一种真空泵停止后再启动防卡死方法技术

本发明专利技术公开了一种真空泵停止后再启动防卡死方法，涉及太阳能电池制造技术领域，本发明专利技术包括以下步骤：对设备进行降温；打开预抽，将设备抽至真空状态；打开主抽，将设备内部压力抽至“0”；打开恒压氮气，对真空泵进行不间断吹扫；待设备降温后，关闭加热，关闭设备恒压氮气；点按一次“stop”真空泵，保持真空泵低速运行；在设备低速运行过程中检查每个泵是否有异响；2小时后再次点按“stop”真空泵，此时真空泵停止运行，关闭冷却水，关闭真空泵的吹扫氮气；关闭真空泵电源，关闭真空泵尾排手阀；断电后对真空泵进行手动盘泵检查确认真空泵是否有卡滞情况。本发明专利技术具有防止真空泵复机卡死的特点。

A New Anti-jamming Method for Starting Vacuum Pump after Stopping

The invention discloses a novel anti-jamming method for starting after the vacuum pump stops, which relates to the technical field of solar cell manufacturing. The method comprises the following steps: cooling the equipment; opening the pre-pumping, pumping the equipment to the vacuum state; opening the main pumping, pumping the internal pressure of the equipment to \0\; opening the constant pressure nitrogen gas, continuously purging the vacuum pump; and waiting for the equipment to cool down. Turn off heating and shut down constant pressure nitrogen of the equipment; press \stop\ vacuum pump once to keep the vacuum pump running at low speed; check whether there is any abnormal noise in the process of low speed operation of the equipment; press \stop\ vacuum pump again two hours later, then the vacuum pump stops running, closes cooling water, closes the purge nitrogen of the vacuum pump; closes the power supply of the vacuum pump and closes the tail drain hand valve of the vacuum pump; After power failure, check the vacuum pump by manual disc pump to confirm whether the vacuum pump is stuck. The invention has the characteristics of preventing the vacuum pump from being stuck again.

【技术实现步骤摘要】
一种新型的真空泵停止后再启动防卡死方法
本专利技术属于太阳能电池制造
，具体涉及一种新型的真空泵停止后再启动防卡死方法。
技术介绍
目前的真空泵停泵处理流程如下：1、对丰盛镀膜设备关闭加热进行降温；2、打开预抽，将设备抽至真空状态；3、打开主抽，将设备内部压力抽至0mbar；4、打开恒压氮气，对ADXEN602H真空泵进行不间断氮气吹扫2小时；5、2小时后“stop”ADXEN602H真空泵，真空泵停止运行，关闭真空泵冷却水进水和回水，关闭真空泵稀释氮气，关闭真空泵电源，关闭真空泵尾排手阀；6、每隔2个小时4个人同步进行手动盘泵：①用一字螺丝刀拆开真空泵外壳，②用3mm内六角拆开罗茨泵端盖，③用21mm棘轮套筒扳手左右摇动进行盘泵，直至顺畅无卡滞。太阳能光伏电池硅片在正膜完成镀膜过程中所需的真空环境由多级罗茨泵提供，真空泵在运行过程中，由于真空泵长时间高负荷运转，同时真空泵在运行过程中始终处于高温以及高转速状态状态，在真空泵停止运行后，由于转子氮化硅附着，导致转子间间隙减小，泵体内部氮化硅粉尘沉积，真空泵内部温度降低导致真空泵卡死，在复机启动时真空泵无法启动。甚至通过手动盘泵无本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型的真空泵停止后再启动防卡死方法，包括以下步骤：(1)对设备进行降温：设定加热温度为200℃；(2)打开预抽，将设备抽至真空状态；(3)打开主抽，将设备内部压力抽至“0”；其特征在于，还包括以下步骤：(4)打开恒压氮气，对真空泵进行不间断吹扫；(5)待设备降温至200℃以下后，关闭加热，关闭设备恒压氮气；(6)点按一次“stop”真空泵，保持真空泵低速运行；(7)在设备低速运行过程中检查每个泵是否有异响，有异响及时处理；(8)2小时后再次点按“stop”真空泵，此时真空泵停止运行，关闭冷却水，关闭真空泵的吹扫氮气；关闭真空泵电源，关闭真空泵尾排手阀；(9)断电2小时后对真空泵进行手动...

【技术特征摘要】
1.一种新型的真空泵停止后再启动防卡死方法，包括以下步骤：(1)对设备进行降温：设定加热温度为200℃；(2)打开预抽，将设备抽至真空状态；(3)打开主抽，将设备内部压力抽至“0”；其特征在于，还包括以下步骤：(4)打开恒压氮气，对真空泵进行不间断吹扫；(5)待设备降温至200℃以下后，关闭加热，关闭设备恒压氮气；(6)点按一次“stop”真空泵，保持真空泵低速运行；(7)在设备低速运行过程中检查每个泵是否有异响，有异响及时处理；(8)2小时后再次点按“stop”真空泵，此时真...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊记伟，范斌，
申请(专利权)人：通威太阳能成都有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51