure, which belongs to the field of filters. The SAW filter includes a piezoelectric substrate and an input interdigital transducer and an output interdigital transducer on the piezoelectric substrate; in the input interdigital transducer and the output interdigital transducer, two blocks are added at the end of each interdigital electrode to make the end of each interdigital electrode T-shaped; the edges of the blocks are longer than the light source wavelength of the selected lithography machine, and each fork. The gap between the electrodes and adjacent blocks is larger than the light source wavelength of the selected lithographic machine; it solves the problems of insertion loss and relative bandwidth of SAW filters which are not easy to meet the requirements of high-energy devices under the existing fabrication technology; it achieves the goal of reducing insertion loss, increasing relative bandwidth and improving rectangle without changing the design structure, technology and packaging of SAW filters. The effect of degree.

【技术实现步骤摘要】
一种叉指结构过补偿的声表面波滤波器
本专利技术实施例涉及滤波器领域，特别涉及一种叉指结构过补偿的声表面波滤波器。
技术介绍
声表面波是一种沿物体表面传播的弹性波。声表面波器件具有成本低、体积小和功能多等特点，在雷达、通信、导航、识别等领域获得了广泛的应用。随着移动通信技术的不断飞速发展，声表面波滤波器具有更优越的性能、超低的插入损耗、更小尺寸的封装、高耐功率等特点是必然趋势。声表面波滤波器常规的基底材料有石英、钽酸锂、铌酸钡等压电薄膜材料，将叉指换能器通过光刻、镀膜等工艺印制在压电薄膜表面，叉指换能器在压电薄膜表面通过信号的相互转换从而达到滤波的效果。目前市场上声表面波滤波器，由于受到材料机电耦合系数、设计方案、工艺制程等因素限制，声表面波滤波器的带宽一般在中心频率的5％以下，通带内插入损耗在1db以上，而且相对带宽的矩形度也不是特别好。常规的叉指换能器的工艺制程可以满足绝大多数的器件性能指标，但针对一些要求较高的性能器件，要通过改动设计方案或者材料等来满足指标。
技术实现思路
为了解决现有技术的问题，本专利技术实施例提供了一种叉指结构过补偿的声表面波滤波器。该技术方案如下：第一方面，提供了一种叉指结构过补偿的声表面波滤波器，声表面波滤波器包括压电基片和在压电基片上的输入叉指换能器以及输出叉指换能器；在所述输入叉指换能器和所述输出叉指换能器中，每个叉指电极的末端增加两个方块，令所述每个叉指电极的末端呈T型；所述方块的边长大于选用的光刻机的光源波长，每个叉指电极与相邻的方块之间的间隙大于选用的光刻机的光源波长。可选的，所述方块的尺寸与声表面波滤波器的周期和最小的指条宽度有关。本专利技术实施例提供的技术方案带来的有益效果是：通过在声表面波滤波器中的叉指换能器的叉指电极的末端增加用于过补偿的方块，令每个叉指电极的末端呈T型，增加了叉指环能器在末端的激励，提高了声表面波在激励、传输和转换过程中的效率，解决了现有制作工艺下声表面波滤波器的插入损耗、相对带宽不易满足较高型能的器件的问题；达到了在不改变声表面波滤波器的设计结构、工艺和封装的前提下，减小插损、提高相对带宽、提高矩形度的效果。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是根据一示例性实施例示出的一种叉指换能器的局部示意图；图2是根据一示例性实施例示出的一种叉指换能器的局部示意图。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本专利技术实施方式作进一步地详细描述。本专利技术提供了一种的叉指结构过补偿的声表面波滤波器，该声表面波滤波器包括压电基片和在压电基片上的输入叉指换能器和输出叉指换能器。在输入叉指换能器和输出叉指换能器中，每个叉指电极11的末端增加两个方块12，如图1所示，每个叉指电极的末端呈T型。每个方块的边长大于选用的光刻机的光源波长，每个叉指电极与相邻的方块之前的间隙大于选用的光刻机的光源波长。如图2所示，每个叉指电极与相邻的方块之间的间隙b大于选用的光刻机的光源波长；每个方块的边长a大于选用的光刻机的光源波长。为了令在压电基片上形成的叉指换能器中叉指电极的末端呈T型，需要在光刻掩膜版的功能图形中增加相应的方块图形；利用光刻将光刻掩膜版上的图形转移到压电基片上。方块在叉指环能器的叉指电极的末端的位置还需要根据实际光刻工艺制程能力而变化。方块的尺寸与声表面波滤波器的周期和最小的指条宽度有关。只要不影响叉指电极的性能，比如造成短路等，方块的尺寸越大越好，但是方块的尺寸还要受到声表面波滤波器的周期和最小的指条宽度的限制。综上所述，本专利技术实施例通过在声表面波滤波器中的叉指换能器的叉指电极的末端增加用于过补偿的方块，令每个叉指电极的末端呈T型，增加了叉指环能器在末端的激励，提高了声表面波在激励、传输和转换过程中的效率，解决了现有制作工艺下声表面波滤波器的插入损耗、相对带宽不易满足较高型能的器件的问题；达到了在不改变声表面波滤波器的设计结构、工艺和封装的前提下，减小插损、提高相对带宽、提高矩形度的效果。此外，该种补偿方式中方块的光刻识别度高，图形的过补偿效果好，前期在对原始GDS数据处理过程中相对简单，同时可以实现多级补偿修正。在一个例子中，实现了-3db相对带宽可以提高2％以上、插损减小8.5％以上的效果。比如：一款中心频率为2442MHz，原始插入损耗为1.442db、带宽95M，加入补偿结构即令叉指电极的末端呈T型之后，插入损耗为1.592db、带宽为97M。需要说明的是：上述本专利技术实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。以上所述仅为本专利技术的较佳实施例，并不用以限制本专利技术，凡在本专利技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种叉指结构过补偿的声表面波滤波器，其特征在于，所述声表面波滤波器包括压电基片和在压电基片上的输入叉指换能器以及输出叉指换能器；在所述输入叉指换能器和所述输出叉指换能器中，每个叉指电极的末端增加两个方块，令所述每个叉指电极的末端呈T型；所述方块的边长大于选用的光刻机的光源波长，每个叉指电极与相邻的方块之间的间隙大于选用的光刻机的光源波长。

【技术特征摘要】
1.一种叉指结构过补偿的声表面波滤波器，其特征在于，所述声表面波滤波器包括压电基片和在压电基片上的输入叉指换能器以及输出叉指换能器；在所述输入叉指换能器和所述输出叉指换能器中，每个叉指电极的末端增加两个方块，令所述每个叉指电极...

【专利技术属性】
技术研发人员：李壮，韦鹏，夏明超，王绍安，张莉，
申请(专利权)人：无锡市好达电子有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32