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本发明公开了一种真空泵停止后再启动防卡死方法，涉及太阳能电池制造技术领域，本发明包括以下步骤：对设备进行降温；打开预抽，将设备抽至真空状态；打开主抽，将设备内部压力抽至“0”；打开恒压氮气，对真空泵进行不间断吹扫；待设备降温后，关闭加热，关...
该专利属于通威太阳能（成都）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过通威太阳能（成都）有限公司授权不得商用。

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