【技术实现步骤摘要】
一种磁对准方法及一种磁浮电机
本专利技术涉及电机领域，具体涉及一种磁对准方法及一种磁浮电机。
技术介绍
由磁浮平面电机驱动的运动台无需气浮或机械导轨，运动自由度大，尤其在平面内运动行程约束小，同时又可以达到高速高精度的要求，因此适用于光刻机运动台领域。此外，由于无需气浮，因此也适用于真空环境的发展需求，磁浮平面电机的基本控制原理类似普通直线电机，即根据线圈在磁场中的位置，改变通入三相线圈的电流相角，使得电机在所需方向上的出力恒定。由于采用id，iq解耦的矢量控制方式，因此初始磁对角的精确与否，出力保证在动线圈式磁浮平面电机水平向、垂向出力最大外，还影响到电机水平向与垂向的解耦。若磁对准角度不够精确、水平向与垂向解耦不够彻底，则会在控制上引入水平向与垂向的串扰，影响电机的伺服性能。2004年6月24号申请的专利US7205741B2提出了一种初始磁对准角度的检测方法。图1为所述初始磁对准角度的检测方法采用的磁浮平面电机，该方法提出在电机线圈与磁钢表面之间铺设一层名为“endstops”的可压缩材料，配以电容或电感距离传感器，检测电机在垂向出力时对“endstops”...
【技术保护点】
1.一种磁对准方法，其特征在于，包括如下步骤：S1：在一对线圈数量及排列方向均相同的线圈组中通入电流进行磁对准初始化，任意设置其中一个线圈组的初始磁角度，并根据两个线圈组的位置关系设置另一个线圈组的初始磁角度；S2：控制电流的电流角度在一个磁对准角度周期内变化，通过至少一个垂向测量装置测量一对线圈组中至少一个线圈组与磁钢阵列之间的垂向间距；S3：根据记录的一个周期的数据，选择所述垂向测量装置测得的数据最大值对应的电流角度，并根据该电流角度计算所述一对线圈组的磁对准角度。
【技术特征摘要】
1.一种磁对准方法，其特征在于，包括如下步骤：S1：在一对线圈数量及排列方向均相同的线圈组中通入电流进行磁对准初始化，任意设置其中一个线圈组的初始磁角度，并根据两个线圈组的位置关系设置另一个线圈组的初始磁角度；S2：控制电流的电流角度在一个磁对准角度周期内变化，通过至少一个垂向测量装置测量一对线圈组中至少一个线圈组与磁钢阵列之间的垂向间距；S3：根据记录的一个周期的数据，选择所述垂向测量装置测得的数据最大值对应的电流角度，并根据该电流角度计算所述一对线圈组的磁对准角度。2.根据权利要求1所述的磁对准方法，其特征在于，步骤S2中通过一个垂向测量装置测量所述一对线圈组中一个线圈组与磁钢阵列之间的垂向间距；步骤S3中根据记录的一个周期的数据，选择所述垂向测量装置测得的数据最大值对应的电流角度计算所测线圈组的磁对准角度，再根据所述一对线圈组的位置关系，计算所述一对线圈组中另一个线圈组的磁对准角度。3.根据权利要求1所述的磁对准方法，其特征在于，步骤S2中通过两个垂向测量装置分别测量所述一对线圈组中每个线圈组与磁钢阵列之间的垂向间距；步骤S3中根据记录的一个周期的数据，选择两个所述垂向测量装置测得的数据最大值对应的电流角度计算对应的线圈组的磁对准角度。4.根据权利要求1所述的磁对准方法，其特征在于，步骤S2中控制电流的电流角度在一个磁对准角度周期内变化具体为，将一个所述磁对准角度周期平均分为N份，使电流的电流角度在初始磁角度的基础上每1/N个磁对准角度周期变换一次。5.根据权利要求1所述的磁对准方法，其特征在于，所述一对线圈组之间沿线圈排列方向的间距h满足，h＝(n+0.5)τ，n为正整数，τ为磁钢阵列磁钢阵列中两相邻磁极的距离。6.一种采用如权利要求1-5任一所述磁对准方法的磁浮电机，包括动子和定子，所述定子为磁钢阵列，所述动子为线圈阵列，所述动子通过磁场悬浮在所述定子表面，还包括为所述动子提供电流使动子发力的供电单元，其特征在于，所述线圈阵列包括至少一对线圈组，一对线圈组中的每个线圈组均包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：张霖，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31
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