基板传输单元与镀膜设备制造技术

本发明专利技术公开了一种基板传输单元与镀膜设备。基板传输单元包括传动轴、多个传输滚轮与多个轴承。这些传输滚轮分别用以传输基板。每一个传输滚轮经由对应的轴承而组装至传动轴。每一个轴承包括转子以及定子。每一个传输滚轮固定至对应的转子。定子固定至传动轴。转子与定子之间具有平行于传动轴的轴向的磁性互斥力。定子经由磁性互斥力于转子与定子之间产生的摩擦力带动转子转动。

Substrate Transmission Unit and Coating Equipment

The invention discloses a base plate transmission unit and a coating device. The base plate transmission unit comprises a transmission shaft, a plurality of transmission rollers and a plurality of bearings. These transmission rollers are used to transmit the substrate respectively. Each transmission roller is assembled to the transmission shaft via a corresponding bearing. Each bearing includes a rotor and a stator. Each transmission roller is fixed to the corresponding rotor. The stator is fixed to the drive shaft. There is an axial magnetic repulsion force parallel to the transmission shaft between the rotor and the stator. The stator rotates through the friction between the rotor and the stator caused by the magnetic mutual repulsion force.

【技术实现步骤摘要】
基板传输单元与镀膜设备
本专利技术涉及一种传输单元与镀膜设备，尤其涉及一种基板传输单元与镀膜设备。
技术介绍
现今，高效率的卷对卷工艺普遍应用于许多产品的工艺中，以降低制造成本。为了进一步提升产量而降低制造成本，在现有的卷对卷工艺设备中，会同时设置多个传输滚轮以同时传输多种基板。然而，在工艺中，各个传输滚轮所传输的基板的张力大小可能有所差异，并导致部分的基板难以精准对位或甚至松脱。若要以个别驱动各个传输滚轮的方式解决上述问题，会面临机构设计困难以及设备成本过高的问题。
技术实现思路
本专利技术提供一种基板传输单元与镀膜设备，可解决各个传输滚轮所传输的基板的张力大小有差异的问题。本专利技术的基板传输单元包括传动轴、多个传输滚轮与多个轴承。这些传输滚轮分别用以传输基板。每一个传输滚轮经由对应的轴承而组装至传动轴。每一个轴承包括转子以及定子。每一个传输滚轮固定至对应的转子。定子固定至传动轴。转子与定子之间具有平行于传动轴的轴向的磁性互斥力。定子经由磁性互斥力于转子与定子之间产生的摩擦力带动转子转动。本专利技术的镀膜设备包括如前述的基板传输单元、放卷单元、镀膜单元以及收卷单元。前述的基板为镀膜屏蔽。放卷单元用以输出目标基板。镀膜单元用以经由镀膜屏蔽而镀膜于目标基板。收卷单元用以回收镀膜完成的目标基板。基于上述，在本专利技术的基板传输单元与镀膜设备中，定子经由磁性互斥力于转子与定子之间产生的摩擦力带动转子转动。因此，转子与定子之间可适度地产生相对转动，进而达成适时调整张力大小的目的。为让本专利技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。附图说明图1是依照本专利技术一实施例的镀膜设备的示意图。图2是依照本专利技术一实施例的基板传输单元的立体示意图。图3是图2的基板传输单元的轴承处的剖面示意图。图4是图2的基板传输单元的轴承的分解示意图。图5A与图5B分别是图2的基板传输单元在调整轴承的位置的前后的示意图。图6A与图6B分别是本专利技术另一实施例的基板传输单元在调整轴承的位置的前后的示意图。【符号说明】10：基板20：目标基板100：基板传输单元110、110A：传动轴112：定位点114：定位平面120：传输滚轮130：轴承132：转子132A：筒体132B：底盘132C：第一磁铁134：定子134C：第二磁铁136：润滑油138：定位销1000：镀膜设备1200：收卷单元1300：镀膜单元1400：放卷单元1500：主滚轮1600：真空腔体M10：磁性互斥力D10：轴向F10：摩擦力C10：内腔W12：轴向壁W14：径向壁具体实施方式图1是依照本专利技术一实施例的镀膜设备的示意图。请参照图1，本专利技术一实施例的镀膜设备1000包括至少一个基板传输单元100、一放卷单元1400、一镀膜单元1300以及一收卷单元1200。本实施例中，有两个基板传输单元100是如下将介绍的本专利技术一实施例的基板传输单元100。在其他实施例中，镀膜设备1000也可以仅包括一个如下将介绍的本专利技术一实施例的基板传输单元100，而与此基板传输单元100搭配用以收放基板10的另一基板传输单元可以与基板传输单元100采用不同设计。基板传输单元100所传输的基板10为镀膜屏蔽。本实施例的基板传输单元100所传输的基板10是制作成连续条状的，且适合收纳成卷。放卷单元1400用以输出一目标基板20。镀膜单元1300用以经由镀膜屏蔽而镀膜于目标基板20。收卷单元1200用以回收镀膜完成的目标基板20。此外，依据实际需求，本实施例的镀膜设备1000可还包括一主滚轮1500或是其他组件。另外，本实施例的镀膜设备1000可还包括一真空腔体1600。镀膜单元1300位于真空腔体1600内。因此，本实施例的镀膜单元1300是在真空环境下操作，但本专利技术不局限于此。此外，本实施例的镀膜单元1300是在真空环境下对基板20进行镀膜，因此用于在镀膜时承载目标基板20的主滚轮1500也位于真空腔体1600内。另外，基板传输单元100、放卷单元1400以及收卷单元1200也可选择性地放在真空腔体1600内。图2是依照本专利技术一实施例的基板传输单元的立体示意图。请参照图2，本专利技术一实施例的基板传输单元100可应用于如图1所示的镀膜设备1000，但本专利技术不局限于此。本实施例的基板传输单元100包括一传动轴110、多个传输滚轮120与多个轴承130。每个传输滚轮120用以传输一基板10。每一个传输滚轮120经由对应的一个轴承130而组装至传动轴110。由于本实施例中是以单一传动轴110带动多个传输滚轮120，因此可以简化传动机构的设计且节省所占用的空间。每个传输滚轮120所传输的基板10可以是相同或不同的。图3是图2的基板传输单元的轴承处沿着传动轴110的轴向剖下所得的剖面示意图。请参照图2与图3，本实施例的每一个轴承130包括一转子132以及一定子134。每一个传输滚轮120固定至对应的转子132。定子134固定至传动轴110。转子132与定子134之间具有平行于传动轴110的一轴向D10的一磁性互斥力M10。换言之，转子132施加磁性互斥力M10于定子134，且定子134施加磁性互斥力M10于转子132。定子134经由磁性互斥力M10于转子132与定子134之间产生的一摩擦力F10带动转子132转动。换言之，磁性互斥力M10使定子134倾向于远离转子132，但磁性互斥力M10也将定子134压附于转子132上远离磁性互斥力M10发生的一侧的另一侧上。因此，当定子134被传动轴110带动旋转时，在定子134与转子132彼此紧密压附的接合面上便会产生摩擦力F10，而摩擦力F10带动转子132转动。摩擦力F10基本上垂直于传动轴110的轴向D10。在本实施例的基板传输单元100中，单一传动轴110带动多个传输滚轮120。在运作时，可能因为所剩余的卷料的半径大小不同或其他差异而导致不同传输滚轮120上的基板10承受不同的张力。但是，因为传输滚轮120不是直接固定于传动轴110上，所以可以允许传输滚轮120相对传动轴110转动，进而达成调整基板10所承受的张力的大小的目的，同时避免基板10与图1的目标基板20之间产生摩擦而降低合格率。而且，定子134是施加非接触式的磁性互斥力M10于转子132，因此可减少定子134与转子132可能产生的机械磨耗，避免需要频繁更换轴承130而降低产量。图4是图2的基板传输单元的轴承的分解示意图。请参照图3与图4，本实施例的每一个转子132例如包括一筒体132A以及一底盘132B。筒体132A具有一内腔C10。内腔C10具有一轴向壁W12与一径向壁W14。底盘132B组装至筒体132A。定子134配置于内腔C10内且被限位于底盘132B与径向壁W14之间。当定子134被传动轴110带动旋转时，底盘132B施加于定子134的磁性互斥力使定子134紧密压附于筒体132A的内腔C10的径向壁W14，且定子134与径向壁W14之间产生的摩擦力F10就会带动转子132转动。此外，本实施例的轴承130例如还包括润滑油136，配置于轴向壁W12与径向壁W14，用以排除机械加工精度限制以及转子132与定子134相对运动不顺畅的问题，并提供各传输滚轮120均一的传动阻力。润滑油1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板传输单元，其特征在于，包括：传动轴；多个传输滚轮，分别用以传输基板；多个轴承，其中每一该些传输滚轮经由对应的该轴承而组装至该传动轴，每一该些轴承包括：转子，其中每一该些传输滚轮固定至对应的该转子；以及定子，固定至该传动轴，其中该转子与该定子之间具有平行于该传动轴的轴向的磁性互斥力，该定子经由该磁性互斥力于该转子与该定子之间产生的摩擦力带动该转子转动。

【技术特征摘要】
2017.11.14 TW 1061392711.一种基板传输单元，其特征在于，包括：传动轴；多个传输滚轮，分别用以传输基板；多个轴承，其中每一该些传输滚轮经由对应的该轴承而组装至该传动轴，每一该些轴承包括：转子，其中每一该些传输滚轮固定至对应的该转子；以及定子，固定至该传动轴，其中该转子与该定子之间具有平行于该传动轴的轴向的磁性互斥力，该定子经由该磁性互斥力于该转子与该定子之间产生的摩擦力带动该转子转动。2.如权利要求1所述的基板传输单元，其特征在于，每一该些转子包括：筒体，具有内腔，其中该内腔具有轴向壁与径向壁；以及底盘，组装至该筒体，其中对应的该定子配置于该内腔内且被限位于该底盘与该径向壁之间，该传动轴转动时，该底盘与对应的该定子之间的该磁性互斥力使对应的该定子与该径向壁之间产生该摩擦力。3.如权利要求2所述的基板传输单元，其特征在于，该些轴承还包括润滑油，配置于该些轴向壁与该些径向壁。4.如权利要求2所述的基板传输单元，其特征在于，该些底盘螺合于该些筒体。5.如权利要求1所述的基板传输单元，其特征在于，每一该些转子具有第一磁铁，每一该些定子具有第二磁铁，该些第一磁铁与该些第二磁铁之间存在该磁性互斥力。6.如权利要求1所述的基板传输单元，其特征在于，该些轴承等距离地组装于该传动轴上。7.如权利要求1所述的基...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄国兴，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71