The invention discloses a device and a method for changing the direction of an ion beam, including an ion source for emitting an ion beam, and a metal whole for adjusting the reflection direction of the ion beam, so that the angle between the reflection direction of the ion beam and the plane where the metal whole is located is the first angle of theta, and the angle of 0 degree is less than the first angle of theta<90 degrees. The invention greatly improves the performance of the product, greatly prolongs the utilization rate, reduces the cost, meets the needs of modern industry, uniformly sets spherical holes on the overall surface of the metal, increases the surface area, improves the adsorption of by-products produced by the process and can effectively heat dissipation, and is more suitable for long-term work.
【技术实现步骤摘要】
一种改变离子束方向的装置
本专利技术涉及半导体加工制造领域,具体为一种改变离子束方向的装置。
技术介绍
在芯片制造加工过程中,芯片表面需要进行离子束处理,离子束在最中间能量是均匀分布的,但是在边缘处离子束会分散出现不规则运动状况,能量分布不均匀,导致产品的边缘处表面分布不够理想,并且表面由离子撞击的产生的副产品吸附力较差,影响到工艺精度,使用周期,减弱产品的实际使用效果。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种改变离子束方向的装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种改变离子束方向的装置,包括离子源,用于发射离子束;金属整体,用于调整所述离子束的反射方向,使所述离子束的反射方向与所述金属整体所在平面之间的夹角为第一夹角θ,0°≤第一夹角θ<90°。优选的,金属整体表面均匀分布有球孔,其边缘处具有一定角度,其与金属整体所在平面之间的夹角为β。优选的,离子源具有离子偏离角度α,离子偏离角度α为离子束与金属整体之间的夹角,离子偏离角度α与金属整体对应设置。一种改变离子束方向的方法,其操作步骤包括:S1:离子源发射离子束,离子束以离子偏离角度α撞击金属整体;S2:检测当前离子束与夹角β之间的撞击力度,获取检测数值x1;S21:改变金属整体与金属整体所在平面之间的夹角为β1,离子源发射离子束,离子束以离子偏离角度α撞击金属整体,检测当前离子束与夹角β1之间的撞击力度,获取检测数值x2;S22:改变金属整体与金属整体所在平面之间的夹角为β2,离子源发射离子束,离子束以离子偏离角度α撞击金属整体,检测当前离子束与夹角β2之间的 ...
【技术保护点】
1.一种改变离子束方向的装置,其特征在于,包括:离子源,用于发射离子束;金属整体,用于调整所述离子束的反射方向,使所述离子束的反射方向与所述金属整体所在平面之间的夹角为第一夹角θ,0°≤第一夹角θ<90°。
【技术特征摘要】
1.一种改变离子束方向的装置,其特征在于,包括:离子源,用于发射离子束;金属整体,用于调整所述离子束的反射方向,使所述离子束的反射方向与所述金属整体所在平面之间的夹角为第一夹角θ,0°≤第一夹角θ<90°。2.根据权利要求1所述的一种改变离子束方向的装置,其特征在于:所述金属整体表面均匀分布有球孔,其边缘处具有一定角度,其与金属整体所在平面之间的夹角为β。3.根据权利要求1所述的一种改变离子束方向的装置,其特征在于:所述离子源具有离子偏离角度α,离子偏离角度α为离子束与金属整体之间的夹角,离子偏离角度α与金属整体对应设置。4.根据权利要求1所述的一种改变离子束方向的装置及方法,其特征在于,其操作步骤包括:S1:离子源发射离子束,离子束以离子偏离角度α撞击金属整体;S2:检...
【专利技术属性】
技术研发人员:叶文君,梁晗,
申请(专利权)人:丰豹智能科技上海有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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