下载一种微定位工作台的技术资料

文档序号:21139936

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本发明公开了一种微定位工作台。本发明的动平台设置于基座的上方,并分别与X向微定位机构、Y向微定位机构和Z向微定位机构连接,X向微定位机构、Y向微定位机构和Z向微定位机构分别用于调节动平台沿X轴、Y轴以及Z轴的位移,位置传感装置用于检测动平台...
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