一种高纯氮气纯化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种高纯氮气纯化装置，包括安装座，所述安装座的顶部外壁开有凹槽，且凹槽的内壁设置有吸附罐，所述吸附罐的顶部外壁设置有导气管，且导气管远离吸附罐的一侧外壁焊接有反应釜，所述安装座的顶部外壁设置有支撑柱，且支撑柱的顶部外壁和反应釜的底部外壁焊接，所述反应釜的一侧内壁焊接有导热板，且导热板的顶部外壁放置有磷粉，所述反应釜的一侧内壁设置有电热丝。本实用新型专利技术延长高纯氮气通过活性炭的接触时间，确保高纯氮气中的微量烷烃类、油类杂质被彻底吸附，可以氧气消耗完毕，并且氧气与磷粉的反应产物可以回收用于磷酸类产品的加工，同时硅胶板吸水后通过干燥可以重复利用，节约了成本。

A High Purity Nitrogen Purification Device

The utility model discloses a high purity nitrogen purification device, which comprises a mounting seat. The top outer wall of the mounting seat is provided with a groove, and the inner wall of the groove is provided with an adsorption tank. The top outer wall of the adsorption tank is provided with a gas guide pipe, and the gas guide pipe is welded away from one side outer wall of the adsorption tank. The top outer wall of the mounting seat is provided with a support column, and the top outer wall of the support column is provided with a reaction kettle. The bottom outer wall of the wall and the reactor is welded. The inner wall of one side of the reactor is welded with a heat conducting plate, and the top outer wall of the heat conducting plate is placed with phosphorus powder, and the inner wall of one side of the reactor is provided with an electric heating wire. The utility model prolongs the contact time of high-purity nitrogen through activated carbon, ensures that trace alkanes and oil impurities in high-purity nitrogen are thoroughly adsorbed, oxygen can be consumed, and the reaction products of oxygen and phosphorus powder can be recycled for the processing of phosphoric acid products, and the silica gel plate can be reused by drying after absorbing water, thus saving cost.

【技术实现步骤摘要】
一种高纯氮气纯化装置
本技术涉及氮气纯化
，尤其涉及一种高纯氮气纯化装置。
技术介绍
在半导体工业过程中，经常需要氢气、氮气、惰性气体等作为辅料，并且需要这些气体具有“超高纯度”，尤其是需要具有极低含量的氧气、水、二氧化碳、一氧化碳等杂质。目前，从高纯氮气的生产工艺中，不可避免的会带入微量的烷烃类、油脂类杂质，当高纯氮气直接与高纯试剂产品接触时，微量的烷烃类、油脂类杂质更易溶于高纯试剂等有机溶剂，会对高纯试剂产品造成二次污染，导致高纯试剂产品质量不合格，并且现有的制备工艺中，用于吸收杂质的金属液体在吸附完杂质后不能重复利用，造成了资源浪费，因此，亟需设计一种高纯氮气纯化装置来解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种高纯氮气纯化装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种高纯氮气纯化装置，包括安装座，所述安装座的顶部外壁开有凹槽，且凹槽的内壁设置有吸附罐，所述吸附罐的顶部外壁设置有导气管，且导气管远离吸附罐的一侧外壁焊接有反应釜，所述安装座的顶部外壁设置有支撑柱，且支撑柱的顶部外壁和反应釜的底部外壁焊接，所述反应釜的一侧内壁焊接有导热板，且导热板的顶部外壁放置有磷粉，所述反应釜的一侧内壁设置有电热丝，且电热丝位于导热板下方，所述反应釜的底部外壁设置有连接管，且连接管的外壁通过螺栓连接有止回阀，所述安装座的顶部外壁设置有立柱，且立柱的顶部外壁焊接有干燥筒，所述干燥筒的顶部外壁和连接管的一侧外壁焊接。作为本技术再进一步的方案：所述干燥筒的顶部外壁设置有干燥管，且干燥管的内壁设置有若干等距离的分布的分子筛。作为本技术再进一步的方案：所述安装座的顶部外壁设置有收集罐，且收集罐的顶部外壁和干燥管的底部外壁焊接。作为本技术再进一步的方案：所述收集罐的一侧外壁开有螺纹槽，且螺纹槽的内壁螺纹连接有出气管，出气管的外壁通过螺栓连接有控制阀。作为本技术再进一步的方案：所述吸附罐的一侧外壁开有螺纹孔，且螺纹孔的内壁螺纹连接有进气管。作为本技术再进一步的方案：所述吸附罐的两侧内壁均设置有若干等距离分布的导流板，且导流板的顶部外壁粘接有活性炭吸附板。作为本技术再进一步的方案：所述干燥筒的一侧内壁设置有隔板，且隔板的顶部外壁开有若干等距离分布的通气孔，干燥筒的一侧内壁焊接有硅胶板，且硅胶板分为上中下三层板。本技术的有益效果为：1.通过设置的吸附罐、导流板和活性炭吸附板，可以延长通过吸附罐的吸附路径，延长高纯氮气通过活性炭的接触时间，确保高纯氮气中的微量烷烃类、油类杂质被彻底吸附；2.通过设置的反应釜、导热板和电热丝，可以使混有氧气的氮气与导热板上的磷粉反生反应，将氧气消耗完毕，并且氧气与磷粉的反应产物可以回收用于磷酸类产品的加工；3.通过设置的干燥筒、硅胶板和分子筛，位于干燥筒中的水可以除去高纯氮气中溶于水的成分，然后再经过硅胶板和分子筛双重干燥，将高纯氮气中的水份去除，同时硅胶板吸水后通过干燥可以重复利用，节约了成本。附图说明图1为本技术提出的一种高纯氮气纯化装置的主视结构示意图；图2为本技术提出的一种高纯氮气纯化装置的吸附罐结构示意图；图3为本技术提出的一种高纯氮气纯化装置的干燥筒结构示意图。图中：1安装座、2吸附罐、3导气管、4反应釜、5导热板、6电热丝、7干燥管、8分子筛、9干燥筒、10收集罐、11控制阀、12出气管、13立柱、14止回阀、15连接管、16支撑柱、17进气管、18导流板、19活性炭吸附板、20硅胶板、21隔板、22通气孔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参照图1-3，一种高纯氮气纯化装置，包括安装座1，安装座1的顶部外壁开有凹槽，且凹槽的内壁焊接有吸附罐2，吸附罐2的顶部外壁焊接有导气管3，且导气管3远离吸附罐2的一侧外壁焊接有反应釜4，安装座1的顶部外壁焊接有支撑柱16，且支撑柱16的顶部外壁和反应釜4的底部外壁焊接，反应釜4的一侧内壁焊接有导热板5，且导热板5的顶部外壁放置有磷粉，反应釜4的一侧内壁焊接有电热丝6，且电热丝6位于导热板5下方，反应釜4的底部外壁焊接有连接管15，且连接管15的外壁通过螺栓连接有止回阀14，安装座1的顶部外壁焊接有立柱13，且立柱13的顶部外壁焊接有干燥筒9，干燥筒9的顶部外壁和连接管15的一侧外壁焊接。本技术中，干燥筒9的顶部外壁焊接有干燥管7，且干燥管7的内壁设置有若干等距离的分布的分子筛8，安装座1的顶部外壁焊接有收集罐10，且收集罐10的顶部外壁和干燥管7的底部外壁焊接，收集罐10的一侧外壁开有螺纹槽，且螺纹槽的内壁螺纹连接有出气管12，出气管12的外壁通过螺栓连接有控制阀11，吸附罐2的一侧外壁开有螺纹孔，且螺纹孔的内壁螺纹连接有进气管17，吸附罐2的两侧内壁均焊接有若干等距离分布的导流板18，且导流板18的顶部外壁粘接有活性炭吸附板19，干燥筒9的一侧内壁焊接有隔板21，且隔板21的顶部外壁开有若干等距离分布的通气孔22，干燥筒9的一侧内壁焊接有硅胶板20，且硅胶板20分为上中下三层板。工作原理：使用时，将待纯化的氮气通过导气管3导入吸附罐2内，经过导流板18上的活性炭吸附板19进行层层吸附，使氮气中的微量烷烃类、油类杂质被彻底吸附，然后氮气再通过导气管3被导入反应釜4内，通过电热丝6将导热板5的温度升至20～80℃，位于导热板5上的磷粉可以与气体中的氧气发生反应，去除氧气，经过反应釜4反应后的气体再通过连接管15导入干燥筒9内，干燥筒9的底部盛有水溶液，可以除去气体中溶于水中的成分，然后气体再经过硅胶板20进行层层干燥，将水份去除，最后纯化过后的高纯氮气通过干燥管7导入收集罐10内，干燥管7中的分子筛8可以对气体进行二次干燥。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高纯氮气纯化装置，包括安装座(1)，其特征在于，所述安装座(1)的顶部外壁开有凹槽，且凹槽的内壁设置有吸附罐(2)，所述吸附罐(2)的顶部外壁设置有导气管(3)，且导气管(3)远离吸附罐(2)的一侧外壁焊接有反应釜(4)，所述安装座(1)的顶部外壁设置有支撑柱(16)，且支撑柱(16)的顶部外壁和反应釜(4)的底部外壁焊接，所述反应釜(4)的一侧内壁焊接有导热板(5)，且导热板(5)的顶部外壁放置有磷粉，所述反应釜(4)的一侧内壁设置有电热丝(6)，且电热丝(6)位于导热板(5)下方，所述反应釜(4)的底部外壁设置有连接管(15)，且连接管(15)的外壁通过螺栓连接有止回阀(14)，所述安装座(1)的顶部外壁设置有立柱(13)，且立柱(13)的顶部外壁焊接有干燥筒(9)，所述干燥筒(9)的顶部外壁和连接管(15)的一侧外壁焊接。

【技术特征摘要】
1.一种高纯氮气纯化装置，包括安装座(1)，其特征在于，所述安装座(1)的顶部外壁开有凹槽，且凹槽的内壁设置有吸附罐(2)，所述吸附罐(2)的顶部外壁设置有导气管(3)，且导气管(3)远离吸附罐(2)的一侧外壁焊接有反应釜(4)，所述安装座(1)的顶部外壁设置有支撑柱(16)，且支撑柱(16)的顶部外壁和反应釜(4)的底部外壁焊接，所述反应釜(4)的一侧内壁焊接有导热板(5)，且导热板(5)的顶部外壁放置有磷粉，所述反应釜(4)的一侧内壁设置有电热丝(6)，且电热丝(6)位于导热板(5)下方，所述反应釜(4)的底部外壁设置有连接管(15)，且连接管(15)的外壁通过螺栓连接有止回阀(14)，所述安装座(1)的顶部外壁设置有立柱(13)，且立柱(13)的顶部外壁焊接有干燥筒(9)，所述干燥筒(9)的顶部外壁和连接管(15)的一侧外壁焊接。2.根据权利要求1所述的一种高纯氮气纯化装置，其特征在于，所述干燥筒(9)的顶部外壁设置有干燥管(7)，且干燥管(7)的内壁设置有若干等距离的分布的分子筛(8)...

【专利技术属性】
技术研发人员：李倩，张步云，王啸天，徐道林，
申请(专利权)人：烟台明炬气体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37