【技术实现步骤摘要】
一种静电吸附面板
本技术属于吸附面板
,尤其涉及一种静电吸附面板。
技术介绍
静电吸附的原理主要是在导电电极施加高压电(电场通常在1kV/mm左右的范围)后电极上生产出大量自由电荷,自由电荷激发产生的电场使壁面极化而产生极化电荷,利用电极和壁面上极性相反电荷间的电场力作用实现吸附。它已经广泛使用于夹具夹持工件、航天任务粘接、半导体行业中物料输送和抓取、夹持先进的复合材料和纤维材料(如布和碳纤维)的末端效应器、制造自动化和仓库自动化的攀登机器人和材料处理单元的粘合机构。静电吸附是一个复杂和动态的静电吸引现象,电介质材料的电阻率、厚度、介电常数、电介质强度、表面纹路、分子结构、分子质量、分子极性、结晶度及其电负性,电极的图形、间距、宽度、厚度、长度、导电率以及供电电压大小、电压极性和输出电流,基板材料的厚度、表面结构、介电常数、电负性、电阻率、结晶度、分子结构、分子量和分子极化率,以及使用环境的温度、湿度、压力、静电吸附垫和基板间的空气间隙和污染物等近30多个因素都对静电吸附面板表面的静电吸附力大小有影响。根据现有理论研究表明,单个平行板电容间电场静电力大小为: ...
【技术保护点】
1.一种静电吸附面板,包括由上到下依次设置的功能介质层(1)、绝缘层(2)、阻隔层(3)、电极层(4)和绝缘基板层(5)以及置于静电吸附面板内的导电杆(6)和静电电源(7),其特征在于:所述功能介质层(1)、绝缘层(2)和阻隔层(3)为采取精密控制厚度的多层复合结构,其中阻隔层(3)完整地无缝隙地覆盖在电极层(4)表面,且与绝缘层(2)紧密、无缝衔接;所述绝缘层(2)和电极层(4)在水平方向采取平行交叉互补设置结构。
【技术特征摘要】
1.一种静电吸附面板,包括由上到下依次设置的功能介质层(1)、绝缘层(2)、阻隔层(3)、电极层(4)和绝缘基板层(5)以及置于静电吸附面板内的导电杆(6)和静电电源(7),其特征在于:所述功能介质层(1)、绝缘层(2)和阻隔层(3)为采取精密控制厚度的多层复合结构,其中阻隔层(3)完整地无缝隙地覆盖在电极层(4)表面,且与绝缘层(2)紧密、无缝衔接;所述绝缘层(2)和电极层(4)在水平方向采取平行交叉互补设置结构。2.根据权利要求1所述的一种静电吸附面板,其特征在于:所述功能介质层(1)由1~2层功能性绝缘材料复合组成,其整体厚度为0.001~0.025mm;所述绝缘层(2)由2~9层绝缘材料复合组成,其整体厚度为0.005~1.0mm;所述阻隔层(3)厚度为0.001~.01mm。3.根据权利要求1或2所述一种静电吸附面板,其特征在于:所述电极层(4)的电极结构由一套或多套平行交叉的电极对组构成;所述单对电极宽度为15~50mm,单对电极间的绝缘间距为0.5~8.0mm,电极层厚度为0~0....
【专利技术属性】
技术研发人员:宋红兵,
申请(专利权)人:成都同明创新科技有限公司,
类型:新型
国别省市:四川,51
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