The invention discloses a metal graphene mixed integrated electrode, which comprises a graphene layer laid on the surface of an optical waveguide and a metal electrode arranged on the surface of the graphene layer; the metal electrode comprises at least two single electrodes, each of which is arranged at a certain distance on the surface of the graphene layer, and the graphene layer between adjacent two single electrodes passes through the etching site. Theorems form a certain width of discontinuity. By setting graphene layer between metal electrodes and optical waveguides, the metal graphene hybrid integrated electrode is formed. The electrode has novel structure, simple fabrication process, easy realization, and fully utilizes the advantages of metal and graphene materials. On the premise of ensuring wide-band operation of electro-optic devices, the driving voltage can be significantly reduced, which makes the present invention have a wide range of applications. Broad application prospects.
【技术实现步骤摘要】
一种金属-石墨烯混合集成电极
本专利技术涉及光通信领域，特别涉及一种金属-石墨烯混合集成的电极结构及其功能实现，可应用于电光器件。
技术介绍
在光通信领域，如何利用电信号去控制光波的传输是一个很重要的问题。通常人们利用具有电光效应的材料来实现上述的功能。电光效应是指材料的折射率在外加电场下发生变化的一种光学效应。利用电光效应实现特定功能的器件称为电光器件。电光器件在现代光纤通信系统中有着广泛的应用，如：用于光载波调制的电光调制器、用于光路切换的光开关、用于密集波分复用系统(DWDM)的光交叉波分复用器(Interleaver)等。电光器件除了光路即光波导外，还包括电路组成部分，即电极部分。电极的设计对电光器件的两个重要性能指标：工作带宽、驱动电压起着决定性的作用。在实际应用场景下，人们往往希望电光器件可由较低的电压的驱动。影响驱动电压大小的因素有很多，其中电极间距的影响最为显著。电极间距越小，在相同的电压下产生的电场就越大，从而显著降低了器件的驱动电压。然而考虑到金属材料对光的强烈吸收作用，金属电极必须和光波导保持足够大的间距。1997年以色列通用微波公司的Sam...
【技术保护点】
1.一种金属‑石墨烯混合集成电极，其特征在于，包括敷设在光波导表面的石墨烯层、及设置在所述石墨烯层表面的金属电极；所述金属电极包括至少两个单根电极，各个单根电极呈一定间距排列在所述石墨烯层表面，且相邻两个单根电极之间的石墨烯层通过刻蚀处理形成一定宽度的间断，构成刻蚀区域。
【技术特征摘要】
1.一种金属-石墨烯混合集成电极，其特征在于，包括敷设在光波导表面的石墨烯层、及设置在所述石墨烯层表面的金属电极；所述金属电极包括至少两个单根电极，各个单根电极呈一定间距排列在所述石墨烯层表面，且相邻两个单根电极之间的石墨烯层通过刻蚀处理形成一定宽度的间断，构成刻蚀区域。2.如权利要求1所述的金属-石墨烯混合集成电极，其特征在于，所述单根...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈开鑫，王梦柯，李学鹏，李俊慧，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：四川,51
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。