反应设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种反应设备，包括：隔离组件、反应腔室以及与所述反应腔室连接的部件，所述隔离组件设置于所述反应腔室与所述部件间；其中，所述隔离组件包括：转接件，包围形成一个与所述反应腔室内部空间连通的空腔，且具有相对设置于所述空腔内壁的进气口和出气口；进气管道，与所述进气口连通，用于通过所述进气口向所述空腔吹气；抽气管道，与所述出气口连通，用于通过所述出气口从所述空腔吸气。本申请可以通过出气口与进气口之间形成的气体屏障将转接件内的空腔隔离为两部分，使反应腔室一侧的气体无法到达部件一侧，从而达到隔离保护的目的。

Reaction equipment

【技术实现步骤摘要】
反应设备
本技术涉及薄膜电池领域，特别是涉及一种反应设备。
技术介绍
随着社会经济的发展，能源与环境之间的矛盾日益加重，因而，采用开发可再生来取代传统能源，也成为了必然的发展趋势。太阳能电池作为新能源中最有发展前景的发电方式之一，近些年逐渐得到了越来越多的重视。然而，现阶段阻碍太阳能行业发展的主要困难是其较高的价格。目前占据主要市场份额的晶体硅电池，由于其上游产业链较长，且原材料成本占总成本的比例较大，因此价格降低的空间很小。随着近些年晶硅价格的上涨及薄膜技术的发展，晶体硅电池的优势正在逐渐削弱，而薄膜电池以其成本相对较低、应用灵活等特点，必然会成为未来太阳能电池的发展方向。在传统的薄膜太阳能电池工艺生产过程中，反应腔室中用于镀膜的工艺气体或生成物会对与反应腔室相连的部件造成腐蚀或附着，影响部件的使用寿命和生产安全。
技术实现思路
基于此，有必要针对反应腔室产生的气体对与反应腔室相连的部件的腐蚀或附着问题，提供一种反应设备，以对部件进行保护。一种反应设备，包括：隔离组件、反应腔室以及与所述反应腔室连接的部件，所述隔离组件设置于所述反应腔室与所述部件之间；其中，所述隔离组件包括：转接件，包围形本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种反应设备，其特征在于，包括：隔离组件(11)、反应腔室(12)以及与所述反应腔室(12)连接的部件(14)，所述隔离组件(11)设置于所述反应腔室(12)与所述部件(14)之间；其中，所述隔离组件(11)包括：转接件(100)，包围形成一个与所述反应腔室(12)内部空间连通的空腔(110)，且具有相对设置于所述空腔(110)内壁的进气口(120)和出气口(130)；进气管道(200)，与所述进气口(120)连通，用于通过所述进气口(120)向所述空腔(110)吹气；抽气管道(300)，与所述出气口(130)连通，用于通过所述出气口(130)从所述空腔(110)吸气。

【技术特征摘要】
1.一种反应设备，其特征在于，包括：隔离组件(11)、反应腔室(12)以及与所述反应腔室(12)连接的部件(14)，所述隔离组件(11)设置于所述反应腔室(12)与所述部件(14)之间；其中，所述隔离组件(11)包括：转接件(100)，包围形成一个与所述反应腔室(12)内部空间连通的空腔(110)，且具有相对设置于所述空腔(110)内壁的进气口(120)和出气口(130)；进气管道(200)，与所述进气口(120)连通，用于通过所述进气口(120)向所述空腔(110)吹气；抽气管道(300)，与所述出气口(130)连通，用于通过所述出气口(130)从所述空腔(110)吸气。2.根据权利要求1所述的反应设备，其特征在于，所述转接件(100)包括至少一个喷头(140)，所述喷头(140)具有条形喷口(142)，所述条形喷口(142)的延伸方向与所述空腔(110)延伸方向交叉，所述条形喷口(142)形成所述进气口(120)。3.根据权利要求1所述的反应设备，其特征在于，所述隔离组件(11)包括流量控制装置(400)，设置于所述进气管道(200)，用于控制流入气体的流量。4.根据权利要求1-3任一项所述的反应设备，其特征在于，所述隔离组件(11)包括：第一阀...

【专利技术属性】
技术研发人员：张军，
申请(专利权)人：君泰创新北京科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11