一种参数化易更换的研磨头法兰制造技术

本实用新型专利技术公开了一种参数化易更换的研磨头法兰，包括柱形连接部，所述柱形连接部两端向外延伸设置第一连接板和第二连接板，所述柱形连接部的第一连接板一侧向内凹陷设置圆形的第三连接板；所述第一连接板上设置若干螺纹孔，所述第三连接板围绕圆心设置若干进气孔，所述第二连接板上设置若干底部出气孔，所述底部出气孔与所述进气孔之间分别设置一条气路相连通。本实用新型专利技术采用上述结构的一种参数化易更换的研磨头法兰，可以根据研磨头组件和动力旋转组件的型号对研磨头法兰的型号进行更改，使研磨头组件和动力旋转组件更加匹配；同时对研磨头组件和动力旋转组件无任何伤害，且不会影响研磨机的正常工作使用，对于安装拆卸维修也十分方便。装拆卸维修也十分方便。装拆卸维修也十分方便。

【技术实现步骤摘要】
一种参数化易更换的研磨头法兰


[0001]本技术涉及研磨机转接头
，尤其是涉及一种参数化易更换的研磨头法兰。

技术介绍

[0002]在半导体芯片加工过程中需要使用到研磨机进行研磨，研磨机是由动力旋转组件与研磨头组件组成的，研磨头组件和动力旋转组件是连接在一起的。
[0003]随着科技的不断更新，为了更好满足半导体芯片加工的需要，研磨头也不断进行更新换代。而更新的研磨头组件并不能与原有机器的动力旋转组件很好的连接在一起，这就使得研磨机反应速度变慢、误码率升高，对加工过程和加工产品造成很大影响。若是改变原有机器及其动力旋转组件，需要大量的人力物力，设计和加工制作的成本较大。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种参数化易更换的研磨头法兰，解决了上述
技术介绍
中更新的研磨头与原机器的动力旋转组件不匹配，影响研磨机加工效率的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供了一种参数化易更换的研磨头法兰，包括柱形连接部，所述柱形连接部两端向外延伸设置第一连接板和第二连接板，所述柱形连接部的第一连接板一侧向内凹陷设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种参数化易更换的研磨头法兰，其特征在于：包括柱形连接部，所述柱形连接部两端向外延伸设置第一连接板和第二连接板，所述柱形连接部的第一连接板一侧向内凹陷设置圆形的第三连接板；所述第一连接板上设置若干螺纹孔，所述第三连接板围绕圆心设置若干进气孔，所述第二连接板上设置若干底部出气孔，所述底部出气孔与所述进气孔之间分别设置一条气路相连通。2.根据权利要求1所述的一种参数化易更换的研磨头法兰，其特征在于：所述第一连接板与研磨机的旋转动力组件通过所述若干螺纹孔相连接。3.根据权利要求1所述的一种参数化易更换的研磨头法兰，其特征在于：所述第三连接板的进气孔内部设置螺纹，其周围环绕设置若干圆形凹槽。4.根据权利要求3所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶文君，李荣中，梁晗，
申请(专利权)人：丰豹智能科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：