传送设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种传送设备，该传送设备包括：载具；导向机构，设置在载具的顶部，导向机构用于对载具进行导向；滚轮，设置在载具的底部；检测装置，设置在载具上，检测装置用于检测载具的运动姿态。通过本实用新型专利技术提供的技术方案，能够解决现有技术中的传送设备不能检测载具运行是否可靠的技术问题。

Transport equipment

The utility model provides a transmission device, which includes: a carrier; a guiding mechanism, which is set on the top of the vehicle, and a guiding mechanism for guiding the vehicle; a roller, which is set on the bottom of the vehicle; a detection device, which is set on the vehicle, and a detection device for detecting the motion attitude of the vehicle. The technical scheme provided by the utility model can solve the technical problem that the transmission equipment in the prior art can not detect whether the carrier is reliable or not.

【技术实现步骤摘要】
传送设备
本技术涉及真空镀膜设备
，具体而言，涉及一种传送设备。
技术介绍
PVD(PhysicalVaporDeposition，物理气相沉积)是指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。立式PVD设备是实现该过程的一种普遍应用的生产设备，在立式PVD设备在生产过程中载具在传动机构上移动，并通过底部的滚轮和顶部导向机构来保证载具的平稳。然而在生产过程中，载具会因为各种机械问题造成卡顿、卡死或脱落等情况，造成生产中断产生大量废品、影响生产进度。目前，现有技术中的传送设备不能对运动姿态进行检测，因而也不能在生产前检测出传送设备上的隐患并进行适应性调整，这样往往会导致在生产过程中出现故障，因此会产生大量的废品。
技术实现思路
本技术提供一种传送设备，以解决现有技术中的传送设备不能检测载具运行是否可靠的问题。本技术提供了一种传送设备，该传送设备包括：载具；导向机构，设置在载具的顶部，导向机构用于对载具进行导向；滚轮，设置在载具的底部；检测装置，设置在载具上，检测装置通过检测载具的运动姿态以判断载具是否处于运动状态。进一步地，检测装置包括：检测件，检测件用于检测载具的角度偏差值。进一步地，检测装置还包括：数据采集件，数据采集件与检测件电连接，数据采集件用于记录时间值以及检测件检测到的角度偏差值。进一步地，检测装置还包括：电源，数据采集件和检测件均与电源电连接。进一步地，检测装置还包括：上位机，数据采集件与上位机电连接，上位机用于对数据采集件采集到的数据进行分析。进一步地，传送设备还包括：固定组件，设置在载具上，检测装置设置在固定组件上。进一步地，固定组件包括：第一固定件，第一固定件设置在载具上，检测件设置在第一固定件上；第二固定件，第二固定件设置在载具上，电源和数据采集件均设置在第二固定件上。进一步地，检测装置可拆卸地设置在载具上。进一步地，传送设备还包括：卡接件，设置在固定组件上，固定组件通过卡接件可拆卸地设置在载具上。进一步地，检测件包括姿态传感器。应用本技术的技术方案，通过在载具上设置检测装置，该检测装置能够检测载具的运动姿态，以便于在生产前对载具的运动姿态进行检测，并根据检测到的运动姿态判断传送设备在传送过程中可能发生运动中断时所处的位置。操作人员可以根据传送设备可能发生中断时所处的位置情况以及传动设备自身进行适应的维修和调整，以在生产前排除传送设备传送中断的隐患，进而避免因传送中断而产生大量废品、并影响生产进度的现象。因此，采用本技术提供的传送设备，能够解决现有技术中的传送设备不能检测载具运行是否可靠的问题。附图说明构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1示出了根据本技术实施例提供的检测装置和固定组件的结构示意图；图2示出了根据本技术实施例提供的载具、导向机构和滚轮的结构示意图；图3示出了根据本技术实施例提供的第一固定件的结构示意图。其中，上述附图包括以下附图标记：10、载具；20、导向机构；30、滚轮；41、检测件；42、数据采集件；43、电源；51、第一固定件；52、第二固定件。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本技术及其应用或使用的任何限制。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1和图2所示，本技术实施例提供了一种传送设备，该传送设备包括：载具10、导向机构20、滚轮30和检测装置。其中，导向机构20设置在载具10的顶部，导向机构20用于对载具10进行导向。滚轮30设置在载具10的底部。检测装置设置在载具10上，检测装置用于检测载具10的运动姿态。本实施例中的导向机构20可以为导向槽或导轨，在载具10的底部设置有两个滚轮30以保持平衡。应用本技术的技术方案，通过在载具10上设置检测装置，该检测装置能够检测载具10的运动姿态，以便于在生产前对载具10的运动姿态进行检测，并根据检测到的运动姿态判断传送设备在传送过程中可能发生传送中断时所处的位置，具体的，可能发生传送中断的位置可能为发生卡顿、卡死或脱落等的位置。操作人员可以更加快捷地检测到故障点，提高检修效率；并可以根据传送设备可能发生中断时所处的位置情况以及传动设备自身进行适应的维修和调整，以在生产前排除传送设备传送中断的隐患，进而避免因传送中断而产生大量废品、并影响生产进度的现象。因此，采用本技术提供的传送设备，能够解决现有技术中的传送设备不能检测载具运行是否可靠的问题。本实施例中的传送设备可以在生产中或非生产时对传送机构的稳定性进行评估。由于在生产中的环境温度较高，不便于检测装置的正常工作，因此，本实施例中的传送机构主要用于在非生产时对传送机构稳定性的检测。具体的，在非生产时，传送设备进行传送，同时检测装置对传送设备的载具10的姿态进行检测，通过检测到的姿态预判处可能会发生传送中断的位置，以便于工作人员在生产前提前排出影响传送中断的因素。采用本实施例提供的传送设备，能够避免在生产过程中发生突发故障，降低了废品和生产中断造成的经济损失。为了更好的对载具10的运动姿态进行检测，本实施例中的检测装置包括检测件41，该检测件41用于检测载具10的角度偏差值，该角度偏差值是相对于载具10处于标准传送姿态而言的。本实施例中的载具10处于标准传送姿态时，载具10没有发生角度偏差，且处于正常的传送状态。具体的，本实施例中的检测件41可以检测载具10的第一方位角、第二方位角和第三方位角。建立空间直角坐标系，第一方位角为载具10绕X轴转动的角度大小，第二方位角为载具10绕Y轴转动的角度大小，第三方位角为载具10绕Z轴转动的角度大小。在本实施例中，检测装置还包括数据采集件42，数据采集件42与检测件41电连接，数据采集件42用于记录时间值以及检测件41检测到的角度偏差值。具体的，检测装置还包括电源43，数据采集件42和检测件41均与电源43电连接。具体的，检测装置还包括上位机，数据采集件42与上位机电连接，上位机用于对数据采集件42采集到的数据进行分析。本实施例中的上位机可以为计算机。本实施例中可以根据实际情况设置一定的角度偏差值范围，当检测件41检测到的载具10的角度偏差值处于该范围时，传送设备能够进行正常的传送，当检测件41检测到的载具10的角度偏差值超过该范围是，传送设备将可能会发生中断情况。在本实施例中，载具10的第一方位角、第二方位角和第三方位角具有一定的偏差范围，当载具10处于偏差范围内时能够保证载具10正常运行。当传送设备完成整个传送过程后，可以将数据采集件42与上位机电连接，上位机将读取数据采集件42采集到的数据并进行相应的分析。具体的，上位机将数据采集件42采集到的所有第一方位角与第一方位角的偏差范围进行对比，当检测件41检测到载具10的第一方位角大于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传送设备，其特征在于，所述传送设备包括：载具(10)；导向机构(20)，设置在所述载具(10)的顶部，所述导向机构(20)用于对所述载具(10)进行导向；滚轮(30)，设置在所述载具(10)的底部；检测装置，设置在所述载具(10)上，所述检测装置用于检测所述载具(10)的运动姿态。

【技术特征摘要】
1.一种传送设备，其特征在于，所述传送设备包括：载具(10)；导向机构(20)，设置在所述载具(10)的顶部，所述导向机构(20)用于对所述载具(10)进行导向；滚轮(30)，设置在所述载具(10)的底部；检测装置，设置在所述载具(10)上，所述检测装置用于检测所述载具(10)的运动姿态。2.根据权利要求1所述的传送设备，其特征在于，所述检测装置包括：检测件(41)，所述检测件(41)用于检测所述载具(10)的角度偏差值。3.根据权利要求2所述的传送设备，其特征在于，所述检测装置还包括：数据采集件(42)，所述数据采集件(42)与所述检测件(41)电连接，所述数据采集件(42)用于记录时间值以及所述检测件(41)检测到的角度偏差值。4.根据权利要求3所述的传送设备，其特征在于，所述检测装置还包括：电源(43)，所述数据采集件(42)和所述检测件(41)均与所述电源(43)电连接。5.根据权利要求3所述的传送设备，其特征在于，所述检测装置还包括：上位机，所述数据采集件...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄传虎，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11