基板载台制造技术

本发明专利技术提供一种基板载台，其包括载台主体，用于承载基板；抚平构件，用于抚平基板的弯曲区域，使得所述基板贴附所述载台主体；这样在基板发生翘曲时，通过抚平构件将基板抚平，从而保证基板整体贴附在载台主体上，解决了基板弯曲导致基板无法完全贴附在载台上的技术问题。

Substrate carrier

The invention provides a base plate platform, which comprises a carrier body for carrying the base plate; a flattening member for flattening the bending area of the base plate so that the base plate is attached to the main body of the platform; thus, when the base plate warps, the base plate is flattened by flattening the component, thereby ensuring that the whole base plate is attached to the main body of the platform, thereby solving the problem that the base plate can not be completely attached due to the bending of the base plate. Technical problems on the platform.

【技术实现步骤摘要】
基板载台
本专利技术涉及显示面板加工领域，尤其涉及一种基板载台。
技术介绍
当镀膜基板放置于载台时，如图1所示，由于基板发生翘曲，边缘部分的基板会脱离平台，由于基板翘曲的原因会导致基板无法完全贴附在载台上。即存在基板弯曲导致基板无法完全贴附在载台上的技术问题。
技术实现思路
本专利技术提供一种基板载台，以解决基板弯曲导致基板无法完全贴附在载台上的技术问题。为解决上述问题，本专利技术提供的技术方案如下：本专利技术实施例提供一种基板载台，该基板载台包括载台主体，用于承载基板；抚平构件，用于抚平基板的弯曲区域，使得所述基板贴附所述载台主体。在本专利技术提供的基板载台中，所述抚平构件包括控制组件和喷气组件，所述控制组件控制喷气组件向弯曲区域喷气。在本专利技术提供的基板载台中，所述控制组件包括阀门，用于控制气体是否通过喷气组件喷出。在本专利技术提供的基板载台中，所述控制组件包括控制器和阀门，所述控制器用于控制阀门开关。在本专利技术提供的基板载台中，所述控制器用于根据基板的弯曲状态控制阀门开关。在本专利技术提供的基板载台中，所述控制组件包括距离传感器，所述距离传感器用于确定所述基板的弯曲状态。在本专本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板载台，其特征在于，包括；载台主体，用于承载基板；抚平构件，用于抚平基板的弯曲区域，使得所述基板贴附所述载台主体。

【技术特征摘要】
1.一种基板载台，其特征在于，包括；载台主体，用于承载基板；抚平构件，用于抚平基板的弯曲区域，使得所述基板贴附所述载台主体。2.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，所述抚平构件包括控制组件和喷气组件，所述控制组件控制喷气组件向弯曲区域喷气。3.根据权利要求2所述的基板载台，其特征在于，所述控制组件包括阀门，用于控制气体是否通过喷气组件喷出。4.根据权利要求2所述的基板载台，其特征在于，所述控制组件包括控制器和阀门，所述控制器用于控制阀门开关。5.根据权利要求4所述的基板载台，其特征在于，所述控制器用于根据基板的弯曲状态控制阀门开关。6.根据权利要求4所述的基板载台，...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄秋平，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44