一种筛选光阻玻璃中滚磨瓷珠的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种筛选光阻玻璃中滚磨瓷珠的装置，包括承载装置和滑动盒，所述滑动盒安装于承载装置上；所述承载装置包括支撑板，所述支撑板的表面垂直固定有两块平行设置的立板，所述立板的另一端固定有承载板，所述承载板的下表面固定有漏斗，所述支撑板的表面边缘处垂直固定有安装板，所述安装板的表面垂直固定有限位杆，所述安装板的表面贯穿固定有螺纹杆，所述螺纹杆的表面固定有蜗轮；所述滑动盒包括盒本体，盒本体为一方形盒体，方形盒体包括底板和垂直固定于底板表面的两块第一侧板和两块第二侧板。本实用新型专利技术结构简单、易于操作，能够快速筛选出光阻玻璃中的滚磨瓷珠，极大的提高了生产效率，满足了生产需求，操作方便。

A Device for Screening Rolling Porcelain Balls in Photoresistive Glass

The utility model discloses a device for screening roller-grinding ceramic beads in photoresistive glass, which comprises a bearing device and a sliding box, the sliding box is installed on the bearing device; the bearing device includes a supporting plate, the surface of the supporting plate is vertically fixed with two parallel vertical plates, the other end of the supporting plate is fixed with a bearing plate, and the lower surface of the bearing plate is fixed with a funnel. A mounting plate is vertically fixed at the surface edge of the supporting plate, and a finite rod is vertically fixed on the surface of the mounting plate. Thread rods are fixed through the surface of the mounting plate, and worm wheels are fixed on the surface of the threaded rod. The sliding box comprises a box body, which is a square box body, and the square box body comprises a bottom plate and two first side plates and two pieces vertically fixed on the surface of the bottom plate. The second side plate. The utility model has the advantages of simple structure, easy operation, rapid screening of the rolled ceramic beads in the photoresistive glass, greatly improving the production efficiency, meeting the production demand and convenient operation.

【技术实现步骤摘要】
一种筛选光阻玻璃中滚磨瓷珠的装置
本技术属于半导体晶圆生产
，具体地，涉及一种筛选光阻玻璃中滚磨瓷珠的装置。
技术介绍
光阻玻璃钝化工艺是一种重要的半导体表面钝化工艺，光阻钝化工艺通过在有沟槽的半导体晶圆表面涂覆光阻玻璃，经过光刻、烧结在晶圆表面形成玻璃钝化层从而保护半导体器件的pn结。半导体晶圆生产中采用的光阻钝化工艺需要在半导体晶圆上涂覆光阻玻璃，光阻玻璃是将光刻胶与玻璃粉混合，并经滚磨珠滚磨而成的一种液态混合体，在涂覆光阻玻璃之前需要将光阻玻璃与滚磨珠混合物中的滚磨瓷球去除后方可将光阻玻璃涂到晶片上。传统的滚磨瓷球筛分采用人工筛选，因光阻玻璃用量大，该方法存在如下缺点：现有配置容器沉重、现有配置频次高，影响生产效率；现有配置需人工搅拌区分，人工劳累度较大。
技术实现思路
为了解决上述的技术问题，本技术提供了一种筛选光阻玻璃中滚磨瓷珠的装置。本技术的目的可以通过以下技术方案实现：一种筛选光阻玻璃中滚磨瓷珠的装置，包括承载装置和滑动盒，所述滑动盒安装于承载装置上；所述承载装置包括支撑板，所述支撑板的表面开有两条平行设置的滑轨，所述支撑板的表面垂直固定有两块平行设置的立板，所述立板的另一端固定有承载板，所述承载板的表面中心位置开有第一圆形通孔，所述承载板的下表面固定有漏斗，所述漏斗的进料口与第一圆形通孔贯通，所述支撑板的表面边缘处垂直固定有安装板，所述安装板的表面垂直固定有限位杆，所述限位杆的周侧固定有限位凸条，所述安装板的表面贯穿固定有螺纹杆，所述螺纹杆的表面固定有蜗轮；所述安装板的表面垂直固定有竖板，所述竖板上贯穿安装有蜗杆，所述蜗杆与蜗轮啮合；所述滑动盒包括盒本体，盒本体为一方形盒体，方形盒体包括底板和垂直固定于底板表面的两块第一侧板和两块第二侧板，所述底板的下表面固定有两条平行设置的滑轮安装条板，所述滑轮安装条板上安装有滑轮，所述滑轮与滑轨滑动配合；两块所述第一侧板的表面均固定有连接块，其中一个所述连接块的表面开有螺纹通孔，另一个所述连接块的表面开有第二圆形通孔和条形凹槽，所述螺纹通孔与螺纹杆配合，所述第二圆形通孔与限位杆配合，所述条形凹槽与限位凸条配合。进一步地，所述滑轨平行支撑板的长度方向设置。进一步地，两块所述立板位于两条滑轨的外侧且立板与滑轨平行。进一步地，所述承载板与支撑板平行。进一步地，所述漏斗内设置有滤网。进一步地，所述安装板与立板垂直。进一步地，所述限位凸条平行于限位杆的轴向设置。进一步地，所述螺纹杆通过轴承安装于安装板上，所述蜗杆通过轴承安装于竖板上。进一步地，所述滑轮安装条板与第一侧板平行。进一步地，所述条形凹槽与第二圆形通孔贯通。本技术的有益效果：本技术结构简单、易于操作，通过控制电机驱动蜗杆传动，即可实现滑动盒的滑动，将光阻玻璃收集容器放置于滑动盒内，能够快速筛选出光阻玻璃中的滚磨瓷珠，极大的提高了生产效率，满足了生产需求，而且结构简单实用，操作方便。附图说明下面结合附图对本技术作进一步的说明。图1是本技术一种筛选光阻玻璃中滚磨瓷珠的装置的结构示意图；图2是本技术一种筛选光阻玻璃中滚磨瓷珠的装置的承载装置的结构示意图；图3是图2的剖视图；图4是本技术一种筛选光阻玻璃中滚磨瓷珠的装置的滑动盒的结构示意图；图5是本技术一种筛选光阻玻璃中滚磨瓷珠的装置的滑动盒的结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。一种筛选光阻玻璃中滚磨瓷珠的装置，如图1所示，包括承载装置1和滑动盒2，滑动盒2安装于承载装置1上；如图2、3所示，承载装置1包括支撑板11，支撑板11放置于工作台面或地面上进行操作，支撑板11的表面开有两条平行设置的滑轨1101，滑轨1101平行支撑板11的长度方向设置；支撑板11的表面垂直固定有两块平行设置的立板12，两块立板12位于两条滑轨1101的外侧且立板12与滑轨1101平行，立板12的另一端固定有承载板13，承载板13与支撑板11平行，承载板13的表面中心位置开有第一圆形通孔1301，承载板13的下表面固定有漏斗14，漏斗14的进料口与第一圆形通孔1301贯通，漏斗14内设置有滤网，该滤网能使光阻玻璃通过且能阻挡滚磨瓷珠；支撑板11的表面边缘处垂直固定有安装板15，安装板15与立板12垂直，安装板15的表面垂直固定有限位杆1501，限位杆1501的周侧固定有限位凸条1502，限位凸条1502平行于限位杆1501的轴向设置，安装板15的表面贯穿固定有螺纹杆1503，螺纹杆1503通过轴承安装于安装板15上，螺纹杆1503的表面固定有蜗轮1504；安装板15的表面垂直固定有竖板16，竖板16与蜗轮1504位于安装板15的同一侧，竖板16上贯穿安装有蜗杆17，蜗杆17通过轴承安装于竖板16上，蜗杆17与蜗轮1504啮合，蜗杆17连接有电机；如图4、5所示，滑动盒2包括盒本体，盒本体为一方形盒体，方形盒体包括底板21和垂直固定于底板21表面的两块第一侧板22和两块第二侧板23，底板21的下表面固定有两条平行设置的滑轮安装条板24，滑轮安装条板24与第一侧板22平行，滑轮安装条板24上安装有滑轮25，滑轮25与滑轨1101滑动配合；两块第一侧板22的表面均固定有连接块26，其中一个连接块26的表面开有螺纹通孔27，另一个连接块26的表面开有第二圆形通孔28和条形凹槽29，条形凹槽29与第二圆形通孔28贯通，螺纹通孔27与螺纹杆1503配合，第二圆形通孔28与限位杆1501配合，条形凹槽29与限位凸条1502配合；本技术的工作原理及方式：承载装置1和滑动盒2进行安装时，通过螺纹通孔27与螺纹杆1503配合、第二圆形通孔28与限位杆1501配合以及滑轮25与滑轨1101滑动配合，将滑动盒2安装于承载装置1上；蜗杆17连接有电机，电机驱动蜗杆17旋转，通过蜗杆17与蜗轮1504的啮合传动，蜗轮1504旋转，带动螺纹杆1503旋转，螺纹杆1503与螺纹通孔27配合，在螺纹杆1503的旋转带动下，滑动盒2会跟着旋转，但是由于第二圆形通孔28与限位杆1501以及条形凹槽29与限位凸条1502配合的限位作用下，滑动盒2会将旋转运动转化为沿滑轨1101的滑动，通过电机控制蜗杆17的旋转即可实现滑动盒2的来回滑动；工作时，先将光阻玻璃收集容器放在滑动盒2内，控制滑动盒2滑动，将滑动盒2推至漏斗14的出料口正下方，再将光阻剂、玻璃粉、瓷球滚磨后的混合物倒入带有滤网的漏斗14里，这样光阻玻璃通过滤网落入光阻玻璃收集容器，而滚磨瓷球则留在滤网上，待光阻玻璃收集完毕后，控制滑动盒2滑动，将光阻玻璃收集容器取出，对漏斗、滤网上的瓷球清洗，清洗完成后下次备用；本技术结构简单、易于操作，通过控制电机驱动蜗杆传动，即可实现滑动盒的滑动，将光阻玻璃收集容器放置于滑动盒内，能够快速筛选出光阻玻璃中的滚磨瓷珠，极大的提高了生产效率，满足了生产需求，而且结构简单实用，操作方便。以上内容仅仅是本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种筛选光阻玻璃中滚磨瓷珠的装置，其特征在于，包括承载装置(1)和滑动盒(2)，所述滑动盒(2)安装于承载装置(1)上；所述承载装置(1)包括支撑板(11)，所述支撑板(11)的表面开有两条平行设置的滑轨(1101)，所述支撑板(11)的表面垂直固定有两块平行设置的立板(12)，所述立板(12)的另一端固定有承载板(13)，所述承载板(13)的表面中心位置开有第一圆形通孔(1301)，所述承载板(13)的下表面固定有漏斗(14)，所述漏斗(14)的进料口与第一圆形通孔(1301)贯通，所述支撑板(11)的表面边缘处垂直固定有安装板(15)，所述安装板(15)的表面垂直固定有限位杆(1501)，所述限位杆(1501)的周侧固定有限位凸条(1502)，所述安装板(15)的表面贯穿固定有螺纹杆(1503)，所述螺纹杆(1503)的表面固定有蜗轮(1504)；所述安装板(15)的表面垂直固定有竖板(16)，所述竖板(16)上贯穿安装有蜗杆(17)，所述蜗杆(17)与蜗轮(1504)啮合；所述滑动盒(2)包括盒本体，盒本体为一方形盒体，方形盒体包括底板(21)和垂直固定于底板(21)表面的两块第一侧板(22)和两块第二侧板(23)，所述底板(21)的下表面固定有两条平行设置的滑轮安装条板(24)，所述滑轮安装条板(24)上安装有滑轮(25)，所述滑轮(25)与滑轨(1101)滑动配合；两块所述第一侧板(22)的表面均固定有连接块(26)，其中一个所述连接块(26)的表面开有螺纹通孔(27)，另一个所述连接块(26)的表面开有第二圆形通孔(28)和条形凹槽(29)，所述螺纹通孔(27)与螺纹杆(1503)配合，所述第二圆形通孔(28)与限位杆(1501)配合，所述条形凹槽(29)与限位凸条(1502)配合。...

【技术特征摘要】
1.一种筛选光阻玻璃中滚磨瓷珠的装置，其特征在于，包括承载装置(1)和滑动盒(2)，所述滑动盒(2)安装于承载装置(1)上；所述承载装置(1)包括支撑板(11)，所述支撑板(11)的表面开有两条平行设置的滑轨(1101)，所述支撑板(11)的表面垂直固定有两块平行设置的立板(12)，所述立板(12)的另一端固定有承载板(13)，所述承载板(13)的表面中心位置开有第一圆形通孔(1301)，所述承载板(13)的下表面固定有漏斗(14)，所述漏斗(14)的进料口与第一圆形通孔(1301)贯通，所述支撑板(11)的表面边缘处垂直固定有安装板(15)，所述安装板(15)的表面垂直固定有限位杆(1501)，所述限位杆(1501)的周侧固定有限位凸条(1502)，所述安装板(15)的表面贯穿固定有螺纹杆(1503)，所述螺纹杆(1503)的表面固定有蜗轮(1504)；所述安装板(15)的表面垂直固定有竖板(16)，所述竖板(16)上贯穿安装有蜗杆(17)，所述蜗杆(17)与蜗轮(1504)啮合；所述滑动盒(2)包括盒本体，盒本体为一方形盒体，方形盒体包括底板(21)和垂直固定于底板(21)表面的两块第一侧板(22)和两块第二侧板(23)，所述底板(21)的下表面固定有两条平行设置的滑轮安装条板(24)，所述滑轮安装条板(24)上安装有滑轮(25)，所述滑轮(25)与滑轨(1101)滑动配合；两块所述第一侧板(22)的表面均固定有连接块(26)，其中一个所述连接块(26)的表面开有螺纹通孔(27)，另一个所述连接块(26)...

【专利技术属性】
技术研发人员：王超，邹有彪，
申请(专利权)人：富芯微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34