一种接触角检测模组、制作方法及检测方法技术

本发明专利技术实施例提供一种接触角检测模组、制作方法及检测方法，其中接触角检测模组包括：相对设置的第一基板和第二基板；第一基板包括：第一衬底基板、位于第一衬底基板上的薄膜晶体管阵列、覆盖薄膜晶体管阵列的平坦化层，以及位于平坦化层上的光电探测器阵列，光电探测器阵列包括多个可单独寻址的光电探测器；第二基板包括：导光板、位于导光板上的准直光栅阵列，覆盖准直光栅阵列的低折射率层，低折射率层的折射率小于预设阈值；接触角检测模组还包括：位于导光板入光侧的光源；位于光源出光侧的可控光栅结构，可控光栅结构用于控制光源出射光线的出射角度。降低了人工参与程度，提高了测试精度和测试效率。

A Contact Angle Detection Module, Fabrication Method and Detection Method

The embodiment of the present invention provides a contact angle detection module, a fabrication method and a detection method, in which the contact angle detection module comprises a first substrate and a second substrate relatively arranged; the first substrate comprises a first substrate substrate, a thin film transistor array located on the first substrate, a flattened layer covering the thin film transistor array, and a photoelectric detection located on the flattening layer. The second substrate includes a light guide plate, a collimated grating array located on the light guide plate, covering a low refractive index layer of the collimated grating array, and the refractive index of the low refractive index layer is less than the preset threshold; the contact angle detection module also includes a light source located at the light guide plate's entry side; a controllable light source located at the light source's exit side. The grating structure and controllable grating structure are used to control the angle of light source. It reduces the degree of manual participation and improves the testing accuracy and efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种接触角检测模组、制作方法及检测方法
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种接触角检测模组、制作方法及检测方法。
技术介绍
在显示器件制造过程中，功能薄膜表面的浸润性(疏水性或亲水性)对工艺制作以及器件功能起着关键作用，比如对于数字微流控器件，微液滴接触表面要求具有强的疏水特性，以便降低驱动电压；对于氧化铟锡(Indiumtinoxide，简称ITO)膜层的湿法刻蚀工艺，ITO膜层表面需要强的亲水特性，便于刻蚀液与ITO表面接触等。目前，膜层表面接触角的测试采用半自动测试。测试过程中，测试设备控制注射器在膜层表面滴下一滴检测液体，然后摄像机捕捉液滴与膜层界面的图片，然后人工操作软件量取接触角度，这种测试方法不仅耗时，而且人工测试误差较大。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种接触角检测模组、制作方法及检测方法，以解决现有技术中在对接触角进行检测时，存在耗时且检测误差大的问题。为了达到上述目的，本专利技术一方面提供一种接触角检测模组，其特征在于，包括：相对设置的第一基板和第二基板；所述第一基板包括：第一衬底基板、位于所述第一衬底基板上的薄膜晶体管阵列、覆盖所述薄膜晶体管阵列的平坦化层，以及位于所述平坦化层上的光电探测器阵列，所述光电探测器阵列包括多个可单独寻址的光电探测器；所述第二基板包括：导光板、位于所述导光板上的准直光栅阵列，覆盖所述准直光栅阵列的低折射率层，所述低折射率层的折射率小于预设阈值；所述接触角检测模组还包括：位于所述导光板入光侧的光源；位于所述光源出光侧的可控光栅结构，所述可控光栅结构用于控制光源出射光线的出射角度。进一步的，所述准直光栅阵列在所述第一基板上的正投影位于所述光电探测器阵列在所述第一基板上的正投影所在区域内。进一步的，还包括控制模块，用于控制所述第一基板在垂直于所述第一基板的方向上移动。进一步的，所述薄膜晶体管阵列包括N个薄膜晶体管，所述光电探测器阵列包括N个光电探测器，N个薄膜晶体管与N个光电探测器一一对应设置，所述薄膜晶体管的源极或者漏极与所述薄膜晶体管所对应的光电探测器的上电极接触，N为正整数。本专利技术另一方面提供一种接触角检测模组制作方法，包括：制作第一基板；制作第二基板；其中，所述制作第一基板包括：在第一衬底基板上制作薄膜晶体管阵列；制作覆盖所述薄膜晶体管阵列的平坦化层；在所述平坦化层上制作光电探测器阵列；所述制作第二基板包括：在导光板上制作准直光栅阵列；在所述准直光栅阵列上覆盖低折射率层，其中，所述低折射率层的折射率小于预设阈值；在所述导光板入光侧处设置光源；在所述光源出光侧设置可控光栅结构，所述可控光栅结构用于控制光源出射光线的出射角度。进一步的，所述准直光栅阵列在所述第一基板上的正投影位于所述光电探测器阵列在所述第一基板上的正投影所在区域内。进一步的，在制作第一基板之后，还包括：提供一控制模块，控制模块用于控制所述第一基板在垂直于所述第一基板的方向上移动。本专利技术还提供一种接触角检测方法，应用于上述的接触角检测模组，所述方法包括：将待测透明基板放置在第二基板上，所述待测透明基板上放置有检测液滴，所述检测液滴为检测液体滴在待测透明基板形成的液滴；所述检测液滴在所述第二基板上的正投影位于准直光栅阵列在所述第二基板上的正投影所在区域内；控制第一基板移动至目标位置，其中，所述第一基板位于所述目标位置处时，光电探测器阵列检测到折射光线的汇聚点；所述汇聚点为光线经过所述检测液滴折射后所述折射光线汇聚成的点；确定所述检测液滴的半径；获取所述第一基板与所述待测透明基板之间的距离；根据所述半径和所述距离，确定接触角。进一步的，所述确定检测液滴的半径，包括：确定第一位置点，所述第一位置点为第一光线在所述光电探测器阵列上的入射位置点，所述第一光线为入射角小于预设角的光线；将所述第一位置点中距离所述汇聚点最近的点确定为第一子位置点；根据所述汇聚点和所述第一子位置点，确定所述检测液滴的半径。进一步的，所述根据所述汇聚点和所述第一子位置点，确定所述检测液滴的半径，包括：确定所述汇聚点所在的第一光电探测器，以及第一子位置点所在的第二光电探测器，其中，所述光电探测器阵列包括所述第一光电探测器和所述第二光电探测器；将所述第一光电探测器和所述第二光电探测器之间的距离，确定为所述检测液滴的半径。本专利技术实施例中，本实施例提供的接触角检测模组，包括相对设置的第一基板和第二基板；所述第一基板包括：第一衬底基板、位于所述第一衬底基板上的薄膜晶体管阵列、覆盖所述薄膜晶体管阵列的平坦化层，以及位于所述平坦化层上的光电探测器阵列，所述光电探测器阵列包括多个可单独寻址的光电探测器；所述第二基板包括：导光板、位于所述导光板上的准直光栅阵列，覆盖所述准直光栅阵列的低折射率层，所述低折射率层的折射率小于预设阈值；所述接触角检测模组还包括：位于所述导光板入光侧的光源；位于所述光源出光侧的可控光栅结构，所述可控光栅结构用于控制光源出射光线的出射角度。通过光电探测器阵列对入射至其上的光线的偏折角度和光线的光信号强度进行检测，以确定检测液滴的中心点和边缘点，使得后续可根据中心点和边缘点来计算获得接触角，降低了人工参与程度，提高了测试精度和测试效率。附图说明图1是本专利技术实施例提供的接触角检测模组的一种结构图；图2是接触角示意图；图3是本专利技术实施例提供的接触角检测模组制作方法的流程图；图4是本专利技术实施例提供的接触角检测方法的流程图。具体实施方式为使本专利技术要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。实施例一请参见图1，图1是本专利技术实施例提供的一种接触角检测模组的结构图，如图1所示，本实施例提供一种接触角检测模组，包括：相对设置的第一基板1和第二基板2；所述第一基板1包括：第一衬底基板11、位于所述第一衬底基板11上的薄膜晶体管阵列(由多个薄膜晶体管12组成)、覆盖所述薄膜晶体管阵列的平坦化层13，以及位于所述平坦化层13上的光电探测器阵列，所述光电探测器阵列包括多个可单独寻址的光电探测器14；所述第二基板2包括：导光板21、位于所述导光板21上的准直光栅阵列(由多个准直光栅22组成)，覆盖所述准直光栅阵列的低折射率层23，所述低折射率层23的折射率小于预设阈值；所述接触角检测模组还包括：位于所述导光板21入光侧的光源5；位于所述光源5出光侧的可控光栅结构6，所述可控光栅结构6用于控制光源5出射光线的出射角度。第一衬底基板11上设置有薄膜晶体管阵列，薄膜晶体管阵列包括多个薄膜晶体管12，各个薄膜晶体管12之间留有空隙。平坦化层13覆盖在薄膜晶体管阵列上，并且填充各个薄膜晶体管12之间的空隙。光电探测器14阵列设置在平坦化层13上。光电探测器阵列包括多个光电探测器14，光电探测器14可以是硅基PIN光电探测器、或者有机PIN光电探测器、或者其他光电探测器。薄膜晶体管阵列包括N个薄膜晶体管12，光电探测器阵列包括N个光电探测器14，N个薄膜晶体管12与N个光电探测器14一一对应设置，每个薄膜晶体管12的源极或者漏极与该薄膜晶体管12所对应的光电探测器14的上电极141接触，N为正整数。单个准直光栅22的宽度为几十纳米或者几个微米，光电探测器14的尺寸在制作上很难与准直光栅22的尺寸一致，在本实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种接触角检测模组，其特征在于，包括：相对设置的第一基板和第二基板；所述第一基板包括：第一衬底基板、位于所述第一衬底基板上的薄膜晶体管阵列、覆盖所述薄膜晶体管阵列的平坦化层，以及位于所述平坦化层上的光电探测器阵列，所述光电探测器阵列包括多个可单独寻址的光电探测器；所述第二基板包括：导光板、位于所述导光板上的准直光栅阵列，覆盖所述准直光栅阵列的低折射率层，所述低折射率层的折射率小于预设阈值；所述接触角检测模组还包括：位于所述导光板入光侧的光源；位于所述光源出光侧的可控光栅结构，所述可控光栅结构用于控制光源出射光线的出射角度。

【技术特征摘要】
1.一种接触角检测模组，其特征在于，包括：相对设置的第一基板和第二基板；所述第一基板包括：第一衬底基板、位于所述第一衬底基板上的薄膜晶体管阵列、覆盖所述薄膜晶体管阵列的平坦化层，以及位于所述平坦化层上的光电探测器阵列，所述光电探测器阵列包括多个可单独寻址的光电探测器；所述第二基板包括：导光板、位于所述导光板上的准直光栅阵列，覆盖所述准直光栅阵列的低折射率层，所述低折射率层的折射率小于预设阈值；所述接触角检测模组还包括：位于所述导光板入光侧的光源；位于所述光源出光侧的可控光栅结构，所述可控光栅结构用于控制光源出射光线的出射角度。2.根据权利要求1所述的接触角检测模组，其特征在于，所述准直光栅阵列在所述第一基板上的正投影位于所述光电探测器阵列在所述第一基板上的正投影所在区域内。3.根据权利要求1所述的接触角检测模组，其特征在于，还包括控制模块，用于控制所述第一基板在垂直于所述第一基板的方向上移动。4.根据权利要求1所述的接触角检测模组，其特征在于，所述薄膜晶体管阵列包括N个薄膜晶体管，所述光电探测器阵列包括N个光电探测器，N个薄膜晶体管与N个光电探测器一一对应设置，所述薄膜晶体管的源极或者漏极与所述薄膜晶体管所对应的光电探测器的上电极接触，N为正整数。5.一种接触角检测模组制作方法，其特征在于，包括：制作第一基板；制作第二基板；其中，所述制作第一基板包括：在第一衬底基板上制作薄膜晶体管阵列；制作覆盖所述薄膜晶体管阵列的平坦化层；在所述平坦化层上制作光电探测器阵列；所述制作第二基板包括：在导光板上制作准直光栅阵列；在所述准直光栅阵列上覆盖低折射率层，其中，所述低折射率层的折射率小于预设阈值；在所述导光板入光侧处设置光源；在所述光源出光侧设置可控光栅结构，所述可控光栅结构用于控制光源出射光线的出射角度...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗雯倩，李响，布占场，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11