一种微定位工作台制造技术

本发明专利技术公开了一种微定位工作台。本发明专利技术的动平台设置于基座的上方，并分别与X向微定位机构、Y向微定位机构和Z向微定位机构连接，X向微定位机构、Y向微定位机构和Z向微定位机构分别用于调节动平台沿X轴、Y轴以及Z轴的位移，位置传感装置用于检测动平台沿X轴、Y轴以及Z轴的位移变化信息，控制系统分别与X向微定位机构、Y向微定位机构、Z向微定位机构和位置传感装置电连接。本发明专利技术的工作台通过X向微定位机构、Y向微定位机构、Z向微定位机构的具体结构和设置实现空间上六个自由度的微移动，用压电陶瓷做驱动实现微定位，末端输出可以达到微米级以上的高精度，因此使其可以广泛应用于微细作业领域。

A Micro-positioning Workbench

【技术实现步骤摘要】
一种微定位工作台
本专利技术涉及定位器械
，尤其涉及一种微定位工作台。
技术介绍
随着科技的发展，具有高精度和高稳定性的微动工作平台在现代制造技术中具有极其重要的地位，并且被视为一个国家高技术发展水平的重要标志。例如在精密机械加工、生物工程、光电监测仪器和医疗科学等对定位的精度和稳定性要求非常高。目前的微定位机构传动环节多、结构复杂、积累误差大等缺点，直接影响平台的精度。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，针对现有技术的上述不足，提出一种结构简单、积累误差小，精度高的微定位工作台。本专利技术的一种微定位工作台，包括基座、动平台、X向微定位机构、Y向微定位机构、Z向微定位机构、位置传感装置和控制系统；所述动平台设置于所述基座的上方，并分别与所述X向微定位机构、Y向微定位机构和Z向微定位机构连接，所述X向微定位机构、Y向微定位机构和Z向微定位机构分别用于调节所述动平台沿X轴、Y轴以及Z轴的位移，所述位置传感装置用于检测所述动平台沿X轴、Y轴以及Z轴的位移变化信息，所述控制系统分别与所述X向微定位机构、Y向微定位机构、Z向微定位机构和位置传感装置电连接。优选的，所述X向微定位机构包括至本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微定位工作台，其特征在于：包括基座(1)、动平台(2)、X向微定位机构(3)、Y向微定位机构(4)、Z向微定位机构(5)、位置传感装置(6)和控制系统(7)；所述动平台(2)设置于所述基座(1)的上方，并分别与所述X向微定位机构(3)、Y向微定位机构(4)和Z向微定位机构(5)连接，所述X向微定位机构(3)、Y向微定位机构(4)和Z向微定位机构(5)分别用于调节所述动平台(2)沿X轴、Y轴以及Z轴的位移，所述位置传感装置(6)用于检测所述动平台(2)沿X轴、Y轴以及Z轴的位移变化信息，所述控制系统分别与所述X向微定位机构(3)、Y向微定位机构(4)、Z向微定位机构(5)和位置传感装置(...

【技术特征摘要】
1.一种微定位工作台，其特征在于：包括基座(1)、动平台(2)、X向微定位机构(3)、Y向微定位机构(4)、Z向微定位机构(5)、位置传感装置(6)和控制系统(7)；所述动平台(2)设置于所述基座(1)的上方，并分别与所述X向微定位机构(3)、Y向微定位机构(4)和Z向微定位机构(5)连接，所述X向微定位机构(3)、Y向微定位机构(4)和Z向微定位机构(5)分别用于调节所述动平台(2)沿X轴、Y轴以及Z轴的位移，所述位置传感装置(6)用于检测所述动平台(2)沿X轴、Y轴以及Z轴的位移变化信息，所述控制系统分别与所述X向微定位机构(3)、Y向微定位机构(4)、Z向微定位机构(5)和位置传感装置(6)电连接。2.如权利要求1所述的一种微定位工作台，其特征在于：所述X向微定位机构(3)包括至少一对驱动器(8)和至少一对柔性支链(9)，每对所述驱动器(8)分别安装在所述动平台(2)X方向的两侧，并分别通过所述柔性支链(9)与所述动平台(2)对应的两侧传动连接。3.如权利要求2所述的一种微定位工作台，其特征在于：所述X向微定位机构(3)包括两对驱动器(8)和两对柔性支链(9)，每对所述驱动器(8)分别安装在所述动平台(2)X方向的两侧，且位于同一水平直线上，并分别通过所述柔性支链(9)与所述动平台(2)对应的两侧传动连接。4.如权利要求3所述的一种微定位工作台，其特征在于：所述Y向微定位机构(4)包括至少一对驱动器(8)和至少一对柔性支链(9)，每对所述驱动器(8)分别安装在所述动平台(2)Y方向的两侧，且位于同一水平直线上，并分别通过所述柔性支链(9)与所述动平台(2)对应的两侧传动连接。5.如权利要求4所述的一种微定位工作台，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王思琪，方堃，丁涛，贺秋冬，袁静，
申请(专利权)人：湖北工程学院，
类型：发明
国别省市：湖北,42