一种设有定向耦合器的光波导相位调制器芯片制造技术

一种设有定向耦合器的光波导相位调制器芯片，包括基片，基片上设有Y波导；Y波导包括入射光波导及与入射光波导相连接的两个分支光波导；基片上还设有定向耦合器，定向耦合器包括两个耦合光波导及两个耦合电极；每个耦合光波导与对应一个分支光波导远离入射光波导的一端相连接，每个耦合电极位于对应一个耦合光波导的一侧；两个分支光波导内的光信号分别进入到两个耦合光波导内，在两个耦合光波导内传输的光信号的消逝场发生叠加形成耦合；通过对两个耦合电极进行加电来改变耦合系数，从而实现对两个耦合光波导内的光信号的光功率的控制及输出比例的分配，从而使得两路光信号的光功率不同。

【技术实现步骤摘要】
一种设有定向耦合器的光波导相位调制器芯片
本技术涉及电光调制器
，具体涉及一种设有定向耦合器的光波导相位调制器芯片。
技术介绍
现有的光波导相位调制器芯片包括基片，基片上设有Y波导，Y波导包括入射光波导及与入射光波导相连接的两个分支光波导。入射光信号经光纤耦合后进入到入射光波导内，再分为两路光功率相同的光信号分别进入到两个分支光波导内。现有的光波导相位调制器芯片上没有设置能够改变光信号的光功率的部件，进而无法输出两路光功率不同的光信号。
技术实现思路
(一)本技术提供一种设有定向耦合器的光波导相位调制器芯片，该芯片能够输出两路光功率不同的光信号。(二)技术方案为了实现上述技术问题，本技术提供了一种设有定向耦合器的光波导相位调制器芯片，包括基片，所述基片上设有Y波导；所述Y波导包括入射光波导及与所述入射光波导相连接的两个分支光波导；所述基片上还设有定向耦合器，所述定向耦合器包括两个耦合光波导及两个耦合电极；每个耦合光波导与对应一个分支光波导远离所述入射光波导的一端相连接，每个耦合电极位于对应一个耦合光波导的一侧。本技术提供的设有定向耦合器的光波导相位调制器芯片设置在分支光波导远离入射光波导的一端设置了定向耦合器，两个分支光波导内的光信号分别进入到两个耦合光波导内，在两个耦合光波导内传输的光信号的消逝场发生叠加形成耦合。通过对两个耦合电极进行加电来改变耦合系数，从而实现对两个耦合光波导内的光信号的光功率的控制及输出比例的分配，从而使得两路光信号的光功率不同，满足输出两路光功率不同的光信号的需求。进一步地，两个所述耦合光波导平行间隔设置，两个所述耦合光波导之间的距离大于2um且小于5um，耦合效果好且光传输损耗小。进一步地，所述耦合电极在所述耦合光波导上的投影长度大于100um且小于500um，耦合效果好且光传输损耗小。进一步地，每个耦合电极位于对应一个耦合光波导远离另一个耦合光波导的一侧。进一步地，所述基片上还设有与所述定向耦合器相连接的输出光波导，所述输出光波导的数量为两个，每个输出光波导连接于对应一个耦合光波导远离所述分支光波导的一端。进一步地，所述基片上还设有第一相位调制电极和第二相位调制电极，所述第一相位调制电极包括相连接的两个第一相位调制部，每个第一相位调制部位于对应一个分支光波导的一侧；所述第二相位调制电极包括相连接的两个第二相位调制部，每个第二相位调制部位于对应一个分支光波导的一侧。进一步地，所述第一相位调制电极还包括两个第一连接部，每个第一连接部将两个所述第一相位调制部电连接起来；所述第二相位调制电极还包括第二连接部，所述第二连接部将两个所述第二相位调制部电连接起来。进一步地，每个第一连接部上还电连接有第一焊盘，所述第二连接部上电连接有第二焊盘。进一步地，所述第一相位调制电极靠近两个第一焊盘的第一相位调制部上开设有断开区，所述第二连接部穿过所述断开区，防止所述第一相位调制电极和所述第二相位调制电极相电接触，避免影响相位调制功能。附图说明本技术上述和/或附加方面的优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是本技术提供的设有定向耦合器的光波导相位调制器芯片；其中图1中附图标记与部件名称之间的对应关系为：1、基片，11、Y波导，111、入射光波导，112、分支光波导，12、定向耦合器，121、耦合光波导，122、耦合电极，123、耦合电极焊盘，13、输出光波导，14、第一相位调制电极，141、第一相位调制部，1411、断开区，142、第一连接部，143、第一焊盘，15、第二相位调制电极，151、第二连接部，152、第二焊盘。具体实施方式为了能够更清楚地理解本技术的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本技术进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。请参考图1，本技术提供了一种设有定向耦合器的光波导相位调制器芯片，包括基片1，所述基片1由铌酸锂(LiNbO3)材料制成。所述基片1上设有Y波导11，所述Y波导11包括入射光波导111及与所述入射光波导111相连接的两个分支光波导112。所述基片1上还设有定向耦合器12，所述定向耦合器12包括两个耦合光波导121及两个耦合电极122。每个耦合光波导121与对应一个分支光波导112远离所述入射光波导111的一端相连接，每个耦合电极122位于对应一个耦合光波导121的一侧。具体地，每个耦合电极122位于对应一个耦合光波导121远离另一个耦合光波导121的一侧。两个所述耦合光波导121平行间隔设置，两个所述耦合光波导121之间的距离大于2um且小于5um，耦合效果好且光传输损耗小。所述耦合电极122在所述耦合光波导121上的投影长度大于100um且小于500um，耦合效果好且光传输损耗小。每个耦合电极122与对应一个耦合光波导121之间留有间隙。每个耦合电极122上还电连接有耦合电极焊盘123。所述基片1上还设有与所述定向耦合器12相连接的输出光波导13，所述输出光波导13的数量为两个。每个输出光波导13连接于对应一个耦合光波导121远离所述分支光波导112的一端，所述输出光波导13用于输出光信号。所述基片1上还设有第一相位调制电极14和第二相位调制电极15，所述第一相位调制电极14包括相连接的两个第一相位调制部141。每个第一相位调制部141位于对应一个分支光波导112的一侧，以便于所述第一相位调制电极14能够对两个所述分支光波导112均进行相位调制。所述第二相位调制电极15包括相连接的两个第二相位调制部151，每个第二相位调制部151位于对应一个分支光波导112的一侧，以便于所述第二相位调制电极15能够对两个所述分支光波导112均进行相位调制。通过对所述第一相位调制电极14和所述第二相位调制电极15加电来改变两个所述分支光波导112的介电常数，进而改变两个所述分支光波导112内的光信号的折射率，从而对两个所述分支光波导112内的光信号进行相位调制。在本实施方式中，在每个分支光波导112位于所述Y波导11外的一侧设置一个第一相位调制部141，在每个分支光波导112位于所述Y波导11内的一侧设置一个第二相位调制部151。所述Y波导11内的一侧为两个所述分支光波导112之间的地方，所述Y波导11外的一侧为除了两个所述分支光波导112之间以外的地方。如图所示，所述Y波导11外的一侧为图1中A的方向，所述Y波导11内的一侧为图1中B的方向。可以理解地是，在其他实施方式中，所述第二相位调制电极15不分为两个第二相位调制部151，为一体式设计，设置于两个所述分支光波导112之间，也可以对两个所述分支光波导112进行相位调制。所述第一相位调制电极14还包括两个第一连接部142，每个第一连接部142将两个所述第一相位调制部141电连接起来。所述第二相位调制电极15还包括第二连接部152，所述第二连接部152将两个所述第二相位调制部151电连接起来。每个第一连接部142上还电连接有第一焊盘143，所述第二连接部152上电连接有第二焊盘153。所述第一相位调制电极14靠近两个第一焊盘143的第一相位调制部141上开设有断开区141本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种设有定向耦合器的光波导相位调制器芯片，其特征在于：包括基片，所述基片上设有Y波导；所述Y波导包括入射光波导及与所述入射光波导相连接的两个分支光波导；所述基片上还设有定向耦合器，所述定向耦合器包括两个耦合光波导及两个耦合电极；每个耦合光波导与对应一个分支光波导远离所述入射光波导的一端相连接，每个耦合电极位于对应一个耦合光波导的一侧。

【技术特征摘要】
1.一种设有定向耦合器的光波导相位调制器芯片，其特征在于：包括基片，所述基片上设有Y波导；所述Y波导包括入射光波导及与所述入射光波导相连接的两个分支光波导；所述基片上还设有定向耦合器，所述定向耦合器包括两个耦合光波导及两个耦合电极；每个耦合光波导与对应一个分支光波导远离所述入射光波导的一端相连接，每个耦合电极位于对应一个耦合光波导的一侧。2.根据权利要求1所述的设有定向耦合器的光波导相位调制器芯片，其特征在于：两个所述耦合光波导平行间隔设置，两个所述耦合光波导之间的距离大于2um且小于5um。3.根据权利要求1所述的设有定向耦合器的光波导相位调制器芯片，其特征在于：所述耦合电极在所述耦合光波导上的投影长度大于100um且小于500um。4.根据权利要求1所述的设有定向耦合器的光波导相位调制器芯片，其特征在于：每个耦合电极位于对应一个耦合光波导远离另一个耦合光波导的一侧。5.根据权利要求1所述的设有定向耦合器的光波导相位调制器芯片，其特征在于：所述基片上还设有与所述定向耦合器相连接的输出光波导，所述输出光波导的数量为两个，每个输出光波...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨彦伟，刘宏亮，曾建武，刘格，
申请(专利权)人：深圳市芯思杰智慧传感技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44