下载基板载台的技术资料

文档序号:21102926

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本发明提供一种基板载台,其包括载台主体,用于承载基板;抚平构件,用于抚平基板的弯曲区域,使得所述基板贴附所述载台主体;这样在基板发生翘曲时,通过抚平构件将基板抚平,从而保证基板整体贴附在载台主体上,解决了基板弯曲导致基板无法完全贴附在载台上...
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