薄膜晶体管阵列基板和具有其的有机发光显示装置制造方法及图纸

技术编号:21063456 阅读:25 留言:0更新日期:2019-05-08 08:48
本发明专利技术涉及薄膜晶体管阵列基板和具有其的有机发光显示装置。本发明专利技术的一个实施方案提供一种薄膜晶体管阵列基板,其具有第一薄膜晶体管、与第一薄膜晶体管的栅电极连接的第二薄膜晶体管和电容器、以及与电容器连接的第三薄膜晶体管,其中,薄膜晶体管阵列基板包括:设置在覆盖第三薄膜晶体管的有源层的第一栅极绝缘膜上的第一电容器电极;设置在覆盖第一电容器电极的第二栅极绝缘膜上的第二薄膜晶体管的有源层;设置在覆盖第二薄膜晶体管的有源层的一部分的中间绝缘膜上的第二薄膜晶体管的栅电极;以及设置在中间绝缘膜上的并且与第一电容器电极交叠的电容器的第二电容器电极。

Thin Film Transistor Array Substrate and Organic Light Emitting Display Device with it

【技术实现步骤摘要】
薄膜晶体管阵列基板和具有其的有机发光显示装置
本专利技术涉及具有至少两个薄膜晶体管和与晶体管中的至少一个连接的电容器的薄膜晶体管阵列基板,以及具有该薄膜晶体管阵列基板的有机发光显示装置。
技术介绍
显示装置应用于各种电子装置,例如电视(TV)、便携式电话、膝上型计算机和平板电脑等。因此,为了减小显示装置的厚度、重量和功耗,已经作出了很大努力。显示装置的代表性示例包括液晶显示装置(LCD)、等离子体显示装置(PDP)、场发射显示装置(FED)、电致发光显示装置(ELD)、电润湿显示装置(EWD)和有机发光显示装置(OLED)等。通常,这些显示装置包括设置在一对基板之间的偏振材料或发光材料。这里,一对基板中的一个基板可以是在显示图像的显示区域中限定了对应于多个像素的多个像素区域并且驱动相应像素的薄膜晶体管阵列基板。例如,对于有机发光显示装置,薄膜晶体管阵列基板可以包括:向相应像素区域中的有机发光装置提供驱动电流的驱动薄膜晶体管;提供对应于有机发光装置的亮度的数据信号的开关薄膜晶体管;以及通过数据信号来充电的电容器。此外,有机发光显示装置的薄膜晶体管阵列基板还可以包括用于补偿驱动薄膜晶体管本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种薄膜晶体管阵列基板,其具有第一薄膜晶体管、与所述第一薄膜晶体管的栅电极连接的第二薄膜晶体管和电容器、以及与所述电容器连接的第三薄膜晶体管,其中,所述薄膜晶体管阵列基板包括:设置在覆盖所述第三薄膜晶体管的有源层的第一栅极绝缘膜上的第一电容器电极;设置在覆盖所述第一电容器电极的第二栅极绝缘膜上的所述第二薄膜晶体管的有源层;设置在覆盖所述第二薄膜晶体管的有源层的一部分的中间绝缘膜上的所述第二薄膜晶体管的栅电极;以及设置在所述中间绝缘膜上的并且与所述第一电容器电极交叠的所述电容器的第二电容器电极。

【技术特征摘要】
2017.10.26 KR 10-2017-01401941.一种薄膜晶体管阵列基板,其具有第一薄膜晶体管、与所述第一薄膜晶体管的栅电极连接的第二薄膜晶体管和电容器、以及与所述电容器连接的第三薄膜晶体管,其中,所述薄膜晶体管阵列基板包括:设置在覆盖所述第三薄膜晶体管的有源层的第一栅极绝缘膜上的第一电容器电极;设置在覆盖所述第一电容器电极的第二栅极绝缘膜上的所述第二薄膜晶体管的有源层;设置在覆盖所述第二薄膜晶体管的有源层的一部分的中间绝缘膜上的所述第二薄膜晶体管的栅电极;以及设置在所述中间绝缘膜上的并且与所述第一电容器电极交叠的所述电容器的第二电容器电极。2.根据权利要求1所述的薄膜晶体管阵列基板,还包括:设置在所述第一栅极绝缘膜上的并且与所述第三薄膜晶体管的有源层的一部分交叠的所述第三薄膜晶体管的栅电极,其中,所述第一电容器电极与所述第三薄膜晶体管的所述栅电极间隔开。3.根据权利要求1所述的薄膜晶体管阵列基板,还包括电容器孔,所述电容器孔对应于所述第一电容器电极和所述第二电容器电极彼此交叠的区域的一部分并且穿过所述第二栅极绝缘膜。4.根据权利要求1所述的薄膜晶体管阵列基板,其中,所述第一电容器电极和所述第二电容器电极中的一者与所述第一薄膜晶体管的栅电极连接。5.根据权利要求1所述的薄膜晶体管阵列基板,其中,所述第一薄膜晶体管的有源层设置在与所述第三薄膜晶体管的所述有源层相同的层上;以及所述第一薄膜晶体管的所述栅电极设置在所述第一栅极绝缘膜上并且与所述第一电容器电极连接。6.根据权利要求4所述的薄膜晶体管阵列基板,其中,所述第一薄膜晶体管的有源层设置在所述第二栅极绝缘膜上,以及所述第一薄膜晶体管的所述栅电极设置在进一步覆盖所述第一薄膜晶体管的有源层的一部分的所述中间绝缘膜上并且与所述第二电容器电极连接。7.根据权利要求4所述的薄膜晶体管阵列基板,其中,所述第三薄膜晶体管的所述有源层由多晶硅半导体材料制成,以及所述第二薄膜晶体管的所述有源层由氧化物半导体材料制成。8.一种有机发光显示装置,其具有对应于相应的像素区域的有机发光装置、向所述有机发光装置提供驱动电流的第一薄膜晶体管、与所述第一薄膜晶体管的栅电极连接的电容器和第二薄膜晶体管、以及与所述电容器连接的第三薄膜晶体管,该有机发光显示装置包括:设置在基板上的所述第三薄膜晶体管的有源层;覆盖所述第三薄膜晶体管的所述有源层的第一栅极绝缘膜;设置在所述第一栅极绝缘膜上的并且与所述第三薄膜晶体管的有源层的一部分交叠的所述第三薄膜晶体管的栅电极;设置在所述第一栅极绝缘膜上的并且与所述第三薄膜晶体管的所述栅电极间隔开的所述电容器的第一电容器电极;覆盖所述第三薄膜晶体管的所述栅电极和所述电容器的所述第一电容器电极的第二栅极绝缘膜;设置在所述第二栅极绝膜上的所述第二薄膜晶体管的有源层;设置在覆盖所述第二薄膜晶体管的有源层的一部分的中间绝缘膜上的所述第二薄膜晶体管的栅电极;以及设...

【专利技术属性】
技术研发人员:许真僖
申请(专利权)人:乐金显示有限公司
类型:发明
国别省市:韩国,KR

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