一种气体传感器敏感材料的制作方法技术

本发明专利技术公开了一种气体传感器敏感材料的制作方法，包括如下步骤，掺杂步骤：向纳米金属氧化物中加入掺杂料进行掺杂，得到掺杂粉体，备用；有机载体配制步骤：将高沸点溶剂、耐高温树脂、分散剂和润湿剂混合，物理分散处理，得到有机载体；混合步骤：将掺杂粉体均分为三份，依次加入有机载体中，搅拌分散，得到气体传感器敏感材料。本发明专利技术通过该制作方法得到的气体传感器敏感材料不需要较高的固化温度，即对微热板悬膜没有太高要求，且材料粘度可调，适配不同的点胶工艺，成膜厚度小，吸附/脱附速率快，灵敏度高，长期稳定性优良。

A Fabrication Method of Sensitive Materials for Gas Sensors

【技术实现步骤摘要】
一种气体传感器敏感材料的制作方法
本专利技术涉及传感器领域，尤其涉及一种气体传感器敏感材料的制作方法。
技术介绍
由于近年来的环境污染等问题日益加剧，气体传感器有了更大的存在意义。而除此之外，工业事故、食品质量、交通安全等等方面存在的问题，也需要气体传感器来探测相对应的气体浓度。由于气体传感器的使命更加重大，对气体传感器性能的要求也随之加大了，即在灵敏度、检测上下限这些指标上要有提升。气体传感器有很多种，包括金属氧化物半导体类(MOS)、电化学类、固体电解质类、催化燃烧热类及表面声学波等类型。其中，半导体气敏传感器由于灵敏度高、成本低、性能稳定等优点是目前研究最多、使用最广泛的气敏器件，特别是结合先进的微电子机械系统(MEMS)工艺，大幅度降低功耗，使其应用场景更加广泛。目前商用半导体金属氧化物气体传感器几乎被国外品牌垄断，如日本Figaro、奥地利AMS、英国SGX、英国Cambridge等，主要技术难点在于敏感材料的制备，一方面要求保证气敏材料对气体的灵敏性和长期稳定性；另一方面在于气敏材料与目前的MEMS工艺结合，实现微量点涂在基板微小区域内且具有长期的附着力。气敏材料一般添加本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体传感器敏感材料的制作方法，其特征在于包括如下步骤，掺杂步骤：向纳米金属氧化物中加入掺杂料进行掺杂，得到掺杂粉体，备用；有机载体配制步骤：将高沸点溶剂、耐高温树脂、分散剂和润湿剂混合，物理分散处理，得到有机载体；混合步骤：将掺杂粉体均分为三份，依次加入有机载体中，搅拌分散，得到气体传感器敏感材料。

【技术特征摘要】
1.一种气体传感器敏感材料的制作方法，其特征在于包括如下步骤，掺杂步骤：向纳米金属氧化物中加入掺杂料进行掺杂，得到掺杂粉体，备用；有机载体配制步骤：将高沸点溶剂、耐高温树脂、分散剂和润湿剂混合，物理分散处理，得到有机载体；混合步骤：将掺杂粉体均分为三份，依次加入有机载体中，搅拌分散，得到气体传感器敏感材料。2.如权利要求1所述的气体传感器敏感材料的制作方法，其特征在于，掺杂步骤中，纳米金属氧化物为氧化钨、氧化锌或氧化锡，掺杂料为金、钯或氧化钛。3.如权利要求1所述的气体传感器敏感材料的制作方法，其特征在于，掺杂步骤中，纳米金属氧化物和掺杂料的质量比为100：(0.5-3)。4.如权利要求1所述的气体传感器敏感材料的制作方法，其特征在于，有机载体配制步骤中，有机载体是以如下质量百分比的组分混合而成：耐高温树脂10-30％，分散剂0.5-1.5％，润湿剂0.5-1％，余量为高沸点溶剂，上述组分的质量百分比之和为1...

【专利技术属性】
技术研发人员：张宾，
申请(专利权)人：广州奥松电子有限公司，张宾，
类型：发明
国别省市：广东,44