偏振光照明装置、光配向设备和偏振光照明控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种偏振光照明装置，包括：光源、聚光装置、起偏元件和偏振光转换元件，起偏元件接收光源发出的和经聚光装置聚集的入射光，入射光包括第一偏振光和第二偏振光，第一偏振光与第二偏振光偏振方向不同，起偏元件反射第一偏振光并出射第二偏振光，偏振光转换元件设置在聚光装置与起偏元件之间的光路上，偏振光转换元件配置为传输第一偏振光至聚光装置，并转换为入射至起偏元件的第二偏振光。本发明专利技术提供了一种偏振光照明装置、光配向设备和偏振光照明控制方法，在偏振光照明装置中增加了偏振光转换元件，以改变起偏元件反射回的光线的偏振角度，并通过聚光装置将所需指定方向的偏振光线重新引入光路，提高了光配向设备的能量利用率。

【技术实现步骤摘要】
偏振光照明装置、光配向设备和偏振光照明控制方法
本专利技术涉及光配向领域，尤其是一种偏振光照明装置、光配向设备和偏振光照明控制方法。
技术介绍
在显示面板制造领域，基板的配向工艺主要有物理摩擦配向和光配向两种，与摩擦配向相比，光配向设备具有无静电、无污染、效率高的优点，因此现有技术通常采用光配向设备对基板进行配向加工。光配向设备包括用于支撑基板的机台和位于机台上方的偏振光照明装置，在对基板进行配向加工时，将基板置于机台上并将涂覆有感光配向液的一侧朝上，开启偏振光照明装置中的紫外灯照射基板，从而在基板上形成配向膜。随着市场需求的变化，对于显示面板生产线产率的要求越来越高，从而对光配向设备的能量利用率有了更高的要求。当前，在光配向设备中，需要将光源发出的普通光线通过起偏元件转换为具有指定偏振态的偏振光。当前光配向设备中主要采用的起偏元件只允许单一偏振方向(S偏振光或P偏振光，两者电场振动方向垂直)的光线通过。另一偏振方向的光线绝大多数被反射，少量被元件吸收，导致光配向设备实际可用的能量无法超过入射起偏元件光线能量的50％。
技术实现思路
本专利技术实施例的目的在于提供一种偏振光照明装置、光配本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种偏振光照明装置，其特征在于，包括：光源、聚光装置、起偏元件和偏振光转换元件，所述起偏元件接收所述光源发出的和经所述聚光装置聚集的入射光，所述入射光包括第一偏振光和第二偏振光，所述第一偏振光与所述第二偏振光偏振方向不同，所述起偏元件反射所述第一偏振光并出射所述第二偏振光，所述偏振光转换元件设置在所述聚光装置与起偏元件之间的光路上，所述偏振光转换元件配置为传输所述第一偏振光至所述聚光装置，并转换为入射至所述起偏元件的第二偏振光。

【技术特征摘要】
1.一种偏振光照明装置，其特征在于，包括：光源、聚光装置、起偏元件和偏振光转换元件，所述起偏元件接收所述光源发出的和经所述聚光装置聚集的入射光，所述入射光包括第一偏振光和第二偏振光，所述第一偏振光与所述第二偏振光偏振方向不同，所述起偏元件反射所述第一偏振光并出射所述第二偏振光，所述偏振光转换元件设置在所述聚光装置与起偏元件之间的光路上，所述偏振光转换元件配置为传输所述第一偏振光至所述聚光装置，并转换为入射至所述起偏元件的第二偏振光。2.如权利要求1所述的偏振光照明装置，其特征在于，所述聚光装置包括曲面反射罩，所述光源设置在所述曲面反射罩的焦点处。3.如权利要求2所述的偏振光照明装置，其特征在于，所述光源采用白光光源或紫外光源。4.如权利要求1所述的偏振光照明装置，其特征在于，所述偏振光转换元件包括四分之一波片。5.如权利要求4所述的偏振光照明装置，其特征在于，所述偏振光转换元件配置为转换所述起偏元件的反射光为圆偏振光。6.如权利要求1所述的偏振光照明装置，其特征在于，所述偏振光照明装置还包括滤...

【专利技术属性】
技术研发人员：周伟，朱树存，周畅，罗闻，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31